升，之后在另一T/4后的时刻t3下降。另外，脉冲电压V2在脉冲电压Vl的下 降时刻t3上升，之后在另一T/4后的时刻t4下降。在图8的度）所示的例子中，脉冲电压 V2在从脉冲电压Vk的上升的时刻tl起T/4后的时刻t2上升，之后在另一T/4后的时刻t3 下降。另外，脉冲电压Vl在脉冲电压Vl的下降时刻t3上化之后在另一T/4后的时刻t4 下降。 阳101] 周期性脉冲电源1在正方向模式下，使壁电荷形成用脉冲电压Vp产生，在逆方向 模式下，使壁电荷形成用脉冲电压Vk产生。另外，在正方向模式和逆方向模式下，使2相的 脉冲电压VI、V2的相位反转。 阳102] 此外，也可W在图8的（A)、图8的度）中，产生用虚线表示的电压。旨P，与使用图 3W及图6说明了的情况相同，即使在图8的（A)、图8的度）中，产生用虚线表示的电压， 上述的动作也不变。
[0103] 图9是图7所示的排列电极基板2的每层的分解立体图。排列电极基板2是将绝 缘性基体21、电极层25W及电介质膜24按该顺序从下层起依次层叠构成的。
[0104] 图10是图9所示的电极层25的俯视图。多根线状电极22平行且恒定间隔地排 列形成在电极层25。除了图5所示的各种电极W外，还形成有线状电极而、第4外部电极 23RW及外部连接端子町。
[0105] 上述正方向模式下的动作与图6的（A)~图6的似所示的动作相同，气流向X 方向产生。根据图8的（A)、度)、图10可清楚，在正方向模式和逆方向模式下，线状电极的 配置位置的几何学的顺序W及脉冲电压的时间顺序成相反关系，所W关于逆方向模式，也 根据相同原理，气流向-X方向产生。 阳106] 此外，与第1实施方式的情况相同，也可W在图8的（A)中，脉冲电压V2在时间tl~t2为电压Vt。同样地，也可W在图8的做中，脉冲电压Vl在时间tl~t2为电压 V 阳1〇7]《第3实施方式》
[0108] 在第3实施方式中，示出周期性脉冲电源产生的各脉冲电压的其他的波形例。图 11的（A)是第3实施方式所设及的脉冲电压Vp、VI、V2、Vk的波形图。图11的做是第3 实施方式所设及的脉冲电压Vp、VI、V2、Vk的另一其他波形图。
[0109] 如图11的（A)所示，壁电荷形成用脉冲电压Vp、Vk的脉冲宽度也可W比1周期T 的1/4短。另外，2相的脉冲电压VI、V2的脉冲宽度也可W比占空比50%小。如果使用运 样的脉冲电压，则起到电源电路的构成方法的自由度增加的效果。
[0110] 另外，如图11的度）所示，也可W是谐波分量被抑制了的圆纯的波形的脉冲电压。 如果使用运样的脉冲电压，则能够不太对气流产生造成影响地抑制向外部的噪声福射。 阳111] 此外，也可W在图11的（A)、图11的度）中，产生用虚线表示的电压。旨P，与使用 图3W及图6说明了的情况相同，即使在图11的（A)、图11的度）中，产生用虚线表示的电 压，上述的动作也不变。
[011引《第4实施方式》
[0113] 图12是第4实施方式所设及的周期性脉冲电源产生的各脉冲电压的波形图。在 第1~第3实施方式中，2相的脉冲电压是W每一周期T中2次的比例产生的脉冲。由此， 能够将壁电荷的生成频率保持为较高，所W容易确保产生的气流的流量。但是，本发明并不 局限于此。在图12所示的例子中，2相的脉冲电压V1、V2W每一周期T中3次的比例产生。 良P，在图12所示的例子中，在时刻tl~t2生成壁电荷，该壁电荷在时刻t2~t7转移。
[0114] 像运样，即使构成为2相的脉冲电压W每一周期T中3次（或者3次W上）的比 例产生，也保持由壁电荷形成用脉冲电压产生的壁电荷的历史被保存的状态地移动。 阳115]此外，也可W在图12中，产生用虚线表示的电压。旨P，与使用图3 W及图6说明了 的情况相同，即使在图12中，产生用虚线表示的电压，上述的动作也不变。
[0116] 此外，若使W上所示的在各实施方式中示出的气流产生装置在空气等含氧的气氛 中动作，则大多数情况下，伴随着沿面放电生成臭氧。因此，本气流产生装置也能够作为产 生包含臭氧的空气流的装置来使用。臭氧能够用于除臭、灭菌等，所W在需要扩散包含臭氧 的空气的情况下，能够通过不需要另外设置风扇而实现低成本化、小型化。
[0117] 附图标记说明 阳11引Ei~Ea…线状电极耻、Ek…线状电极；P1、P2、PF、PK…外部连接端子；V1、V2…2相 脉冲电压；Vp、Vk…壁电荷形成用脉冲电压；1…周期性脉冲电源；2…排列电极基板；11…定 时信号产生电路；12…恒压直流电源电路；13…栅极驱动电路；21…绝缘性基体；22…线状 电极；23F…第1外部电极；23A…第2外部电极；23B…第3外部电极；23R…第4外部电极； 24…电介质膜；25…电极层；26、27…带电粒子；28、29…壁电荷；30A、30B…区域；40…周期 性脉冲电源；51…绝缘性基体；52…线状电极；53…引出电极；54…电介质膜。
【主权项】
1. 一种气流产生装置，具备： 绝缘性基体； 多根线状电极，被排列在所述绝缘性基体上，并由电介质膜覆盖； 第1外部电极，与所述多根线状电极中的1根线状电极连接； 第2外部电极以及第3外部电极，所述第2外部电极与所述多根线状电极中的、远离连 接于所述第1外部电极的线状电极的顺序下的第奇数根的线状电极连接，所述第3外部电 极与所述多根线状电极中的、远离连接于所述第1外部电极的线状电极的顺序下的第偶数 根的线状电极连接；以及 周期性脉冲电源，对所述第1外部电极施加每一规定周期1次的壁电荷形成用脉冲电 压，分别对所述第2外部电极以及所述第3外部电极以每一所述规定周期多次的比例施加 2相的脉冲电压。2. 根据权利要求1所述的气流产生装置，其中， 连接有所述第1外部电极的线状电极是被配置在所述排列的第1端的线状电极。3. 根据权利要求2所述的气流产生装置，其中， 所述气流产生装置具备与所述多根线状电极中的、被配置在所述排列的第2端的线状 电极连接的第4外部电极， 所述周期性脉冲电源具备选择性地对所述第1外部电极或者所述第4外部电极施加所 述壁电荷形成用脉冲电压的单元以及将所述2相的脉冲电压的相位反转的单元。4. 根据权利要求1~3中任意一项所述的气流产生装置，其中， 所述2相的脉冲电压是占空比50%的矩形波，相互的上升与下降的时刻一致。5. 根据权利要求1~4中任意一项所述的气流产生装置，其中， 所述2相的脉冲电压以每一所述规定周期2次的比例产生。6. 根据权利要求1~5中任意一项所述的气流产生装置，其中， 所述壁电荷形成用脉冲电压的峰值比所述2相的脉冲电压的峰值高。
【专利摘要】本发明涉及一种气流产生装置。在绝缘性基体(21)上形成有多根线状电极(22)、第1外部电极(23F)、第2外部电极(23A)以及第3外部电极(23B)，表面由电介质膜(24)覆盖。第1外部电极(23F)与多根线状电极(22)中的1根线状电极(EF)连接。第2外部电极(23A)与多根线状电极(22)中的、远离线状电极(EF)的顺序下的第奇数根的线状电极连接。第3外部电极(23B)与多根线状电极(22)中的、远离线状电极(EF)的顺序下的第偶数根的线状电极连接。周期性脉冲电源(1)对第1外部电极(23F)施加每一规定周期1次的壁电荷形成用脉冲电压(VF)，并且分别对第2外部电极(23A)以及第3外部电极(23B)以每一规定周期多次的比例施加2相的脉冲电压(V1、V2)。
【IPC分类】H05H1/24, B01J19/08, C01B13/11, B01J19/00, B65G54/02
【公开号】CN105409331
【申请号】CN201480040424
【发明人】古樋知重
【申请人】株式会社村田制作所
【公开日】2016年3月16日
【申请日】2014年6月12日
【公告号】WO2015008559A1