压电元件以及具备该压电元件的超声波传感器的制作方法

本发明涉及压电元件以及具备该压电元件的超声波传感器。

背景技术：

在一般的超声波传感器中，通过在壳体的内底面接合压电元件，从而构成单晶片构造体，并通过使壳体的底部进行弯曲振动，从而收发超声波。在日本特开2002-204497号公报(专利文献1)公开了一种具备层叠型的压电元件的超声波传感器。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-204497号公报

技术实现要素：

发明要解决的课题

在与壳体的内底面接合的压电元件的上表面设置有多个电极。在对该压电元件的上表面接合fpc等时，一般与多个电极分别独立地进行电连接，但是实际上存在如下情况，即，应附着在压电元件的上表面的一个电极的导电材料，例如焊料，未容纳在所希望的区域而溢出并与旁边的其它电极相接，从而产生短路。

因此，本发明的目的在于，提供一种减小了产生由在接合中使用的导电材料溢出造成的短路的概率的压电元件以及超声波传感器。

用于解决课题的技术方案

为了达成上述目的，基于本发明的压电元件具备层叠体，上述层叠体是层叠了多个压电体层的层叠体，具有沿着层叠方向彼此朝向反向的第一主面以及第二主面，上述层叠体包括发送部、接收部以及将上述发送部和上述接收部彼此隔开的分离部，配置有发送电极，使得覆盖上述第一主面中与上述发送部对应的区域，配置有接收电极，使得覆盖上述第一主面中与上述接收部对应的区域，上述发送电极与配置在上述层叠体的内部或第二主面的导体膜一起夹着上述多个压电体层中的至少一部分，上述接收电极与配置在上述层叠体的内部或第二主面的导体膜一起夹着上述多个压电体层中的至少一部分，上述第一主面中与上述分离部对应的区域的至少一部分与上述第一主面中配置有上述发送电极的区域以及配置有上述接收电极的区域相比成为凹或凸。

在上述发明中优选为，上述发送部以及上述接收部包括在内部交替地配置有压电体层和导体膜的构造，上述分离部包括在沿着上述层叠方向俯视时在内部不包括导体膜的部分。

在上述发明中优选为，具备：有底筒状的壳体；上述的压电元件，上述第二主面相对于上述壳体的内底面对置地进行接合；以及布线引出部件，包括多个布线，并相对于上述第一主面进行接合，使得上述多个布线相对于上述接收电极以及上述发送电极独立地进行电连接。

在上述发明中优选为，上述布线引出部件相对于上述第一主面通过各向异性导电性粘接剂进行接合。

在上述发明中优选为，上述各向异性导电性粘接剂包含焊料。

发明效果

根据本发明，能够实现减小了产生由在接合中使用的导电材料溢出造成的短路的概率的压电元件以及超声波传感器。

附图说明

图1是具备基于本发明的实施方式1中的超声波传感器的传感器装置的功能框图。

图2是基于本发明的实施方式1中的超声波传感器的剖视图。

图3是示出在基于本发明的实施方式1中的压电元件接合了fpc的状态的俯视图。

图4是基于本发明的实施方式1中的压电元件的俯视图。

图5是基于本发明的实施方式1中的压电元件的立体图。

图6是示出基于本发明的实施方式1中的压电元件的内部构造的立体图。

图7是基于本发明的实施方式1中的压电元件具备的各种电极的组合的说明图。

图8是关于图4中的viii-viii线的矢向剖视图。

图9是关于图4中的ix-ix线的矢向剖视图。

图10是关于图4中的x-x线的矢向剖视图。

图11是在基于本发明的实施方式1中的压电元件的俯视图中对第一主面成为凹的区域附加了影线的说明图。

图12是基于本发明的实施方式1中的压电元件与fpc的接合界面附近的第一部分剖视图。

图13是基于本发明的实施方式1中的压电元件与fpc的接合界面附近的第二部分剖视图。

图14是基于本发明的实施方式2中的压电元件的第一剖视图。

图15是基于本发明的实施方式2中的压电元件的第二剖视图。

图16是基于本发明的实施方式2中的压电元件的第三剖视图。

图17是基于本发明的实施方式2中的压电元件与fpc的接合界面附近的部分剖视图。

图18是基于本发明的实施方式3中的压电元件的剖视图。

图19是基于本发明的实施方式4中的压电元件的剖视图。

图20是基于本发明的压电元件的电极彼此的间隙的第一说明图。

图21是基于本发明的压电元件的电极彼此的间隙的第二说明图。

图22是三端子型的压电元件的一个例子的立体图。

图23是从图22所示的状态将压电元件翻过来的状态的立体图。

图24是三端子型的压电元件的一个例子的示意性剖视图。

图25是四端子型的压电元件的一个例子的立体图。

图26是从图25所示的状态将压电元件翻过来的状态的立体图。

图27是四端子型的压电元件的一个例子的示意性剖视图。

图28是具备基于本发明的实施方式5中的超声波传感器的传感器装置的功能框图。

具体实施方式

以下，参照附图对基于本发明的实施方式进行说明。在提及个数以及量等的情况下，除了有特别记载的情况以外，本发明的范围不一定限定于该个数以及量等。对同一部件以及相当部件标注同一附图标记，有时不再赘述重复的说明。

(实施方式1)

图1是示出具备实施方式1中的超声波传感器100的传感器装置1的功能框的图。传感器装置1具备超声波传感器100、微机101、存储器102、检测电路103、信号生成电路104、电源105以及接收放大器106。超声波传感器100具备压电元件50，该压电元件50具有由电极10、20、30构成的三端子构造。

微机101读出保存在存储器102的数据，并将控制信号输出到信号生成电路104。信号生成电路104基于控制信号从直流电压生成交流电压。交流电压供给到超声波传感器100，从超声波传感器100向大气中等发送超声波(进行送波)。在超声波传感器100接收到来自目标的反射波时，在超声波传感器100中产生的受波信号作为电压值送往接收放大器106，并通过检测电路103输入到微机101。通过微机101，能够掌握与有无目标、移动相关的信息。

(超声波传感器100)

图2是示出实施方式1中的超声波传感器100的剖视图。超声波传感器100具备压电元件50、壳体60、吸音材料63、粘接剂64、接合剂65、填充剂71、72、以及fpc(flexibleprintedcircuits，柔性印刷电路)80。壳体60具有导电性，并形成为有底筒状。壳体60例如由具有高弹性且轻量的铝构成。壳体60通过对这样的铝进行例如锻造或切削加工来制作。

壳体60包括圆板状的底部62和沿着底部62的周缘设置的圆筒状的筒状部61。底部62具有内底面62s以及外表面62t。压电元件50例如由锆钛酸铅类陶瓷构成。压电元件50配置在底部62的内底面62s上，使用粘接剂64与内底面62s接合。粘接剂64例如是环氧类粘接剂。在超声波传感器100进行驱动时，压电元件50与底部62一起进行弯曲振动。

压电元件50具有未图示的3个电极(相当于图1中的电极10～30的部位。后面进行详细叙述)。如图3所示，fpc80的前端部80t例如具有t字形状。fpc80经由接合剂65与这些电极电接合。作为接合剂65，例如使用添加了金属的树脂材料。fpc80中的与压电元件50接合的部分相反侧的部分导出到壳体60之外，并与信号生成电路104(图1)以及接收放大器106(图1)等电连接。

(压电元件50)

图3是示出压电元件50以及fpc80的俯视图。图4是示出压电元件50(拆卸了fpc80的状态)的俯视图。图5是示出压电元件50的立体图。图6是示出压电元件50及其内部构造的立体图。图7是压电元件50具备的电极10、20、30的组合的说明图。图8是沿着图4中的viii-viii线的矢向剖视图。图9是沿着图4中的ix-ix线的矢向剖视图。图10是沿着图4中的x-x线的矢向剖视图。

在图3～图10中，为了说明上的方便，示出了箭头x、y、z。箭头x、y、z具有彼此正交的关系。以下，有时参照箭头x、y、z对压电元件50的各结构进行说明，但是各结构的配置关系(与正交以及平行相关的特征)不一定限定于箭头x、y、z所示的配置关系。关于这些，在后述的图11～图16中也是同样的。

如图3～图10所示，压电元件50是层叠型的压电元件，使用粘接剂64粘附在壳体60的内底面62s。压电元件50具有具备长边方向和短边方向的长方体状的形状。具体地，压电元件50包含压电体层40(图3～图6、图8～图10)、电极10(图7)、电极20(图7)以及电极30(图7)。压电体层40的外形形状为大致长方体(参照图5、图6)，压电体层40具有上表面41、侧面42～45以及下表面46。

上表面41是朝向沿着压电元件50的层叠方向的一个方向的主面，是压电体层40中的位于箭头z方向侧的表面，下表面46是压电体层40中的位于与箭头z方向相反方向侧的表面。侧面42、44是压电体层40中的相对于箭头x方向正交的表面，具有彼此对置的位置关系。侧面43、45是压电体层40中的相对于箭头y方向正交的表面，具有彼此对置的位置关系。

(电极10(接收电极))

电极10包括圆板部11以及延伸部12(参照图7)。电极10作为接收电极而发挥功能。延伸部12具有从圆板部11的外缘向外延伸的形状。延伸部12配置为从圆板部11所位于的一侧朝向压电体层40的侧面42所位于的一侧延伸。如图3所示，在设置于fpc80的布线图案81与电极10的延伸部12之间的部分(连接部位10c)，电极10与fpc80(布线图案81)电连接(也参照图4、图5)。

(电极20(发送电极))

电极20包括端面部21、上表面部22以及中间部23、24(参照图7)。电极20作为发送电极而发挥功能。即，通过在电极20、30间施加交流电压，从而电极20与电极30之间形成电位差。端面部21与压电体层40的侧面42(图5)对置，并与侧面42相接。端面部21的端部21t是电极20中的位于粘接面侧(粘接剂64侧)的部位。端部21t具有沿着压电元件50的长边方向上的侧面42的下端部的一部分延伸的形状。

电极20的上表面部22连续设置在端面部21的箭头z方向侧的端部，并配置在压电体层40的上表面41上。中间部23、24是电极20中的配置在压电体层40的内部的部位，在完成了压电元件50的状态下它们不可见(参照图5)。在中间部23与中间部24之间配置电极30的中间部33(参照图8～图10等)。另外，在此处图示的例子中，关于中间部23、24，作为从压电元件50的外部不可见的结构进行了说明，但是也可以是中间部23、24中的一方或双方从外部可见的结构。

在中间部23、24的内侧分别设置有镂空部23h、24h(图7)和缺口部23t、24t。如图7以及图9所示，中间部23、24的与箭头x相反方向上的端部(具体地，端面部21所位于的一侧的端部)与端面部21连接。另一方面，中间部23、24的箭头x方向上的端部不与后述的电极30的端面部31连接，而是从端面部31分开。如图3所示，在设置于fpc80的布线图案82与电极20的上表面部22之间的部分(连接部位20c)，电极20与fpc80(布线图案82)电连接(也参照图4、图5)。

(电极30)

作为接地电极的电极30包括端面部31、上表面部32、中间部33以及下表面部34(参照图7)。电极30作为公共电极而发挥功能。端面部31与压电体层40的侧面44(图5)对置，并与侧面44相接。下表面部34与压电体层40的下表面46对置，并与下表面46相接。上表面部32连续设置在端面部31的箭头z方向侧的端部，并配置在压电体层40的上表面41上。中间部33是电极30中的配置在压电体层40的内部的部位，在完成了压电元件50的状态下，中间部33不可见(参照图5)。另外，在此处图示的例子中，关于中间部33，作为从压电元件50的外部不可见的结构进行了说明，但是中间部33也可以是从外部可见的那样的结构。

在上表面部32以及中间部33的内侧分别设置有镂空部32h、33h(图7)。在镂空部32h的内侧，配置电极10的圆板部11(参照图5)。在上表面部32以及中间部33的内侧，还分别设置有缺口部32t、33t。在缺口部32t的内侧，配置电极10的延伸部12(参照图5)。在上表面部32中的与箭头y相反方向上的部分设置有后退部32f。后退部32f是用于允许配置电极20的上表面部22的部位。

如图7以及图9所示，上表面部32、中间部33以及下表面部34的箭头x方向上的端部与端面部31连接。另一方面，上表面部32、中间部33以及下表面部34的与箭头x相反方向上的端部不与电极20的端面部21连接，而是从端面部21分开。如图3所示，在设置于fpc80的布线图案83与电极30的上表面部32之间的部分(连接部位30c)，电极30与fpc80(布线图案83)电连接(也参照图4、图5)。

(发送部以及接收部)

参照图8～图10，在压电体层40的内部形成有发送部40n以及接收部40m。发送部40n具有由第一单位压电体层n1～n4构成的4层构造。第一单位压电体层n1～n4在从壳体60的底部62远离的方向上层叠，并通过电极20以及电极30进行电并联连接。图8～图10中的白色箭头示出各压电体层的极化方向。另一方面，接收部40m具有第二单位压电体层m1的单层构造。

电极30的下表面部34具有扩展至发送部40n以及接收部40m双方的形状。电极20的上表面部22与电极30的下表面部34之间隔着包括第一单位压电体层n1～n4的发送部40n进行对置。电极10的圆板部11与电极30的下表面部34之间隔着包括第二单位压电体层m1的接收部40m进行对置。

即，在压电体层40中，位于电极20的上表面部22与电极30的下表面部34之间的区域、位于电极20的中间部23与电极30的上表面部32之间的区域、以及位于电极20的中间部23与电极30的下表面部34之间的区域，作为发送部40n而发挥功能。另一方面，在压电体层40中，位于电极10的圆板部11与电极30的下表面部34之间的区域作为接收部40m而发挥功能。

如图8以及图10所示，发送部40n和接收部40m在壳体60的底部62的内底面62s的表面方向(x-y面方向)上形成在彼此相邻的位置。具体地，在压电体层40的中心部设置有接收部40m，在作为接收部40m的径向的外侧的周边部设置有发送部40n，使得包围接收部40m。

如图9以及图10所示，在压电元件50中，电极30的下表面部34和电极20的端面部21的端部21t位于压电元件50的粘接面侧(压电元件50中的与壳体60的底部62粘接的面侧)。电极30的下表面部34通过粘接剂64粘附在壳体60的底部62(内底面62s)。如上所述，通过在电极20、30间施加交流电压，从而电极20与电极30之间形成电位差。由此，超声波传感器100能够对超声波进行送波。在对超声波进行送波的期间，对电极30施加交流电压，但是在对超声波进行受波的期间，电极30的电位成为0伏。由此，超声波传感器100能够对超声波进行受波。

如图8以及图10所示，压电体层40的上表面41中露出在电极10与电极30之间的部分凹陷。层叠体中将接收部40m和发送部40n彼此隔开的部分相当于分离部。上表面41凹陷的区域是与分离部对应的区域的至少一部分。图8～图10中的压电体层40的上表面相当于“第一主面”，下表面相当于“第二主面”。

本实施方式中的压电元件50具备层叠体，该层叠体是层叠了多个压电体层的层叠体，具有沿着层叠方向彼此朝向反向的作为第一主面的上表面41以及作为第二主面的下表面46。该层叠体包括发送部40n、接收部40m以及将发送部40n和接收部40m彼此隔开的分离部。配置有作为发送电极的电极30，使得覆盖第一主面(上表面41)中与发送部40n对应的区域。配置有作为接收电极的电极10，使得覆盖第一主面(上表面41)中与接收部40m对应的区域。发送电极(电极30)与配置在层叠体的内部或第二主面(下表面46)的导体膜一起夹着多个压电体层中的至少一部分。接收电极(电极10)与配置在层叠体的内部或第二主面(下表面46)的导体膜一起夹着多个压电体层中的至少一部分。第一主面(上表面41)中与分离部对应的区域的至少一部分与第一主面中配置有发送电极(电极30)的区域以及配置有接收电极(电极10)的区域相比成为凹或凸。在此，虽然设为“凹或凸”，但是在图8以及图10所示的例子中，与前述的分离部对应的区域的至少一部分成为凹。压电元件50的俯视图已在图4示出，将在俯视图中对第一主面成为凹的区域附加了影线的图示于图11。电极10与电极30之间的区域成为凹。这是与分离部对应的区域。另一方面，在电极20与电极30之间的区域中，第一主面未成为凹。

在图12示出在本实施方式中的压电元件50中在上表面接合了fpc80的状态下的界面附近的部分剖视图。在压电体层的层叠体的第一主面配置有电极10以及电极30。在层叠体的第一主面中，在电极10与电极30之间的区域形成有凹部。在fpc80的表面设置有布线图案81、83。压电元件50的上表面与fpc80的接合通过各向异性导电性粘接剂来进行。各向异性导电性粘接剂在作为粘接剂的树脂中混合有焊料颗粒，通过进行接合，从而焊料颗粒凝聚在由金属构成的电极的附近并进行电连接。在图12所示的例子中，可以看到在两处形成有焊料接合部67。焊料接合部67分别通过焊料颗粒凝聚并熔融而形成。通过焊料接合部67，电极10与布线图案81电连接，电极30与布线图案83电连接。由于在电极10与电极30之间形成有凹部，所以沿着层叠体的表面的距离与没有凹部的情况相比变长。由此，焊料接合部67到达旁边的不希望的电极的概率减小。

此外，如图13所示，即使焊料颗粒68未完全附着于电极10而向侧方溢出，焊料颗粒68也会容纳于凹部，因此焊料颗粒到达旁边的电极30的概率减小。

(实施方式2)

实施方式2中的超声波传感器100具备的压电元件50a的结构与在实施方式1中说明的结构基本相同，但在以下方面不同。

在本实施方式中的压电元件50a中，将相当于实施方式1的图8～图10的剖视图分别示于图14～图16。

在本实施方式中，第一主面(上表面41)中与分离部对应的区域的至少一部分与第一主面中配置有发送电极(电极30)的区域以及配置有接收电极(电极10)的区域相比成为凸。在第一主面中，在图11中附加了影线示出的区域成为凸。即，电极10与电极30之间的区域成为凸。这是与分离部对应的区域。另一方面，在电极20与电极30之间的区域中，第一主面未成为凸。

在图17示出在本实施方式中的压电元件50a中在上表面接合了fpc80的状态下的界面附近的部分剖视图。在层叠体的第一主面中，在电极10与电极30之间的区域形成有凸部。由于在电极10与电极30之间像这样形成有凸部，所以沿着层叠体的表面的距离与没有凸部的情况相比变长。由此，焊料接合部67到达旁边的不希望的电极的概率减小。此外，如图17所示，即使焊料未完全附着于电极10而向侧方溢出，焊料也会被凸部挡住，因此焊料到达旁边的电极30的概率减小。

另外，在实施方式1、2中示出的凹部或凸部可以通过任意的方法形成。例如可以通过使用预先设置了凹凸的模具进行模压加工而在层叠体的上表面形成凹凸。或者，也可以通过对上表面实施某种除去加工而形成凹部。

另外，在实施方式1、2中，设用于与fpc80之间的电连接的导电材料是焊料而进行了说明，但是这只是一个例子。导电材料不限于焊料，也可以是其它材料。

(实施方式3)

实施方式3中的超声波传感器100具备的压电元件50b的结构与在实施方式1中说明的结构基本相同，但是在以下方面不同。

如图18所示，在本实施方式中的压电元件50b中，在层叠体的作为第一主面的上表面41中与分离部对应的区域中形成有凹部，在接收部40m中配置有内部电极75、76、77。内部电极75、76、77可以是虚设电极，也可以是具有某种功能的电极。

(实施方式4)

实施方式4中的超声波传感器100具备的压电元件50c的结构与在实施方式2中说明的结构基本相同，但在以下方面不同。

如图19所示，在本实施方式中的压电元件50c中，在层叠体的作为第一主面的上表面41中与分离部对应的区域中形成有凸部，在接收部40m中配置有内部电极75、76、77。内部电极75、76、77可以是虚设电极，也可以是具有某种功能的电极。

关于实施方式3、4，能够表现为像以下那样。压电元件中的发送部40n以及接收部40m包括在内部交替地配置有压电体层和导体膜的构造，分离部包括在沿着层叠方向(相对于第一主面(上表面41)垂直的方向)进行俯视时在内部不包括导体膜的部分。

在实施方式3、4中，能够利用根据内部电极的有无所带来的变形现象在层叠体的作为第一主面的上表面41中与分离部对应的区域中形成凹或凸。在实施方式3、4中，通过像这样形成凹或凸，从而能够得到在实施方式1或2中说明的效果。

另外，虽然在图12、图13、图17所示的例子中示出了配置在层叠体的第一主面的电极彼此之间的间隙整体成为凹或凸的状态，但是未必一定要使间隙整体成为凹或凸。例如如图20以及图21所示，也可以是间隙的一部分成为凹或凸的结构。即使在这种情况下，也能够得到与在实施方式1～4中说明的效果相同的效果。在图20以及图21中，内部电极76、77的端部的位置与电极10的端部的位置不同。在利用内部电极的有无在层叠体的第一主面形成凹凸的情况下，有在没有内部电极的区域形成凹或凸的倾向。通过该现象形成凹或凸的区域，有时与作为配置在第一主面的电极彼此之间的间隙而看到的区域不一致。若处于这样的位置关系，其结果是，如图20以及图21分别所示，有时可得到间隙的一部分成为凹或凸的结构。即使是这种结构，也能够得到与在实施方式1～4中说明的效果相同的效果。

本发明也能够应用于如下所示的各种形式的压电元件。

在图22～图24，作为三端子型的压电元件的一个例子而示出压电元件50d。三端子型的压电元件是指，如图22所示，在压电元件50d的上表面，即，在第一主面配置有电极10、电极20d的一部分、电极30d的一部分的形式的压电元件。在图22中，示出了电极20d的端面部21d以及电极30d的上表面部32d。在图23示出从图22所示的状态翻过来的样子。如图23所示，下表面，即，第二主面的大部分的区域被电极20d所覆盖。在图23中，示出了电极20d的下表面部22d以及电极30d的端面部31d。进而，在图24示出压电元件50d的模拟剖视图。但是，图24不是通过在图22的任一部位笔直地进行切割而实际显现的剖视图，而是为了说明的方便，将图22所示的电极10、电极20d、电极30d的正下方的部分的剖面各排列相同的宽度而模拟地显示的图。在图24中，还示出了电极10与电极20d之间的分离部。还示出了电极10与电极30d之间的分离部。在图24所示的例子中，在这些分离部中形成有凹或凸。

虽然在此例示了作为三端子型的压电元件，但是压电元件不限于三端子型。也可以是具有3个以上的端子的类型。

在图25～图26，作为四端子型的压电元件的一个例子而示出压电元件50e。四端子型的压电元件是指，如图25所示，在压电元件50e的上表面配置有电极10、电极20a的一部分、电极20b的一部分、电极30a的一部分的形式的压电元件。在图26示出从图25所示的状态翻过来的样子。如图26所示，下表面，即，第二主面的大部分的区域被电极20a所覆盖。进而，在图27示出压电元件50e的模拟剖视图。图27与图24同样地，是将3组部分进行排列并方便地进行了显示的剖视图。在该压电元件50e中，电极20a、20b分别相当于发送电极。电极10相当于接收电极。

(实施方式5)

对基于本发明的实施方式5中的超声波传感器200进行说明。图28是示出具备超声波传感器200的传感器装置1l的功能框的图，对应于实施方式1中的图1。超声波传感器200具备压电元件50e，该压电元件50e具有具备电极10、20a、20b、30a的四端子构造。电极20a、20b与信号生成电路104连接。电极10与接收放大器106连接，电极30a接地。

如图2所示，本实施方式中的超声波传感器100具备壳体60、压电元件50以及fpc80。壳体60为有底筒状。压电元件50的第二主面相对于壳体60的内底面62s对置地进行接合。fpc80包括多个布线。fpc80是相对于第一主面进行接合而使得多个布线与接收电极以及发送电极独立地进行电连接的布线引出部件。在此所说的压电元件50是在之前的任一实施方式中进行了说明的结构的压电元件。

本实施方式中的超声波传感器100通过采用该结构，从而能够做成为如下的超声波传感器，即，减小了产生导电材料在压电元件与布线引出部件的接合部位溢出而造成的短路的概率。

布线引出部件优选相对于第一主面(层叠体的上表面41)通过各向异性导电性粘接剂进行接合。在像这样在接合中使用了各向异性导电性粘接剂的情况下，能够特别显著地得到减小产生短路的概率的效果。虽然在图2中示出了布线引出部件为fpc80的例子，但是即使布线引出部件是其它种类的部件也是同样的。

各向异性导电性粘接剂优选包含焊料。在像这样各向异性导电性粘接剂作为导电材料而包含焊料的情况下，能够特别显著地得到减小产生短路的概率的效果。

另外，也可以将上述实施方式中的多个适当地进行组合来采用。

另外，此次公开的上述实施方式在所有方面均为例示，并不是限制性的。本发明的范围不是由上述的说明示出，而是由权利要求书示出，包括与权利要求书均等的意思以及范围内的所有的变更。

附图标记说明

1、1l：传感器装置，10：电极(接收电极)，10c、20c、30c：连接部位，11：圆板部，20、20a、20b、20d、30d、30：电极，21、21d、31d：端面部，21t：端部，22、32d：上表面部，22d：下表面部，23、24：中间部，23h、24h：镂空部，23t、24t：缺口部，30a：电极(接地电极)，31：端面部，32h、33h：镂空部，32t、33t：缺口部，33：中间部，40：压电体层，40m：接收部，40n：发送部，41：(压电体层的)上表面，42、44：(压电体层的)侧面，46：下表面，50、50a、50b、50c、50d、50e：压电元件，60：壳体，61：筒状部，62：底部，62s：内底面，62t：外表面，63：吸音材料，64：粘接剂，65：结合剂，67：焊料接合部，68：焊料颗粒，69：树脂部，71、72：填充剂，75、76、77：内部电极，80：fpc，81、82、83：布线图案，100、200：超声波传感器，101：微机，102：存储器，103：检测电路，104：信号生成电路，105：电源，106：接收放大器，n1～n4：第一单位压电体层，m1：第二单位压电体层。