专利名称：一种具有高真空密封系统的加速器的制作方法
技术领域：
本发明涉及了一种具有高真空密封系统的加速器，属于加速器真空技术领域。
背景技术：
加速器真空系统是加速器主体的一个重要组成部分，其作用提供一个加速电子运 动的通道。真空的好坏直接影响到加速器的正常运行，及加速器的性能。
加速器高真空系统是由多个真空部件相互组合密封而成。真空部件间的密封是获 得加速器高真空至关重要的关键。加速器真空部件的密封一般都采用了晴橡胶或硅橡胶所 为密封。但橡胶放气率较高，因而极限真空度较低影响束流品质。且不耐高温，容易发生真 空泄漏，不耐加速器工作时所产生的X射线，也不耐加速器工作产生的臭氧的腐蚀，使用寿 命较短。发明内容
本发明提供了一种具有高真空密封系统的加速器，通过在加速器的关键部件之间 通过合适的金属丝进行密封，使加速器具有较好的真空度，使其能够获得满意的束流品质。
为了解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是一种具有高真空密封系统的加速器，包括依次连接的电子枪、多段加速管、加速管支 座、漂移管、波纹管、芯管和扫描盒，所述电子枪与加速管之间通过金属丝密封。
前述的一种具有高真空密封系统的加速器，其特征在于所述多段加速管之间通 过金属丝密封，所述加速管与加速管支座之间通过金属丝密封。
前述的一种具有高真空密封系统的加速器，其特征在于所述加速管支座与漂移 管之间通过金属丝密封，漂移管与波纹管之间通过金属丝密封。
前述的一种具有高真空密封系统的加速器，其特征在于所述波纹管与芯管之间 通过金属丝密封，所述芯管与扫描盒之间通过金属丝密封。
前述的一种具有高真空密封系统的加速器，其特征在于所述扫描盒的底部与外 部法兰之间通过纯铝丝密封。
前述的一种具有高真空密封系统的加速器，其特征在于所述金属丝为纯银丝，其 纯度99. 9%、直径为1mm。
前述的一种具有高真空密封系统的加速器，其特征在于所述纯铝丝的纯度为 99. 9%、直径为 1mm。
本发明的有益效果是加速器高真空系统采用金属密封与传统的采用丁晴橡胶 密封相比，具有由于金属的表面放气率大大低于橡胶制品，抽真空较快，容易获得高的真空 度，且耐温，耐X射线，耐臭氧的腐蚀优于橡胶制品，因而使用寿命要比橡胶制品长得多，安 装方便等特点。经使用证明，采用金属密封的加速器高真空系统，其静态真空及动态真空均 达到加速器真空设计指标。
图1是本发明一种具有高真空密封系统的加速器的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合说明书附图，对本发明作进一步的说明。
如图1所示，一种具有高真空密封系统的加速器，包括依次连接的电子枪1、多段 加速管2、加速管支座3、漂移管4、波纹管5、芯管6和扫描盒7，所述电子枪I与加速管2之 间通过金属丝8密封，所述多段加速管2之间通过金属丝8密封，所述加速管2与加速管支 座3之间通过金属丝8密封，加速管支座3与漂移管4之间通过金属丝8密封，漂移管4与 波纹管5之间通过金属丝8密封，波纹管5与芯管6之间通过金属丝8密封，所述芯管6与 扫描盒7之间通过金属丝8密封。
通过对加速器的重要部件之间通过金属丝8进行密封，由于金属的表面放气率大 大低于橡胶制品，抽真空较快，容易获得高的真空度，且耐温，耐X射线，耐臭氧的腐蚀优于 橡胶制品，因而使用寿命要比橡胶制品长得多，安装方便等特点。经使用证明，采用金属密 封的加速器高真空系统，其静态真空及动态真空均达到加速器真空设计指标。
扫描盒7的底部与外部法兰之间通过纯铝丝9密封，纯铝丝9的纯度为99. 9%、直 径为1mm。由于扫描盒7需要经常更换，且密封口径较大，因此采用纯铝丝9进行密封，在实 现密封效果的前提下，降低了成本。
金属丝8为纯银丝，其纯度99. 9%、直径为1mm，通过采用密度更高的纯银丝进行密 封，使密封效果更好。
综上所述，本发明提供的一种具有高真空密封系统的加速器，通过在加速器的关 键部件之间通过合适的金属丝进行密封，使加速器具有较好的真空度，使其能够获得满意 的束流品质。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征及优点。本行业的技术人员应该 了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原 理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进 都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界。
权利要求
1.一种具有高真空密封系统的加速器，包括依次连接的电子枪(I)、多段加速管(2)、 加速管支座(3)、漂移管(4)、波纹管(5)、芯管(6)和扫描盒(7)，其特征在于所述电子枪 (I)与加速管(2)之间通过金属丝(8)密封。
2.根据权利要求1所述的一种具有高真空密封系统的加速器，其特征在于所述多段加速管(2)之间通过金属丝(8)密封，所述加速管(2)与加速管支座(3)之间通过金属丝(8) 密封。
3.根据权利要求1或2所述的一种具有高真空密封系统的加速器，其特征在于所述加速管支座(3)与漂移管(4)之间通过金属丝(8)密封，漂移管(4)与波纹管(5)之间通过金属丝(8)密封。
4.根据权利要求3所述的一种具有高真空密封系统的加速器，其特征在于所述波纹管(5)与芯管(6)之间通过金属丝(8)密封，所述芯管(6)与扫描盒(7)之间通过金属丝(8) 密封。
5.根据权利要求4所述的一种具有高真空密封系统的加速器，其特征在于所述扫描盒(7)的底部与外部法兰之间通过纯铝丝(9)密封。
6.根据权利要求5所述的一种具有高真空密封系统的加速器，其特征在于所述金属丝(8)为纯银丝，其纯度99. 9%、直径 为1mm。
7.根据权利要求6所述的一种具有高真空密封系统的加速器，其特征在于所述纯铝丝(9)的纯度为99. 9%、直径为1mm。
全文摘要
本发明公开了一种具有高真空密封系统的加速器，包括依次连接的电子枪、多段加速管、加速管支座、漂移管、波纹管、芯管和扫描盒，上述部件之间通过金属丝进行密封。本发明解决了现有技术中加速器的真空密封性不好的问题，加速器高真空系统采用金属密封与传统的采用丁晴橡胶密封相比，具有由于金属的表面放气率大大低于橡胶制品，抽真空较快，容易获得高的真空度，且耐温，耐X射线，耐臭氧的腐蚀优于橡胶制品，因而使用寿命要比橡胶制品长得多，安装方便等特点。经使用证明，采用金属密封的加速器高真空系统，其静态真空及动态真空均达到加速器真空设计指标。
文档编号H05H7/14GK103068146SQ20121057353
公开日2013年4月24日 申请日期2012年12月26日 优先权日2012年12月26日
发明者朱锦华 申请人:江苏达胜加速器制造有限公司