晶体生长装置制造方法
【专利摘要】一种晶体生长装置，其包括第一箱体以及第二箱体，该第一箱体包括第一本体并于该第一本体内开设有长晶室，该第二箱体包括第二本体以及提拉杆，该第二本体内开设有冷却腔体及转移腔体，该提拉杆上可拆卸地装设有第一籽晶杆，该晶体生长装置还包括装设于该第二本体内的控制机构，该控制机构包括转移件以及邻近该转移件活动装设于该第二本体内的隔开组件，该隔开组件将该转移腔体及该冷却腔体隔开，该第二箱体还包括隔板以及第二籽晶杆，该隔板活动地置于该转移腔体内以将该转移腔体与该长晶室隔开，该隔开组件能够移动以使该转移腔体与该冷却腔体连通，以供该转移件转动将该第一籽晶杆与该第二籽晶杆交换。该晶体生长装置可以缩短晶体的生产周期。
【专利说明】晶体生长装置【技术领域】
[0001]本发明涉及一种晶体生长装置，尤其涉及一种应用于导模法生长晶体的晶体生长装置。。
【背景技术】
[0002]晶体例如蓝宝石(Sapphire)，其具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性。因而被作为视窗材料广泛应用于红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光中。常用的蓝宝石晶体成型方法有泡生法、柴氏法、热交换法、导模法以及温度梯度法。导模法能够直接成型具有所需外形的蓝宝石晶体，因而可以简化制造工序以及提高材料利用率。导模法所采用的晶体生长装置一般包括长晶室以及位于长晶室上方且与长晶室连通的冷却腔体，提拉杆提拉成型晶体并将晶体提拉至冷却腔体中冷却，冷却后取出晶体，但是这种晶体生长装置生产晶体所需生产周期较长。
【发明内容】
[0003]鉴于上述内容，有必要提供一种能够缩短生产周期的晶体生长装置。
[0004]一种晶体生长装置，其包括第一箱体以及设置于第一箱体上的第二箱体，该第一箱体包括第一本体并于该第一本体内开设有长晶室，该第二箱体包括第二本体以及提拉杆，该第二本体内开设有冷却腔体，该第二本体包括与该长晶室连通的转移腔体，该提拉杆滑动地装设于该转移腔体内且其上可拆卸地装设有第一籽晶杆，该晶体生长装置还包括装设于该第二本体内的控制机构，该控制机构包括转动地设置于该第二本体内的转移件以及邻近该转移件活动装设于该第二本体内的隔开组件，该隔开组件将该转移腔体及该冷却腔体隔开，该第二箱体还包括隔板以及可拆卸地装设于该冷却腔体内的第二籽晶杆，该隔板活动地置于该转移腔体内以将该转移腔体与该长晶室隔开，该隔开组件能够移动以使该转移腔体与该冷却腔体连通，以供该转移件转动将该第一籽晶杆与该第二籽晶杆交换。
[0005]—种晶体生长装置，其包括第一箱体以及设置于第一箱体上的第二箱体，该第一箱体包括第一本体并于该第一本体内开设有长晶室，该第二箱体包括第二本体以及提拉杆，该第二本体内开设有冷却腔体，该冷却腔体为多个且并列设置，该第二本体内还开设有与该长晶室相连通的转移腔体，该转移腔体与该多个冷却腔体中末端的一个冷却腔体相连通，该晶体生长装置还包括分别装设于该转移腔体与该末端冷却腔体之间、相邻两个冷却腔体之间的多个控制机构，该控制机构包括转移件以及隔开组件，该提拉杆滑动地装设于该转移腔体内且其上可拆卸地装设有第一籽晶杆，该转移件转动地设置于该第二本体内，该隔开组件将该转移腔体与末端的冷却腔体，以及该多个冷却腔体互相隔开，该第二箱体还包括隔板以及可拆卸地装设于该多个冷却腔体中的多个第二籽晶杆，该隔板活动地设置于将该转移腔体中以将该转移腔体与该长晶室隔开，该多个隔开组件能够移动使该转移腔体与该末端冷却腔体或者相邻两个冷却腔体相通，以供该转移件将第一籽晶杆与该末端冷却腔体内的第二籽晶杆交换或者从一个冷却腔体向远离该转移腔体的相邻冷却腔体内转移。
[0006]由于控制机构设置于转移腔体与冷却腔体之间，使得晶体于冷却腔体中冷却时，
提拉杆继续于长晶室中进行长晶作业，因而可以缩短晶体的生产周期。
【专利附图】
【附图说明】
[0007]图1为本发明第一实施方式的晶体生长装置的剖面示意图。
[0008]图2为图1所示晶体生长装置处于长晶作业过程的剖面示意图。
[0009]图3为图1所示晶体生长装置中晶体转移过程的剖面示意图。
[0010]图4为本发明第二实施方式的晶体生长装置的剖面示意图。
[0011]主要元件符号说明
【权利要求】
1.一种晶体生长装置，其包括第一箱体以及设置于该第一箱体上的第二箱体，该第一箱体包括第一本体并于该第一本体内开设有长晶室，该第二箱体包括第二本体以及提拉杆，该第二本体内开设有冷却腔体，其特征在于:该第二本体包括与该长晶室连通的转移腔体，该提拉杆滑动地装设于该转移腔体内且其上可拆卸地装设有第一籽晶杆，该晶体生长装置还包括装设于该第二本体内的控制机构，该控制机构包括转动地设置于该第二本体内的转移件以及邻近该转移件活动装设于该第二本体内的隔开组件，该隔开组件将该转移腔体及该冷却腔体隔开，该第二箱体还包括隔板以及可拆卸地装设于该冷却腔体内的第二籽晶杆，该隔板活动地置于该转移腔体内以将该转移腔体与该长晶室隔开，该隔开组件能够移动以使该转移腔体与该冷却腔体连通，以供该转移件转动将该第一籽晶杆与该第二籽晶杆交换。
2.如权利要求1所述的晶体生长装置，其特征在于:该第二本体于该转移腔体及该冷却腔体之间向一侧凸伸以形成容纳部，该控制机构装设于该容纳部中，该隔开组件为两个，该转移件可转动地收容于该两个隔开组件之间。
3.如权利要求2所述的晶体生长装置，其特征在于:该控制机构还包括绝缘基座以及加热体，该绝缘基座设置于容纳部中，该加热体设置于绝缘基座中，该两个隔开组件装设于该绝缘基座的两侧。
4.如权利要求3所述的晶体生长装置，其特征在于:该隔开组件包括连接件以及隔开件，该连接件活动设置于该绝缘基座上，该隔开件固定于连接件上。
5.如权利要求3所述的晶体生长装置，其特征在于:该转移件包括旋转部以及中部固定于该旋转部上的转移部，该旋转部转动设置于绝缘基座上，该旋转部能够驱动该转移部旋转，以使该转移部的两端分别处于该转移腔体与该冷却腔体中。
6.如权利要求5所述的晶体生长装置，其特征在于:该第二箱体还包括多个加热件以及装设于该冷却腔体上部的支撑杆，该多个加热件分别装设于该转移腔体与该冷却腔体中，该第二籽晶杆可拆卸地装设于该支撑杆上，该转移件能够通过转移部两端将该提拉杆上的第一籽晶杆与该第二籽晶杆交换。
7.如权利要求1所述的晶体生长装置，其特征在于:该第一箱体还包括设置于该长晶室内的收容部以及隔热器，该收容部用于收容晶体原材料的熔融液体并开设有开口，该隔热器装设于该收容部上方，其内形成两端开口的成型腔，该成型腔一端与该开口相通。
8.如权利要求1所述的晶体生长装置，其特征在于:该转移腔体与该冷却腔体于该第二本体内并列设置，该转移腔体设置于该长晶室的正上方，该冷却腔体处于该转移腔体的一侧。
9.如权利要求8所述的晶体生长装置，其特征在于:该第二本体于该转移腔体的底壁上开设有连通口，该第一本体上还开设有转移口，该转移口与该连通口对应相通，该提拉杆与该转移口及该连通口处于一条直线上。
10.一种晶体生长装置，其包括第一箱体以及设置于第一箱体上的第二箱体，该第一箱体包括第一本体并于该第一本体内开设有长晶室，该第二箱体包括第二本体以及提拉杆，该第二本体内开设有冷却腔体，其特征在于:该冷却腔体为多个且并列设置，该第二本体内还开设有与该长晶室相连通的转移腔体，该转移腔体与该多个冷却腔体中末端的一个冷却腔体相连通，该晶体生长装置还包括分别装设于该转移腔体与该末端冷却腔体之间、相邻两个冷却腔体之间的多个控制机构，该控制机构包括转移件以及隔开组件，该提拉杆滑动地装设于该转移腔体内且其上可拆卸地装设有第一籽晶杆，该转移件转动地设置于该第二本体内，该隔开组件将该转移腔体与末端的冷却腔体，以及该多个冷却腔体互相隔开，该第二箱体还包括隔板以及可拆卸地装设于该多个冷却腔体中的多个第二籽晶杆，该隔板活动地设置于将该转移腔 体中以将该转移腔体与该长晶室隔开，该多个隔开组件能够移动使该转移腔体与该末端冷却腔体或者相邻两个冷却腔体相通，以供该转移件将第一籽晶杆与该末端冷却腔体内的第二籽晶杆交换或者从一个冷却腔体向远离该转移腔体的相邻冷却腔体内转移。
【文档编号】C30B29/20GK103898598SQ201210589279
【公开日】2014年7月2日 申请日期:2012年12月29日 优先权日:2012年12月29日
【发明者】章绍汉 申请人:富泰华精密电子（郑州）有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司