专利名称：用于晶体硅太阳能电池生产中工艺气体扩散的进气管的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及晶体硅太阳能电池生产加工领域，具体是一种用于晶体硅太阳能电池生产中工艺气体扩散的进气管。
背景技术：
在晶体硅太阳能电池生产工艺中，目前所普遍采用的是P0CL3液态源扩散制作PN结，其原理如图I所示。在扩散过程中，工艺气体通过一个罩杯从炉尾进入炉内，然后通过尾气管从炉口抽出。利用该方法进行扩散，工艺简单，成本较低，因而成为目前晶体硅太阳能电池生产制作PN结的主要方法。但由于硅片之间的距离很近，该种方法使得进入到硅片中心区域的工艺气体明显少于硅片边缘区域，使得硅片中心区域的方块电阻明显高于硅片边缘，从而使均匀性变差。为了获得较好的片内均匀性，通常采用的方法是将石英舟上下梁 的卡槽错开一定距离，使硅片在炉内有一个偏向炉尾方向的倾斜。这样，从炉尾方向进来的工艺气体就更容易进入到硅片中心区域，从而使均匀性得到改善。但是，由于从炉尾进入的工艺气体温度较低，工艺气体在进入炉内之后首先会下沉，经加热之后再上升分散进入硅片中心区域，这样使得炉尾及中尾区域的均匀性受到一定的影响。
实用新型内容本实用新型提供了一种用于晶体硅太阳能电池生产中工艺气体扩散的进气管，解决了以往工艺气体进入炉内的方式容易导致硅片中心区域的工艺气体明显少于硅片边缘区域，使得硅片中心区域的方块电阻明显高于硅片边缘，从而使均匀性变差的问题。本实用新型为解决技术问题主要通过以下技术方案实现用于晶体硅太阳能电池生产中工艺气体扩散的进气管，包括进气管本体以及套接在进气管本体上的罩杯，所述进气管本体的一端为开口，进气管本体的另一端密封，且进气管本体的密封端设有一个出气孔，进气管本体的外部设有填充层。所述罩杯与进气管本体的开口的距离为进气管本体的长度的1/5 1/4。通过罩杯将进气管固定在炉管进气端上。所述填充层的厚度为进气管本体的管壁厚度的I. 5^3倍。填充层主要是为了减小进气管与炉管进气端之间的缝隙，避免腐蚀物质在进气管上堆积。所述罩杯套接在填充层上。本实用新型与现有技术相比具有以下优点和有益效果(I)本实用新型的进气管本体采用试管结构，即一端开口，一端密封，在密封端设置一个出气孔，这样工艺气体进入炉内后直接往上流动，很好地改善了方块电阻的均匀性问题。(2)本实用新型在进气管本体外设置了填充层，这样减小了进气管与炉口之间的缝隙，避免了炉内产生的腐蚀性物质堆积在进气管上，造成进气管被腐蚀穿，最后导致管子断裂，从而延长了进气管的使用寿命，降低了使用成本。
图I为传统的晶体硅太阳电池生产中工艺气体扩散的原理图；图2为本实用新型的结构示意图；图3为本实用新型安装在炉管进气端上使用时的结构示意图。附图中所对应的附图标记为1、进气管本体，2、罩杯，3、出气孔，4、填充层。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。 实施例如图2所示，本实用新型包括进气管本体I以及套接在进气管本体I上的罩杯2，进气管本体I的一端为开口，进气管本体I的另一端密封，且进气管本体I的密封端设有一个出气孔3，进气管本体I的外部设有填充层4。本实施例的罩杯2与进气管本体I的开口的距离为进气管本体I的长度的1/5 1/4。本实施例的填充层4的厚度为进气管本体I的管壁厚度的I. 5^3倍。本实施例的罩杯2套接在填充层4上。本实用新型的工作原理为如图3所示，将本实用新型安装在炉管进气端上，填充层4使进气管与炉口之间基本实现无缝接触，工艺气体通过进气管本体I的开口进入，然后从出气孔3流出，工艺气体向上流动至硅片，实现扩散。如上所述，则能很好地实现本实用新型。
权利要求1.用于晶体硅太阳能电池生产中エ艺气体扩散的进气管，其特征在于包括进气管本体(I)以及套接在进气管本体(I)上的罩杯(2)，所述进气管本体(I)的一端为开ロ，进气管本体(I)的另一端密封，且进气管本体(I)的密封端设有ー个出气孔(3)，进气管本体(I)的外部设有填充层(4)。
2.根据权利要求I所述的用于晶体硅太阳能电池生产中エ艺气体扩散的进气管，其特征在于所述罩杯(2)与进气管本体(I)的开ロ的距离为进气管本体(I)的长度的1/5 1/4。
3.根据权利要求I所述的用于晶体硅太阳能电池生产中エ艺气体扩散的进气管，其特征在于所述填充层(4)的厚度为进气管本体(I)的管壁厚度的1.5 3倍。
4.根据权利要求I所述的用于晶体硅太阳能电池生产中エ艺气体扩散的进气管，其特征在于所述罩杯(2)套接在填充层(4)上。
专利摘要本实用新型公开了用于晶体硅太阳能电池生产中工艺气体扩散的进气管，包括进气管本体(1)以及套接在进气管本体(1)上的罩杯(2)，进气管本体(1)的一端为开口，进气管本体(1)的另一端密封，且进气管本体(1)的密封端设有一个出气孔(3)，进气管本体(1)的外部设有填充层(4)。本实用新型采用上述结构，能使方块电阻的均匀性较好，同时延长进气管的使用寿命，降低使用成本。
文档编号C30B31/16GK202610397SQ20122027997
公开日2012年12月19日 申请日期2012年6月14日 优先权日2012年6月14日
发明者袁泽锐, 赵太平, 夏伟, 程曦, 包崇彬, 李质磊, 盛雯婷, 张凤鸣 申请人:天威新能源控股有限公司, 保定天威集团有限公司