专利名称：处理器装置用托盘安装台的制作方法
技术领域：
本发明涉及进行试验用半导体IC(以后简称为DUT)的试验时将放置DUT的托盘可靠地并且出入容易地供给IC试验系统的处理器装置用托盘安装台。
对于将放置DUT的托盘放置在托盘安装台上、自动地将DUT供给IC试验系统并根据试验结果自动地分类存放的处理器装置用托盘安装台而言，必须可靠地承载放置DUT的托盘，从而要求正确地定位。
另外，在IC试验系统中，必须处理大量的DUT及托盘，从而要求能够容易而安全地出入。
第1个先有的例子示于图3、4、5。
这一例子是主要着眼于进行正确地定位而设置的处理器装置用托盘安装台。
图3是托盘安装台的斜视图，图4是托盘安装台的侧视图。
多个DUT放置在托盘90的内部，处理器装置接收到各个DUT后，移动到进行电气试验的位置。多个该托盘90重叠地放置到托盘安装台上，利用升降机构沿高度方向上升到指定的位置。
另外，根据DUT的种类不同，有各种大小不同的托盘，为了适应多种托盘的大小，具有用于沿X方向和Y方向进行定位的定位机构。
处理器装置的主座80确定处理器装置的位置基准。沿处理器装置的主座80的X方向的一边和Y方向的一边放置的托盘90，利用可移动式托盘调节杆25分别从X方向和Y方向挤压进行定位。
通常，承载托盘90的升降机35越大越容易确保托盘的水平位置。图5是承载托盘90的升降机35的平面图。将托盘90向上推升的升降机35的平面，呈除去托盘调节杆25移动的部分的扩展状。即，具有凸凹的平面a、b、c、d、f、g、h、i、j、k、l的平面，设置有除去托盘调节杆25移动的部分d、e、f、g和i、j、k、l的平面。并且，托盘调节杆25配置成可以沿X方向和Y方向移动到最小的托盘尺寸位置。另外，升降机35的平面a、b、c、h具有可以将最大的托盘尺寸覆盖的大小。因此，不论托盘90小还是大，由于确保升降机35具有足够的面积，所以，总是可以将托盘90水平地向上推升。
托盘90由升降机35按如下方式上升或下降到指定的位置。
线性齿条76连接成可以使升降机35上下移动，利用升降机齿轮75的转动而上升或下降。另外，为了将升降机35保持为水平而设置有线性导轨45。
为了将提升到指定高度的托盘90顶住，在托盘调节杆25上设置有托盘推杆26。
托盘推杆26如图4所示的那样，挤压住最上部的托盘将其固定，防止处理器装置吸附DUT时吸附灰尘，将DUT放置到托盘内时可以正确地放置到托盘的DUT放置部分。
另外，通常为了处理大量的DUT，处理器装置使用多个托盘90。并且，这些托盘90向托盘安装台内的装入和取出由人工进行。
如上所述，按照第1个先有的例子，当正确地将处理器装置的主座80定好位时，可以将托盘90固定。但是，托盘90向托盘安装台内的装入和取出由人工进行，由于在托盘安装台的上部有处理器装置的可动部分，所以，不能确保宽阔的空间，从而托盘90的更换作业不便。
其次，第2个先有的例子示于图6、7。
这个例子是主要着眼于容易进行托盘的装入和取出而设置的处理器装置用托盘安装台。
图6是托盘安装台的斜视图，图7是托盘安装台的侧视图。在托盘安装台中，在托盘移动座5上设置有托盘90定位用的托盘导引杆15。沿托盘导引杆15放置的托盘90由托盘调节杆25从X方向或者Y方向进行挤压而定位。
为了将托盘水平地上升或下降到指定的位置而设置有升降机35。
在本先有技术中，为了将托盘移动座5从处理器装置中拉出或者送入而设置有滑动压力滚子6。
因此，可以将托盘安装台和托盘90一起拉出，在将托盘安装台拉出的状态下可以将托盘装入和取出。所以，在将托盘90装入和取出时，在该托盘安装台上确保具有宽阔的空间，从而可以容易地进行托盘90的更换作业。此外，这时由于在托盘安装台的周围没有处理器装置等的可移动部分，所以，可以安全地进行作业。
下面，参照图7说明将托盘90水平地提升到指定的位置的状况。
在托盘移动座5上设置有托盘导引杆15和托盘调节杆25，为了将托盘90顶住而在托盘调节杆25上设置有托盘推杆26。
线性齿条76连接成可以使升降机35上下移动，利用升降机35的转动而上升或下降。
为了将升降机35保持为水平而设置有线性导轨45。
托盘90的定位始终是相对于托盘导引杆15进行的。但是，由于滑动压力滚子6是利用滑动机构的可移动式，所以，通常存在微小的摇动等，对于处理器本体难于定位。对于处理器装置的主座80，托盘90的位置存在误差x。
这样，由于相对于处理器装置没有托盘安装台的托盘移动座的定位基准，所以，不能正确地进行托盘的定位。
为了给出托盘移动座的正确位置，在托盘移动座上，在移动压力滚子的周围必须使用昂贵的线性移动导轨。
本发明的目的旨在实现可以将放置DUT的托盘按正确的位置供给处理器装置并且可以容易而安全地进行托盘向托盘安装台的装入和取出作业的处理器装置用托盘安装台。
为了达到上述目的，在本发明中，相对于托盘调节杆25的长度，将托盘导引杆15的长度缩短。在该托盘导引杆15的上部，与处理器装置的主座80一体地设置有托盘基准杆(50、51、52、53)。
因此，托盘90由升降机35向上推，当到达最上部时，此前由托盘导引杆15定位的托盘90就转换为由托盘基准杆(50、51、52、53)进行定位。在与托盘基准杆的高度对应的位置，将托盘推杆26安装到X方向和Y方向的各托盘调节杆25上。并且，利用托盘推杆26的气压泵的作用由托盘基准杆将该最上部的托盘挤压住。由于托盘基准杆(50、51、52、53)与处理器装置的主座80安装成一体，所以，托盘90可以与处理器装置正确地定位。另外，可以将托盘安装台与托盘90一起拉出，从而可以在将托盘安装台拉出的状态下将托盘取出和装入。因此，在进行托盘90的取出和装入时，在该托盘安装台的上部可以确保宽阔的空间，从而可以容易而安全地进行托盘90的更换作业。
图1是本发明的处理器装置用托盘安装台的一个实施例的斜视图。
图2是本发明的处理器装置用托盘安装台的一个实施例的侧视图。
图3是第1个先有例子的托盘安装台的斜视图。
图4是第1个先有例子的托盘安装台的侧视图。
图5是承载托盘90的升降机35的平面图。
图6是第2个先有例子的托盘安装台的斜视图。
图7是第2个先有例子的托盘安装台的侧视图。
下面，参照
实施例。
参照图1、2说明处理器装置用托盘安装台，图1是托盘安装台的一个实施例的斜视图，图2是托盘安装台的一个实施例的侧视图。
如图1所示，在放置多个托盘90的托盘移动座5的上面，将定位用的托盘导引杆15配置在大致90度正交的X方向和Y方向的2个方向。托盘调节杆25沿X方向和Y方向将托盘90向各托盘导引杆15挤压而固定。即，进行托盘移动座5上相对于托盘导引杆15的定位。
在托盘移动座5上，设置有作为可以将托盘移动座5拉出或压入的导轨的滑动压力滚子6。因此，托盘移动座5可以拉出到处理器前面，从而可以将承载的托盘90取出或装入。
另外，将托盘90向上推升的升降机35的平面呈除去托盘调节杆25移动的部分的宽阔状。即，具有凸凹的平面a、b、c、d、e、f、g、h、i、j、k、l的平面，设置有除去托盘调节杆25移动的部分d、e、f、g和i、j、k、l的平面，所以，不论托盘90大小都可以水平地向上提升。
在拾取并吸附DUT的处理器装置的主座80上，设置有沿X方向和Y方向用于进行托盘的最终定位的托盘基准杆(50、51、52、53)。
托盘90如上述那样首先利用托盘导引杆15进行定位。然后，利用升降机35向上推升。如图2所示的那样，相对于托盘调节杆25的长度，将托盘导引杆15的长度缩短。在该托盘导引杆15的上部，设置托盘基准杆(50、51、52、53)。
因此，托盘90由升降机35向上推升，当到达最上部时，此前由托盘导引杆15定位的托盘90就转换为由托盘基准杆(50、51、52、53)进行定位。在与托盘基准杆(50、51、52、53)的高度对应的位置上，将托盘推杆26安装到X方向和Y方向的各托盘调节杆25上。并且，利用托盘推杆26的气压泵的作用，将最上部的托盘向托盘基准杆(50、51、52、53)挤压。由于托盘基准杆(50、51、52、53)与处理器装置的主座80安装成一体，所以，托盘90可以与处理器本体正确地定位。
如上述那样，由于托盘导引杆15具有将托盘90定位到某种程度的功能，所以，不使用昂贵的线性移动导引杆等也可以完成。
另外，上述托盘基准杆只要能确保与处理器装置的主座80的位置一致就可以，可以在与托盘调节杆相对的X方向和Y方向设置成一个面，也可以细分为多个而设置。
另外，上述托盘推杆26只要是能提供用于将托盘顶住的压力的就可以，如果具有弹性也可以。
由于本发明是如上述说明的那样构成的，所以，具有如下效果。
在拾取并吸附DUT的处理器装置的主座的X方向和Y方向设置有托盘基准杆，因此，当由升降机将托盘向上推升时，转换为托盘基准杆，所以，可以保持着水平正确地进行X方向和Y方向的定位，将DUT放置到托盘内时，不存在DUT进入不到托盘的定位槽内或者从托盘吸取DUT时吸取不到DUT的中心的问题。另外，可以将托盘安装台与托盘90一起拉出，在将托盘安装台拉出的状态下可以将托盘装入和取出。因此，进行托盘90的装入和取出时，在该托盘安装台的上部，可以确保宽阔的空间，从而可以容易地进行托盘90的更换作业。并且，这时，在托盘安装台的周围没有处理器装置等的可移动部分，所以，可以安全地进行作业。
权利要求
1.一种处理器装置用托盘安装台，包括在放置多个托盘(90)的托盘移动座(5)的上面重叠地放置多个托盘90并使之上下移动的升降机(35)，其特征在于分别设置有可以将托盘移动座(5)装入和取出的滑动压力滚子(6)、固定地配置在托盘移动座(5)的两边的用于托盘90的定位的多个托盘导引杆(15)、与在托盘移动座(5)的其他两边设置为可以移动的多个托盘(90)的外形的大小一致地进行定位的托盘调节杆(25)、在托盘导引杆(15)的上部与处理器装置的主座(80)成为一体由升降机(35)将托盘(90)向上推升并从托盘导引杆(15)转换过来进行两个方向定位的托盘基准杆(50、51、52、53)，以此进行正确的定位。
2.如权利要求1所述的处理器装置用托盘安装台，其特征在于对于托盘调节杆(25)，在与托盘基准杆(50、51、52、53)的高度对应的位置，在各托盘调节杆(25)上附加有由弹性体构成的托盘推杆(26)，以此进行正确的定位。
3.如权利要求2所述的处理器装置用托盘安装台，其特征在于托盘推杆(26)由气压泵构成。
全文摘要
本发明为一种将放置DUT的托盘以正确的定位供给处理器装置而且可以容易地进行托盘的装入和取出作业的处理器装置用安装台。因此，相对于托盘调节杆的长度，将托盘导引杆的长度缩短，并将托盘基准杆配置到该托盘导引杆的上部。从而，当托盘被升降机向上推升到最上部时，就转换为由托盘基准杆进行定位。在与托盘基准杆的高度对应的位置，托盘推杆安装在X方向和Y方向的各托盘调节杆上。
文档编号H05K13/00GK1134605SQ95117240
公开日1996年10月30日 申请日期1995年9月26日 优先权日1995年4月28日
发明者清川敏之, 大浦溥 申请人:株式会社爱德万测试