一种基于VO2薄膜的柔性呼吸传感器及其制备方法与流程

技术特征：

1.一种基于VO₂薄膜的柔性呼吸传感器，包括聚酰亚胺薄膜、设置于聚酰亚胺薄膜上的平行金电极、覆盖于平行金电极上的VO₂薄膜、以及覆盖于VO₂薄膜上的聚二甲基硅氧烷。

2.按权利要求1所述基于VO₂薄膜的柔性呼吸传感器的制备方法，包括以下步骤：

步骤1、配制VO₂薄膜的前驱液；

步骤2、采用旋涂的方法将步骤1配制的前驱液均匀涂覆于SiO₂/Si基片表面，烘干得到含钒的薄膜样品；

步骤3、对步骤2得到的含钒的薄膜样品进行热处理，然后随炉自然冷却至室温，即SiO₂/Si基片表面制备得VO₂薄膜；

步骤4、对步骤3得到的VO₂/SiO₂/Si结构薄膜通过光刻法将VO₂薄膜刻蚀为条带状，即条带状VO₂薄膜；

步骤5、采用氢氟酸溶液对条带状VO₂薄膜对应下层的SiO₂层进行刻蚀，使条带状VO₂薄膜悬空于基片上；

步骤6、采用热释放胶粘取经步骤5的VO₂薄膜；

步骤7，采用溅射法在聚酰亚胺薄膜表面上制作平行金电极，将步骤6得到的热释放胶上的VO₂薄膜覆盖于电极上，并加热使VO₂薄膜贴合于电极上，采用PDMS覆盖VO₂薄膜，即制备得基于VO₂薄膜的柔性呼吸传感器。

3.按权利要求2所述基于VO₂薄膜的柔性呼吸传感器的制备方法，其特征在于，步骤1所述配制VO₂薄膜的前驱液采用高分子辅助沉积法配制，具体过程为：将含钒盐的溶液与水溶性高分子混合，得到含钒络合物混合液，作为制备VO₂薄膜的前驱液；所述水溶性高分子为带有氨基或者亚氨基的水溶性聚合物。

4.按权利要求2所述基于VO₂薄膜的柔性呼吸传感器的制备方法，其特征在于，步骤3所述热处理的气体气氛为还原气氛，具体为以体积百分比计纯度1％～2％的氢气与氮气的混合气体，热处理温度为400～600℃，热处理时间为1～3小时。

5.按权利要求2所述基于VO₂薄膜的柔性呼吸传感器的制备方法，其特征在于，步骤4所述VO₂薄膜的刻蚀溶液为HNO₃及HNO₃的稀释溶液。