专利名称：蓝宝石衬底清洗方法
技术领域：
本发明涉及清洗方法，更具体地说，涉及一种蓝宝石衬底清洗方法。
背景技术：
对于制作LED芯片来说，衬底材料的选用是首要考虑的问题。应该采用哪 种合适的衬底，需要根据设备和LED器件的要求进行选择。目前市面上一般采 用蓝宝石衬底。通常，GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上。 蓝宝石衬底有许多的优点首先，蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好； 其次，蓝宝石的稳定性很好，能够运用在高温生长过程中；最后，蓝宝石的机 械强度高，易于处理和清洗。因此，大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。传 统的蓝宝石衬底清洗方法中，采用有毒性的三氯乙烯进行清洗，这不仅会造成 人员中毒，而且会污染环境；而且由于在操作过程中，未使用超声使得清洗时 间长，影响清洗效率，并且需要在密闭的环境中，进行高温清洗， 一般会在 125°C条件下进行清洗。
发明内容
本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种蓝宝 石衬底清洗方法。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:构造一种蓝宝石衬底清洗方 法，包括以下步骤在正常室温下异丙醇超声清洗和丙酮超声清洗以及加热条 件下丙酮浸泡清洗。
在本发明所述的蓝宝石衬底清洗方法中，依次包括以下步骤
a、 在正常室温下，将蓝宝石衬底浸泡于异丙醇有机溶剂中，配合超声波 作用，清洗大约1 3分钟；
b、 在正常室温下，将蓝宝石衬底浸泡于丙酮有机溶剂中，配合超声波作用，清洗大约1 5分钟；
C.在沸腾状态下，将蓝宝石衬底浸泡于丙酮有机溶剂中1 2分钟；
d.将清洗完的蓝宝石衬底取出，进行加热烘干。
在本发明所述的蓝宝石衬底清洗方法中，在所述步骤a中，在正常室温下，
将蓝宝石衬底浸泡于异丙醇有机溶剂中，配合超声波作用，清洗大约3分钟；
在本发明所述的蓝宝石衬底清洗方法，其特征在于，在所述步骤b中，在 正常室温下，将蓝宝石衬底浸泡于丙酮有机溶剂中，配合超声波作用，清洗大
约3分钟。
在本发明所述的蓝宝石衬底清洗方法中，在所述步骤c中，在沸腾状态下， 将蓝宝石衬底浸泡于丙酮有机溶剂中大约1. 5分钟。
在本发明所述的蓝宝石衬底清洗方法中，所述超声波的频率为10 200KHz。
实施本发明的蓝宝石衬底清洗方法，具有以下有益效果取消了传统清洗 方法中使用的三氯乙烯试剂，减少了环境污染，避免人员中毒；在清洗过程中， 使用超声波和加热清洗，可节省清洗时间，提高清洗效率和清洗质量；工艺简 单，操作方便，满足环保要求。
具体实施例方式
以GaN为代表的第三代半导体材料无论在光学特性还是在电学特性方面 都很好的弥补了传统半导体材料本身固有的缺点，因而在近几年发展异常迅 速。
本发明蓝宝石衬底的清洗方法是指后段制程的清洗，即研磨后的清洗。 本发明的蓝宝石衬底清洗方法中，在正常室温下，使用异丙醇有机溶剂和 丙酮有机溶剂，在超声波的配合下，进行清洗。在实施中，异丙醇超声清洗和 丙酮超声清洗的清洗顺序可以变更。在完成超声清洗后，接着在加热条件下， 将蓝宝石衬底浸泡于丙酮有机溶剂中，作进一步处理。
在一优选的实施例中，蓝宝石衬底清洗方法中，依次包括以下步骤
a、在正常室温下，将蓝宝石衬底浸泡于异丙醇有机溶剂中，配合超声波作用，清洗大约1 3分钟；
b、在正常室温下，将蓝宝石衬底浸泡于丙酮有机溶剂中，配合超声波作
用，清洗大约1 5分钟。
C、在沸腾状态下，将蓝宝石衬底浸泡于丙酮有机溶剂中，加热清洗大约
1 2分钟。
d、将清洗完的蓝宝石衬底取出，放在提篮上，然后放在加热板上烘干， 清洗完成。
优选的，在所述步骤a中，清洗大约3分钟；
在实施中，可将丙酮清洗分为两步骤，即C、在正常室温下，将蓝宝石
衬底浸泡于丙酮有机溶剂中，配合超声波作用，清洗大约2或2.5分钟；b2、 在沸腾状态下,将蓝宝石衬底浸泡于丙酮有机溶剂中，浸泡清洗大约1. 5分钟。 在本发明中所使用的超声波发生器的功率为100w 300w、频率为10 200KHz
权利要求
1、一种蓝宝石衬底清洗方法，其特征在于，包括以下步骤在正常室温下，有机溶剂超声清洗；以及在加热条件下，丙酮浸泡。
2、 根据权利要求1所述的蓝宝石衬底清洗方法，其特征在于，所述有机 溶剂是异丙醇和丙酮。
3、 根据权利要求2所述的蓝宝石衬底清洗方法，其特征在于，依次包括 以下步骤a、 在正常室温下，将蓝宝石衬底浸泡于异丙醇有机溶剂中，配合超声波作用，清洗大约1 3分钟；b、 在正常室温下，将蓝宝石衬底浸泡于丙酮有机溶剂中，配合超声波作用，清洗大约1 5分钟；C.在沸腾状态下，将蓝宝石衬底浸泡于丙酮有机溶剂中1 2分钟；d.将清洗完的蓝宝石衬底取出，进行加热烘干。
4、 根据权利要求3所述的蓝宝石衬底清洗方法，其特征在于，在所述步 骤a中，在正常室温下，将蓝宝石衬底浸泡于异丙醇有机溶剂中，配合超声 波作用，清洗大约3分钟。
5、 根据权利要求3所述的蓝宝石衬底清洗方法，其特征在于，在所述步 骤b中，在正常室温下，将蓝宝石衬底浸泡于丙酮有机溶剂中，配合超声波 作用，清洗大约3分钟。
6、 根据权利要求3所述的蓝宝石衬底清洗方法，其特征在于，在所述步 骤c中，在沸腾状态下，将蓝宝石衬底浸泡于丙酮有机溶剂中大约1. 5分钟。
7、 根据权利要求1 6任一所述的蓝宝石衬底清洗方法，其特征在于， 所述超声波的频率为10 200KHz。
全文摘要
本发明涉及一种蓝宝石衬底清洗方法，包括以下步骤在正常室温下，有机溶剂超声清洗；以及在加热条件下，丙酮浸泡。实施本发明的蓝宝石衬底清洗方法，取消了传统清洗方法中使用的三氯乙烯试剂，减少了环境污染，避免人员中毒；在清洗过程中，使用超声波和加热清洗，可节省清洗时间，提高清洗效率和清洗质量；工艺简单，操作方便，满足环保要求。
文档编号B08B3/12GK101468352SQ20071030583
公开日2009年7月1日 申请日期2007年12月27日 优先权日2007年12月27日
发明者谢雄略 申请人:深圳市方大国科光电技术有限公司