专利名称：：输送物的除尘方法及装置的制作方法
技术领域：
：本发明涉及一种输送物的除尘方法及装置，尤其涉及在邻接的2个以上净化室之间隔着输送物通过用开口部连续地输送平面状输送物时输送物的除尘方法及装置。
背景技术：
：近年来，在制造电子产业领域中的半导体或液晶显示器、医药品领域中的医药用包装容器、食品领域中的填充容器等制品时，大多具有在输送薄膜或薄板状的基板等平面状输送物的同时进行形成、加工的工序。为了保证制品的质量和防止异物混入，该形成、加工工序设置在净化室内。另外，在各工序中，净化室被分别隔开，在该隔开的边界部设置用于输送输送物的幵口部。在专利文献1中提出，在层叠体薄膜转印设备及转印方法中，在2个净化室边界部为了夹持薄膜而配置2个除尘装置。在专利文献2中提出了不让抛光处理中产生的异物飞散到集尘箱以外而排出到系统外，从而防止向连续基板的附着或向周边装置的堆积的方法及装置。在专利文献3中，在连续抛光处理装置中，为了抑制抛光处理引起的亮点故障，提出了抛光滚轮(巻曲抛光片材的滚轮)的除尘及抛光处理之后的薄膜除尘。专利文献l:特开2003—71932号公报专利文献2:特开2005—266019号公报专利文献3:特开平9—166784号公报但是，在专利文献l中，由于输送引力变动等而存在这种问题，艮口，在作为输送物的薄膜中产生振动，使得摩擦薄膜时附着瑕疵或发生尘埃。另外，在制造不同宽度的制品时，超出制品宽度的部分也被除尘装置的空气吹到而发生薄膜端部的振动，附着的尘埃向室内吹飞，成为污染室内的原因。那么，在专利文献2中，不能利用薄膜附近的伴随空气除去与薄膜一起输送的微小异物，而向集尘箱的外面飞散。另外，在专利文献3中，在低清洁度室中进行薄膜的除尘的情况下，除尘后异物会再次附着，在高清洁度室中进行的情况下，在除尘前剥脱的异物会在除尘器下游侧再次附着。另外，在净化室内输送的已除尘的输送物的宽度不固定，通常由于输送物的种类或批次的变更而输送物的宽度不同。这种情况下，输送物的宽度的不同导致为了除尘而喷出的气体的气流发生紊乱，如光学补偿薄膜，极微量的尘埃的附着也会给光学特性带来不良影响，因而必需进行精密除尘的情况下，输送物的宽度即使改变，气流也不会发生紊乱是必要的。
发明内容本发明之一为了实现所述目的而提供一种输送物的除尘方法，其是对于在隔着形成有输送物通过用开口部的边界部来串联地邻接配置的多个净化室内连续输送的平面状输送物的除尘方法，其中，设置有如下工序，即，在所述输送物通过用开口部的位置，用滚轮支撑所述输送物的表背面中的一面，同时利用与该滚轮对向配置的加压风喷出装置向所述输送物的另一面喷射气体，从而利用风压除去附着于所述输送物的异物的除尘工序。如果相对加压风喷出装置喷出的气体的宽度(对应输送物宽度方向的宽度)，输送物的宽度变小，则向没有输送物的部分喷出气体的比例变大，因而容易发生输送物的宽度改变引起的气流的紊乱。因此，在本发明中，由于与加压风喷出装置对向设置滚轮，所以即使输送该滚轮的输送物的宽度改变，从加压风喷出装置喷出的气体被滚轮挡住，所以难以发生气流的紊乱。如果利用本发明之一，在隔着形成有输送物通过用开口部的边界部来串联地邻接配置的多个净化室内被连续输送的平面状输送物的除尘方法中，通过在输送物通过用开口部成为用加压风喷出装置和滚轮夹持输送物的结构，利用加压风喷出装置的风压，除去在上游侧的净化室中的工序中发生并附着的输送物上面的异物，设置于输送物的另一面的滚轮可以支撑输送物的背面，所以可以抑制输送物端部的振动的发生。另外，利用设置输送物背面的滚轮，也可以防止加压风喷出装置的风压引起的除尘后的异物绕入输送物背面而再次附着。因而，能够在基板等单张式制造工序或光学补偿薄膜制造工序中，提供一种可以抑制异物向平面状输送物附着的缺陷从而以高产品率制造的输送方法。本发明之二是在本发明之一中，在所述加压风喷出装置中附加有吸引装置为特征。如果利用本发明之二，通过在加压风喷出装置中附加有吸引装置，被加压风喷出装置的风压从输送物除去的异物被吸引装置吸引，所以可以防止净化室内污染。本发明之三是在本发明之一或二中，所述滚轮是在表面具有粘合层的滚轮为特征。如果利用本发明之三，附着于输送物背面的异物也会被滚轮除去，因而更优选。本发明之四是在本发明之一三的任意一项中，其特征在于，在所述邻接配置的多个净化室中，输送方向的下游侧的清洁度与上游侧相比，为同等以上。如果利用本发明之四，邻接配置的多个净化室中输送方向的下游侧的清洁度与上游侧相比为同等以上，可以抑制异物向平面状输送物附着引起的缺陷，所以优选。本发明之五是在本发明之一四的任意一项中，其特征在于，在所述加压风喷出装置中附加有超声波发生装置。根据本发明之五，通过在加压风喷出装置中附加超声波发生装置，可以向输送物喷射超声波振动的压縮空气，所以可以有效地除去微小异物。本发明之六是在本发明之一五的任意一项中，其特征在于，所述加压风喷出装置的加压风使用已通过异物除去过滤器的空气。如果利用本发明之六，由于加压风喷出装置的加压风使用已通过异物除去过滤器的空气，所以可以进一步有效地除去微小异物。本发明之七是在本发明之一六的任意一项中，其特征在于，所述输送物为长条状输送物。另外，本发明之八是在本发明之一六的任意一项中，其特征在于，所述输送物为单张式输送物。本发明之九为了实现所述目的而提供一种输送物的除尘装置，其是在隔着形成有输送物通过用开口部的边界部来串联地邻接配置的多个净化室内被连续输送的平面状输送物的除尘装置，其中，具有滚轮，其设置于所述输送物通过用开口部的位置，并支撑所述输送物的表背面中的一面；和加压风喷出装置，其与所述滚轮隔着所述输送物对向配置，并向所述输送物的上面喷出气体。本发明之九是将本发明之一的方法构成为装置的发明。本发明之十是在本发明之九中，其特征在于，在将所述输送物的宽度设为Ll、将所述加压风喷出装置的喷出口的所述输送物宽度方向的长度设为L2、将所述滚轮的长度设为L3时，满足LKL2《L3的关系。如果根据本发明之十，在将所述输送物的宽度设为Ll、将所述加压风喷出装置的喷出口的所述输送物宽度方向的长度设为L2、将所述滚轮的长度设为L3的情况下，满足LKL2《L3的关系时特别有效。本发明是鉴于这样的情况而提出的，其目的在于，例如在基板等单张式制造工序或光学补偿薄膜制造工序中，提供一种可以抑制异物向平面状输送物附着引起的缺陷从而以高产品率制造的输送物的除尘方法及装置。如果利用本发明，可以提供一种输送物的除尘方法及装置，其是隔着形成有输送物通过用开口部的边界部来串联地邻接配置的多个净化室内连续输送的平面状输送物的除尘方法及装置，其可以抑制异物向平面状输送物附着引起的缺陷从而以高产品率制造。图1是表示光学补偿片的制造工序的一例的示意图。图2是说明本发明中的输送物通过用开口部的说明图。图3是说明本发明中的加压风喷出装置和滚轮的说明图。图4是说明输送物为单张式输送物时的输送物通过用开口部的说明图。图5是说明本发明中的输送物通过用开口部的加压风喷出装置的示意图。图6是说明本发明中的输送物通过用开口部的主视图。图中，IO—光学补偿薄膜制造装置，12—薄膜辊，14一透明树脂薄膜，15—输送物，16—输出机，18—抛光滚轮，20—导向滚轮，22—除尘机，24—涂敷机，26—加热区域，28—紫外线(UV)灯，30—检查装置，32一保护薄膜，34—层压机，36—巻绕装置，40—输送物通过用开口部，42、43、44一导向滚轮，46—异物，48—加压风喷出装置，50—滚轮。具体实施方式以下利用附图对本发明的输送物的除尘方法及装置的优选实施方式进行详述。另外，在此，对光学补偿薄膜制造工序的情况进行了说明，但不限于光学补偿薄膜制造工序，只要输送物为平面状则任何制造工序都可以适用。图1是使用具有取向膜形成用树脂层的薄膜来制造光学补偿薄膜的制造装置的一例。如图1所示，也可以将作成光学补偿片到巻绕为止的工序，连续地进行流水作业。从具有取向膜形成用树脂层的薄膜辊12开始，利用输出机16输出具有取向膜形成用树脂层的透明树脂薄膜14，利用由抛光滚轮18、固定于滚轮装载台的导向滚轮20及设置在抛光滚轮的除尘机22构成的抛光装置，实施抛光处理，形成的取向膜的表面被邻接设置于抛光装置的表面除尘机22除尘。形成有取向膜的透明树脂薄膜14被驱动滚轮输送，在取向膜上，利用涂敷机24涂敷内含液晶性圆盘状化合物的涂敷液，接着，使溶剂蒸发，然后在加热区域26中，将涂敷层加热至原盘状向列(disconematic)相形成温度(在此，涂敷层的残留溶剂也蒸发)，形成原盘状向列相的液晶层。接着，将所述液晶层利用紫外线(UV)灯28照射紫外线，液晶层交联。为了使其交联，需要使用具有交联性官能团的液晶性圆盘状化合物作为液晶性圆盘状化合物。在使用不具有交联性官能团的液晶性圆盘状化合物的情况下，省略该紫外线照射工序，立即使其冷却。这种情况下，为了不使原盘状向列相在冷却中变化，需要快速地进行冷却。利用检查装置30测定形成有取向膜及液晶层的透明树脂薄膜表面的光学特性，检査其是否存在异常。接着，利用层压机34，在液晶层表面层压保护薄膜32，在巻绕装置36上巻绕。在此，光学补偿薄膜制造工序主要由l)透明树脂薄膜14输出工序A;2)在表面形成有取向膜形成用树脂层的透明树脂薄膜上，在树脂层的表面实施抛光处理，在透明树脂薄膜上形成取向膜的抛光工序B;3)在取向膜上涂敷内含液晶性圆盘状化合物的涂敷液的液晶性圆盘状化合物的涂敷工序C;4)干燥该涂敷层从而使该涂敷层中的溶媒蒸发的干燥工序D;5)固化该液晶层(即，使用具有交联性官能团的液晶性圆盘状化合物的情况下，利用光照射使液晶层交联)的工序E;6)巻绕形成有该取向膜及液晶层的透明树脂薄膜的巻绕工序F构成，如图1所示，各工序AF的装置分别设置于被隔开的净化室内。各净化室在邻接的2个净化室之间设置输送物通过用开口部40。本发明是在隔着形成有输送物通过用开口部的边界部来串联地邻接配置的多个净化室内被连续输送的平面状输送物的除尘方法，其特征在于，设置如下工序，即在所述输送物通过用开口部的位置，用滚轮支撑所述输送物的表背面中的一面，并同时利用与该滚轮对向配置的加压风喷出装置，向所述输送物的另一面喷射气体，从而利用风压除去附着于所述输送物的异物的除尘工序。以下对抛光工序B的净化室b和涂敷工序C的净化室c进行说明。通常，用于除去异物的加压风喷出装置设置于净化室c内的涂敷机24的上游侧。透明树脂薄膜14被导向滚轮42、44引导移动。在本发明中，如图2所示，在输送物通过用开口部40处设置利用风压除去附着于透明树脂薄膜14的异物46的加压风喷出装置48。另外，隔着透明树脂薄膜14与加压风喷出装置48对向设置滚轮50。优选在加压风喷出装置48中附加吸引装置。如图3所示，加压风喷出装置48可以考虑(A)喷出口48a和吸引口48b各l个、(B)1个喷出口48a和2个吸引口48b、(C)2个喷出口48a和1个吸引口48b等。在隔着形成有输送物通过用开口部的边界部来串联地邻接配置的多个净化室内被连续输送的平面状输送物的除尘方法中，通过在输送物通过用开口部40成为用加压风喷出装置48和滚轮50夹持透明树脂薄膜14的结构，利用加压风喷出装置48的风压，除去在上游侧的净化室b中的工序中发生并附着的透明树脂薄膜14一面的异物46，设置于透明树脂薄膜14的另一面的滚轮50可以支撑透明树脂薄膜14，从而可以抑制透明树脂薄膜14端部的振动的发生。另外，利用设置于透明树脂薄膜14背面的滚轮，也可以防止加压风喷出装置48的风压引起的除尘后的异物绕入透明树脂薄膜14的另一面而再次附着。接着，通过在加压风喷出装置48中附加吸引装置，可以防止被加压风喷出装置48的风压从透明树脂薄膜14除去的异物污染净化室b、c内。另外，如图2所示，优选在透明树脂薄膜14的上面设置支撑输送物的表背面中的一面的滚轮50。因而，在光学补偿薄膜制造工序中，可以抑制异物向平面状输送物附着引起的缺陷而以高产品率制造。另外，加压风喷出装置48的风压的压力越高，则异物除去能力越增加，但在超过10KPa使用的情况下，输送物振动，与加压风喷出装置48接触的可能性变高，必需付与吸引装置。加压风喷出装置48的风压优选在8KPa40KPa的范围内使用。另外，与加压风喷出装置48对向的滚轮50和透明树脂薄膜14的包(wrap)角通常为38度以上，优选为43度180度。作为使用的透明树脂薄膜14，通常包括其宽度为3002000mm、长度为4510000m、厚度为2200pm的由聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚2，6—萘二甲酸乙二醇酯、二醋酸纤维素、三乙酸纤维素、乙酸丙酸纤维素、聚氯乙烯、聚偏氯乙烯、聚碳酸酯、聚酰亚胺、聚酰胺等塑料薄膜、纸、涂敷或层叠有聚乙烯、聚丙烯、乙烯丁烯共聚物等碳原子数210的a—聚烯烃类的纸等构成的挠性带状物或者以该带状物为基材进而在其表面形成加工层的带状物。作为透明树脂薄膜14的涂敷液的涂敷量，可以优选采用215mL/m2的范围。另外，作为透明树脂薄膜14的涂敷液的涂敷宽度，可以优选采用5002000mm的范围。另外，作为涂敷液的粘度，可以优选采用0.810cp(0.810X10—3Pa*s)的范围。以上对本发明的输送方法为长条状输送物的光学补偿薄膜的制造工序的情况进行了说明，但不限于长条状输送物的光学补偿薄膜制造工序，也可以适用输送物为基板等单张式(枚葉式)输送物的制造工序。图4是在输送薄板状的基板等平面状的输送物的同时进行形成、加工的工序中，在邻接的2个净化室之间，隔着形成有输送物通过用开口部的边界部，将单张式输送物15连续地输送的方式的图。平面状输送物15被导向滚轮42、43、44引导并移动。如图4(A)所示，在输送物通过用开口部40处设置利用风压除去附着于单张式输送物15的异物46的加压风喷出装置48。接着，隔着单张式输送物15，与加压风喷出装置48对向设置滚轮50。这样，在隔着形成有输送物通过用开口部的边界部来串联地邻接配置的多个净化室内连续输送的平面状输送物的除尘方法中，通过在输送物通过用开口部40成为用加压风喷出装置48和滚轮50夹持单张式输送物15的结构，利用加压风喷出装置48的风压，除去在上游侧的净化室1中的工序中发生并附着的单张式输送物15—面的异物46，设置于单张式输送物15的另一面的滚轮50可以支撑单张式输送物15，从而可以抑制单张式输送物15端部的振动的发生。另外，利用设置于单张式输送物15的另一面的滚轮，也可以防止加压风喷出装置48的风压引起的除尘后的异物绕入单张式输送物15的另一面而再次附着因而，不仅在光学补偿薄膜等长条状输送物的制造工序中，而且在输送物为基板等的单张式输送物的制造工序中，也可以抑制异物向平面状输送物附着引起的缺陷而以高产品率制造。另夕卜，如果减小加压风喷出装置48与输送物15的距离H，则异物除去能力增加，但在输送物15的张力低的情况下，张力变动引起与加压风喷出装置48接触的可能性变高。另一方面，如果加大加压风喷出装置48与输送物15的距离H，则异物除去能力降低，不能完全地除去输送物的附着异物。图4(B)为图4(A)的点线部分40a的放大图，因而，加压风喷出装置48与输送物15的距离H存在适当的范围。根据本申请人的实验，通常以lmm3mm、优选以lmm2mm的范围相对输送物15设置加压风喷出装置48即可。另外，制造时为了即使输送物的宽度发生改变也不会发生加压风喷出及吸引宽度的改变，在与距离H相同的范围内设置加压风喷出装置48与滚轮50的距离H'。在此，如果滚轮50的直径变小，则与输送物15的间隙难以调节。通常，直径为100mm以上，但根据本申请人的实验，优选直径在150mm300mm的范围。接着，滚轮50优选为为了除去异物而在表面具有粘合层的滚轮。这是因为，也可以用滚轮除去在输送物15的加压风喷出装置48的背面的异物。在为了除去异物而使用具有粘合层的滚轮的情况下，如果粘合力小，则异物除去能力降低。另一方面，如果粘合力大，则输送速度变动变大，而且，输送物带电进而在后面的工序中诱发其他故障或者污物附着的可能性变高。因而，粘合力存在适当的范围，根据本申请人的实验，通常为40135hPa，优选为45100hPa。另外，在邻接配置的多个净化室中，优选输送方向的下游侧的清洁度与上游侧相比，为同等以上。在邻接配置的多个净化室中，输送方向的下游侧的清洁度与上游侧相比，清洁度高或者清洁度相同，可以抑制异物向平面状输送物附着引起的缺陷，所以优选。另外，如图3的不在加压风喷出装置中附加吸引装置的情况下，如图5所示，使加压风喷出装置48向下游侧倾斜，以使加压风喷出装置48的空气向输送方向的上游侧喷出。进而，优选在加压风喷出装置48中附加超声波发生装置。通过在加压风喷出装置中附加超声波发生装置，可以向输送物喷射超声波振动的压縮空气，所以可以有效地除去微小异物。接着，加压风喷出装置48的加压风优选使用已通过异物除去过滤器的空气。由于加压风喷出装置的加压风使用已通过异物除去过滤器的空气，所以可以有效地进一步除去微小异物。进而，如图6所示，在将输送物的宽度设为Ll、将加压风喷出装置的喷出口的输送物宽度方向的长度设为L2、将滚轮的长度设为L3时，优选满足LKL2《L3的关系。通过满足LKL2《L3的关系，可以有效地抑制输送物端部的振动的发生，还可以防止利用加压风喷出装置的风压除尘之后的异物绕入输送物背面进而再次附着。实施例接着，使用图1所示的光学补偿薄膜制造装置10说明实施例。(光学补偿薄膜用涂敷液的配制)相对下述所示的圆盘状化合物TE—8的R(1)和R(2)的重量比为4:1的混合物，添加10重量％环氧乙烷改性三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(V弁360，大阪有机科学(株)制)、0.6重量％乙酸丁酸纤维素(CAB531一1，,一7卜7y$力少公司制)、3重量％光聚合引发剂(Irgacure907，日本汽巴-嘉基(株)制)、1重量％增感剂(力卞年二7—DET—X，日本化药(株)制)，最终成为该混合物的32重量％甲基乙基甲酮溶液。向该内含液晶性化合物的液体中，进而添加0.3重量％氟系表面活性剂(内含氟脂肪族基共聚物，、乂夕F780，大日本^y年(株)制)，作为涂敷液。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>(涂敷条件).刮取用条锭装置…在直径8mm的圆柱状的芯材上，紧密地巻绕0.07mm的线(wire)而成条锭涂敷条件…20m/分涂敷张力…200N/m[比较例1]如专利文献l(特开2003—71932)所示，在图1的输送物通过用开口部40上设置加压风喷出装置48。另外，在加压风喷出装置48附加吸引装置。另外，加压风喷出装置48相对输送物，距离H设置为2mm。[比较例2]如专利文献2(特开2005—266019)所示，在图1的输送物通过用开口部40上设置吸引装置。另外，吸引装置相对输送物，距离H设置为2mm。[比较例3]在图1的输送物通过用开口部40没有设置任何装置。[实施例1]在图1的输送物通过用开口部40设置加压风喷出装置48。另外，加压风喷出装置48相对输送物，距离H设置为2mm。接着，隔着输送物，与加压风喷出装置48对向设置滚轮50。另外，滚轮的直径为150mm。[实施例2]在图1的输送物通过用开口部40设置加压风喷出装置48。另外，在加压风喷出装置48上附加吸引装置。另外，加压风喷出装置48相对输送物，距离H设置为2mm。接着，隔着输送物，与加压风喷出装置48对向设置滚轮50。另外，滚轮的直径为150mm。[实施例3]在图1的输送物通过用开口部40设置加压风喷出装置48。另外，加压风喷出装置48相对输送物，距离H设置为2mm。接着，隔着输送物，与加压风喷出装置48对向设置在表面具有粘合层的滚轮50。另外，滚轮的直径为150mm。[实施例4]在图1的输送物通过用开口部40设置加压风喷出装置48。另外，在加压风喷出装置48附加吸引装置。另外，加压风喷出装置48相对输送物，距离H设置为2mm。接着，隔着输送物，与加压风喷出装置48对向设置在表面具有粘合层的滚轮50。另外，滚轮的直径为150mm。(评价)对长条状输送物2000m涂敷、检查后的异物除去数的比较结果如表1所示。关于振动，利用目视，将通常的通过输送物通过用开口部40的振动的50%以下评价为〇，将50100X评价为A,将100X以上评价为X。另外，关于异物附着评价，利用检査机检査涂敷后的异物附着引起的故障，将通常的异物故障数的30%以下评价为〇〇〇，将3050%评价为〇〇，将5070%评价为〇，70100X评价为A，100X以上评价为X。[表1]<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>(试验结果)从表1的结果可知，在隔着输送物通过用开口部邻接的2个净化室之间连续地输送的工序中，在输送物通过用开口部，利用加压风喷出装置的风压除去附着于输送物上面的异物，同时在隔着所述输送物与加压风喷出装置对向设置滚轮的实施例14中，与不是这样的比较例13相比，在振动及异物附着评价中得到好的结果。从实施例1与实施例2的比较中可知，通过向加压风喷出装置附加吸引装置，在异物附着评价中得到好的结果。另外，从实施例2与实施例4的比较可知，为了除去异物而在滚轮的表面具有粘合层的方式，在异物附着评价中得到好的结果。[实施例59]进而，在实施例1的条件下改变距离H与滚轮的直径，进行试验。改变的条件及异物附着评价结果如表2所示。[表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>(试验结果)从表2的结果可知，从实施例1、5及6可知，加压风喷出装置48与输送物的距离H存在适当的范围，优选以lmm2mm的范围相对输送物设置加压风喷出装置48。另外，从实施例1及79可知，滚轮50的直径优选在150mm300mm的范围。权利要求1.一种输送物的除尘方法，其是在隔着形成有输送物通过用开口部的边界部来串联地邻接配置的多个净化室内被连续输送的平面状输送物的除尘方法，其中，设置有如下工序，即，在所述输送物通过用开口部的位置，用滚轮支撑所述输送物的表背面中的一面，同时利用与所述滚轮对向配置的加压风喷出装置向所述输送物的另一面喷射气体，从而利用风压除去附着于所述输送物的异物的除尘工序。2.根据权利要求1所述的输送物的除尘方法，其特征在于，在所述加压风喷出装置中附加有吸引装置。3.根据权利要求1或2所述的输送物的除尘方法，其特征在于，所述滚轮是在表面具有粘合层的滚轮。4.根据权利要求13中任意一项所述的输送物的除尘方法，其特征在于，在所述邻接配置的多个净化室中，输送方向的下游侧的清洁度与上游侧相比，为同等以上。5.根据权利要求14中任意一项所述的输送物的除尘方法，其特征在于，在所述加压风喷出装置中附加有超声波发生装置。6.根据权利要求15中任意一项所述的输送物的除尘方法，其特征在于，所述加压风喷出装置的加压风使用已通过异物除去过滤器的空气。7.根据权利要求16中任意一项所述的输送物的除尘方法，其特征在于，所述输送物为长条状输送物。8.根据权利要求16中任意一项所述的输送物的除尘方法，其特征在于，所述输送物为单张式输送物。9.一种输送物的除尘装置，其是在隔着形成有输送物通过用开口部的边界部来串联地邻接配置的多个净化室内被连续输送的平面状输送物的除尘装置，其中，具有滚轮，其设置于所述输送物通过用开口部的位置，并支撑所述输送物的表背面中的一面，和加压风喷出装置，其与所述滚轮隔着所述输送物对向配置，并向所述输送物的上面喷出气体。10.根据权利要求9所述的输送物的除尘装置，其特征在于，将所述输送物的宽度设为Ll、将所述加压风喷出装置的喷出口的所述输送物宽度方向的长度设为L2、将所述滚轮的长度设为L3的情况下，满足LKL2《L3的关系。全文摘要本发明提供一种在隔着形成有输送物通过用开口部的边界部来串联地邻接配置的多个净化室内被连续输送的平面状输送物的除尘方法及装置，其是可以抑制异物向平面状的输送物附着引起的缺陷从而以高产品率制造的输送物的除尘方法及装置。在隔着形成有输送物通过用开口部(40)的边界部来串联地邻接配置的多个净化室(1)、(2)内连续输送的平面状输送物(15)的除尘方法中，设置如下工序，即在输送物通过用开口部(40)的位置，用滚轮(50)支撑输送物(15)的表背面中的一面，并同时利用与该滚轮(50)对向配置的加压风喷出装置(48)，向输送物(15)的另一面喷射气体，利用风压除去附着于输送物(15)的异物的除尘工序。文档编号B08B5/02GK101274325SQ20081009002公开日2008年10月1日申请日期2008年3月31日优先权日2007年3月30日发明者小桥创一申请人:富士胶片株式会社