用于制造半导体和显示器的工艺的清洁剂组合物的制作方法
【专利摘要】本申请案涉及用于制造半导体和显示器的工艺的清洁剂组合物。清洁剂组合物包括0.01wt%到3wt%氨基酸螯合剂、0.01wt%到0.5wt%有机酸、0.01wt%到1.0wt%无机酸、0.01wt%到5wt%碱化合物和0.01wt%到98wt%去离子DI水，从而使得所述组合物是pH为8到13的基于水的碱且能在防止反向吸附和铜腐蚀的同时移除颗粒和有机污染物。此外，所述清洁剂组合物可进一步包括苯甲酸或苯并三唑腐蚀抑制剂。另外，可用所述苯甲酸或苯并三唑腐蚀抑制剂替代所述氨基酸螯合剂。因此，本发明可提供清洁剂组合物，其具有改良的金属杂质移除能力且能在抑制铜腐蚀和反向吸附的同时移除有机污染物。通过控制蚀刻速率，本发明可提供能用于铜蚀刻、残余物移除和各种其它应用的清洁剂组合物。
【专利说明】用于制造半导体和显示器的工艺的清洁剂组合物
【技术领域】
[0001]本发明涉及用于制造半导体和显示器的工艺的清洁剂组合物。更具体来说，本发明涉及在制造半导体和TFT-1XD的工艺中具有清洁、蚀刻和移除功能的组合物。
【背景技术】
[0002]随着信息技术快速发展，已开始执行大规模集成电路(LS1、ULSI, VLSI)的小型化、高密度和高度集成，而且业内正在研发多层布线技术。为完成多层导线，需要减小导线之间的间距和容量。为此，最近已使用具有低电阻率的铜(Cu)作为导线材料。
[0003]在制造半导体装置的过程中，半导体装置可经受清洁以移除诸如颗粒、金属原子、有机材料等污染物，由此提高半导体装置的可靠性。然而，由于这一清洁过程可造成腐蚀或铜的反向粘着，典型清洁剂组合物很难在防止出现所述问题的同时具有增强的移除颗粒或有机污染物的功能。
[0004]朝鲜专利公开案第10-2004-003211IA号揭示经缓冲的含有氟化物的水性蚀刻残余物移除剂和清洁剂，其PH为大于7.0到约11.0。所述发明涉及使用弱酸或质子化碱作为缓冲溶液的能移除抗蚀剂并蚀刻残余物的组合物，其在大于7.0到约11.0的pH范围内有效。然而，这种组合物的问题在于，这种组合物不能靠螯合剂和缓冲剂功能同时实现对Cu腐蚀和反向吸附的足够防护与颗粒或有机污染物的移除。
【发明内容】
[0005]本发明的目标是提供清洁剂组合物，其为pH在8到13范围内的基于水的碱且能在防止反向吸附和铜腐蚀的同时移除颗粒和有机污染物。
[0006]根据本发明的一个方面,清洁剂组合物包括0.01重量％(wt%)到3wt%氨基酸螯合剂、0.01wt%到0.5wt%有机酸、0.01wt%到1.0wt%无机酸、0.01wt%到5wt%碱化合物和0.01wt%到98wt%去离子(DI)水，从而使得所述组合物是pH介于8到13范围内的基于水的碱且能在防止反向吸附和铜腐蚀的同时移除颗粒和有机污染物。
[0007]氨基酸螯合剂可包括选自由以下组成的群组的至少一者:Ac-甘氨酸、甘氨酸、甘氨酸-13C、甘氨酸-2，2-d、甘氨酸-N，N, Ο-d、甘氨酸-d、L-甘氨酸、N-甘氨酸、Z-甘氨酸、Z-甘氨酰胺、甘氨酸酐、甘氨酸苄酯、甘氨酸苄酯、甘氨酸-1-13C、甘氨酸-2-13C、甘氨酸柠檬酸盐、甘氨酸钴盐、甘氨酸甲酚红、甘氨酸甲酚红、甘氨酸乙基酯、甘氨酸-d2-N-Fmoc、甘氨酸延胡索酸盐、大豆(glycine max)、甘氨酸-1-13C-15N、甘氨酸-13C2-15N、甘氨酸-15N、医药级甘氨酸、 甘氨酸磷酸盐、试剂级甘氨酸、甘氨酸钠盐、甘氨酸硫酸盐、甘氨酸百里酚蓝、甘氨二甲基苯酰胺-d、甘氨酸二甲苯胺、甘氨酸锌盐、Boc-甘氨酸、DNP-甘氨酸、甘油、甘氨酰胺、甘氨酸盐、黄豆黄苷、糖基、葡萄糖胺、山柑子碱、MTH-甘氨酸、聚甘氨酸、PTH-甘氨酸、TNP-甘氨酸、三甘氨酸、乙二胺-N，N，N'，N'-四乙酸-13C4、乙二胺四乙酸-dl、乙二胺四乙酸-d4、乙二胺四乙-dl2酸、乙二胺四乙酸铵盐、乙二胺-N，N，N'，N,-四乙酸钙、乙二胺四乙酸钙二钠盐、乙二胺四乙酸铜盐、乙二胺四乙酸二铵铜盐溶液、乙二胺四乙酸铜二铵盐、乙二胺四乙酸二铵盐水合物、乙二胺四乙酸二钙盐、乙二胺四乙酸二钙盐、乙二胺四乙酸二锂盐、乙二胺四乙酸二锂盐水合物、乙二胺四乙酸二钾镁盐、乙二胺四乙酸二钾盐、乙二胺四乙酸二钾盐2-水合物、乙二胺四乙酸二钾盐、乙二胺四乙酸二钠钡盐、乙二胺四乙酸二钠钙盐、乙二胺四乙酸二钠钴盐、乙二胺四乙酸二钠铜盐、乙二胺四乙酸二钠铅盐、乙二胺四乙酸二钠镁盐、乙二胺四乙酸二钠镁盐、乙二胺四乙酸二钠锰盐、乙二胺四乙酸二钠镍盐、乙二胺四乙酸二钠盐、乙二胺四乙酸二钠盐2-水合物、乙二胺四乙酸二钠盐溶液、乙二胺四乙酸二钠锌盐、乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸铁(III)铵盐、乙二胺四乙酸铁(III) 一钠盐、乙二胺四乙酸铁(III)钾盐、乙二胺四乙酸铁
(III)钠盐、乙二胺四乙酸铁(III)钠盐3-水合物、乙二胺四乙酸铁(III)钠盐水合物、乙二胺四乙酸镁二钠盐、乙二胺四乙酸锰盐、乙二胺-N，N，N'，N'-四乙酸、单酸酐、乙二胺四乙酸一钠铋盐、乙二胺-N，N，N'，N'-四乙酸四天冬氨酸八[酰胺基[N-(2-氨基乙基)马来酰亚胺]]、乙二胺-N，N，N'，N'-四乙酸四[N-(2-氨基乙基)马来酰亚胺]、乙二胺四乙酸四甲基酯、乙二胺四乙酸四甲基酯硫酸盐、乙二胺四乙酸四钾盐、乙二胺四乙酸四钠盐、乙二胺四乙酸四钠盐水合物、乙二胺四乙酸四钠盐2-水合物、乙二胺四乙酸四钠盐
4-水合物、乙二胺四乙酸四钠盐水合物、乙二胺四乙酸四钠盐水合物、乙二胺四乙酸三乙基酯盐酸盐、乙二胺四乙酸三钾盐、乙二胺四乙酸三钾盐2-水合物、乙二胺四乙酸三钠盐、乙二胺四乙酸三钠盐、乙二胺四乙酸三钠盐1-水合物、乙二胺四乙酸三钠盐1-水合物、乙二胺四乙酸三钠盐3-水合物、乙二胺四乙酸锌二钠盐水合物、乙二胺四乙酸锌盐、乙二胺四乙酸二酸酐、环己二胺四乙酸、反式-1，2-环己二胺四乙酸、反式-1，2-环己二胺四乙酸
1-水合物、1，2-二氨基丙烷四乙酸、二乙基氨基-乙酸、二亚乙基三胺五乙酸二酸酐、乙二胺四乙酸二钠、(乙烷二硫 代亚基四)四乙酸、乙二胺四(亚甲基膦酸)、二乙酸乙二胺、二乙酰胺乙酸乙二胺、乙二胺四乙腈、乙二胺四(亚甲基膦酸)、乙二胺四丙酸、六亚甲基二胺四亚甲基膦酸、六亚甲基二胺四(亚甲基膦酸)、乙二胺四乙酸铁(III)、甲氧基亚氨基-乙酸、2-甲基乙酰乙酸、(2-甲基苯甲酰基)氨基乙酸、亚甲基二水杨酸、甲基亚氨基二乙酸、苯基氨基乙酸、邻亚苯基二乙酸、对亚苯基二乙酸、N，N，N' ,N' -1，4-亚苯基二胺四乙酸、1，3-丙二胺五乙酸、1,3-丙二胺-N，N，N' ,N'-四乙酸、丙二胺四乙酸、胸腺嘧啶-1-乙酸、1-(亚苄基氨基)仲班酸、2-二乙基氨基甲基丙烯酸、4-二乙基氨基水杨酸、二甲基二苯胺对苯二甲酸、乙-d4-二胺-1-N-叔Boc、二(乙二胺)氯化钴、乙二胺二盐酸盐、乙二胺氢溴酸盐、乙二胺盐酸盐、(乙二胺)氯化钯(II)、乙二胺二-L-(+)_酒石酸盐、4-(甲基氨基)丁酸、2_(甲基氨基)乙磺酸、甲基β-神经氨酸、12-甲基十四烷酸、13-甲基十四烷酸、间苯二胺-4-磺酸、对亚苯基二胺-2-磺酸、对苯二胺-邻-磺酸和吡嗪四甲酸。
[0008]此外，有机酸可包括选自由以下组成的群组的至少一者:乳酸、(+/-)_乳酸、D-(-)_乳酸、DL-乳酸、L(+)_乳酸、(S)-(-)乳酸苄酯、D-乳酸-苄酯、乳酸正丁基酯、L-乳酸钙盐、乳酸十二烷基酯、L-(-)_乳酸乙基酯、乳酸乙基酯、L-(+)_乳酸半锌盐、乳酸异戊基酯、(R)_(+)_乳酸异丁基酯、D-(-)_乳酸锂盐、DL-乳酸锂盐、DL-乳酸锂盐、L-(+)_乳酸锂盐、L-乳酸锂盐、乳酸锂盐、L-乳酸镁盐3-水合物、乳酸薄荷基酯、D-(+)_乳酸甲基酯、乳酸甲基酯、DL-乳酸、L-乳酸钾盐、乳酸粉末、DL-乳酸、L-(+)_乳酸银盐、DL-乳酸-14C钠、D-乳酸钠盐、L- (+)-乳酸钠盐、DL-乳酸钠盐、L (+)-乳酸溶液、乳酸溶液、L- (+)-乳酸溶液、乳酸溶液、乙酸、乙酸d4、乙酸-1-13C，d4、乙酸-13C2、乙酸-1802、乙酸_2，2，2_d3、乙酸-2-13C，2，2，2-d3、乙酸_dl、乙酸_d4、乙-2，2，2_d3酸、乙酸铝钠盐、草酸铵甲酯、乙酸铵铜盐、乙酸铵锌盐、乙酸正戊基酯、乙-1，2-13C2酸1，I'-酐、乙-1-14C酸1，I'-酐、3-乙酸苯硼酸、4-乙酸-苯硼酸、乙酸溴二苯基甲基酯、乙酸2-溴乙基酯、乙酸3- 丁烯-1-基酯、乙酸3- 丁烯-2-基酯、乙酸反式-2- 丁烯基酯、乙酸2-叔丁基环己基酯、乙酸正丁基酯、乙酸叔丁基酯、乙酸4-叔丁基苯基酯、乙酸2- 丁炔基酯、乙酸-1-13C、乙酸-2-13C、乙酸
2-氯乙基酯、乙酸6-氯-1H-吲哚-3-基酯、乙酸肉桂基酯、乙酸钴盐、乙酸铜盐、乙酸1-氰基-2-丙烯基酯、乙酸1-氰基乙烯基酯、乙酸环己基酯、乙酸环己基乙基酯、乙-d3酸-D1、乙酸9-癸烯-1-基酯、乙酸反式-2-癸烯-1-基酯、乙酸正癸基酯、乙酸二乙氧基甲基酯、乙酸2- 二甲基氨基乙基酯、乙酸2，5- 二甲基苯基酯、乙酸正十二烷基酯、乙酸2-乙基丁基酯、乙酸乙基酯、乙酸2-乙基己基酯、乙酸2-乙基苯基酯、乙酸4-乙基苯基酯、乙酸甲酰基酯、乙酸5-甲酰基-2-呋喃基甲基酯、乙酸香叶基酯、冰乙酸、乙酸反式-2-庚烯-1-基酯、乙酸正庚基酯、乙酸5-己烯-1-基酯、乙酸顺式-3-己烯-1-基酯、乙酸反式-2-己烯-1-基酯、乙酸正己基酯、乙酸2-羟基乙基酯、乙酸N-羟基琥珀酰亚胺酯、N-乙酸-吲哚-3-甲醛、乙酸4-碘-丁基酯、乙酸异戊基酯、乙酸异冰片基酯、乙酸异丁基酯、乙酸异丙烯基酯、乙酸4-异丙基苄酯、乙酸异丙基酯、乙酸亚异丙基-酰肼、乙酸薰衣草酯、乙酸4-甲氧基苄酯、乙酸3-甲氧基丁基酯、乙酸3-甲氧基-3-甲基丁基酯、乙酸2-甲氧基苯基酯、乙酸甲氧基丙基酯、乙酸4-甲基苄酯、乙酸2-甲基丁基酯、乙酸2-甲基环己基酯、乙酸顺式-4-甲基环己基酯、乙酸反式-3-甲基环己基酯、乙酸4-甲基环己基甲基酯、乙酸甲基酯、乙酸3-甲基己基酯、乙酸1-甲基-2-氧代丙基酯、乙酸2-甲基-4-戊烯-2-基酯、乙酸2-甲基戊基酯、乙酸3-甲基戊基酯、乙酸4-甲基-2-戊基酯、乙酸甲基硫代甲基酯、乙酸4-甲基伞形基酯、乙酸单甘油酯、乙酸4-硝基苄酯、乙酸2-硝基苯基酯、乙酸4-硝基苯基酯、乙酸对硝基苯基酰肼、乙酸8-壬烯-1-基酯、乙酸顺式-6-壬烯-1-基酯、乙酸2-壬基酯、乙酸正壬基酯、乙酸正十八烷基酯、乙酸7-辛烯-1-基酯、乙酸正辛基酯、乙酸油基酯、乙酸2-氧代-环己-3-烯基酯、乙酸6-氧代-环己-1-烯基酯、乙酸4-氧代-环己基酯、乙酸2-氧代-丙基酯、乙酸4-戊烯-1-基 酯、乙酸2-苯氧基乙基酯、乙酸苯基酯、乙酸1-苯基乙基酯、乙酸
2-苯基乙基酯、乙酸炔丙基酯、乙酸2-丙酰基苯基酯、乙酸正丙基酯、3-(乙酸)吡啶盐酸盐、乙酸吡啶基盐、乙-d3酸钠盐、[1-14C]乙酸钠盐、乙酸溶液、乙酸间甲苯基酯、乙酸邻甲苯基酯、乙酸对甲苯基酯、乙酸1-对甲苯基-乙基酯、乙酸正十三烷基酯、乙酸三乙胺溶液、乙酸3，5，5-三甲基己基酯、乙酸乙烯基酯、乙酸2-乙烯基苯基酯和乙酸4-乙烯基苯基酯。
[0009]无机酸可包括选自由以下组成的群组的至少一者:盐酸和磷酸。
[0010]碱化合物可包括选自由以下组成的群组的至少一者:四甲基氢氧化铵、四甲基乙酸铵、四甲基苯甲酸铵、四甲基碳酸氢铵、四甲基硫酸氢铵1-水合物、四甲基硼氢化铵、四甲基溴化铵、四甲基氯化铵、四甲基氟化铵、四甲基氟化铵3-水合物、四甲基氟化铵4-水合物、四甲基甲酸铵、四甲基甲酸铵溶液、四甲基[α _( β -D-吡喃葡萄糖基)苯亚乙烯基氨基]硫酸铵、四甲基六氟磷酸铵、四甲基邻苯二甲酸氢铵、四甲基硫酸氢铵、四甲基硫酸氢铵水合物、四甲基氢氧化铵、四甲基氢氧化铵5-水合物、四甲基氢氧化铵溶液、四甲基按(1_羟基亚乙基)五擬基络、四甲基[4_羟基-α - (1-硫代-β-D-吡喃匍萄糖基)苯亚乙烯基氨基]硫酸铵、四甲基碘化铵、四甲基铵甲基硫酸盐、四甲基硝酸铵、四甲基八氢三硼酸铵、四甲基高氯酸铵、四甲基磷酸铵、四甲基硅酸铵、四甲基硅酸铵溶液、四甲基硫酸铵、四甲基四氟硼酸铵、四甲基四苯基硼酸铵、四甲基硫代乙酸铵、四甲基对甲苯磺酸铵、四甲基三乙酰氧基硼氢化铵、四甲基三溴化铵、四甲基三氟甲醇铵、苄基三乙基氢氧化铵、苄基三甲基甲氧化铵、十六烷基三甲基溴化铵、己基三甲基溴化铵、甲基溴化铵、十八烷基三甲基氯化铵、四正丁基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵30-水合物、四丁基(4-羟基)氢氧化铵、十四烷基三甲基溴化铵、十四烷基三甲基氯化铵、四乙醇氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵溶液、四乙基氢氧化铵溶液、四正己基氢氧化铵、四甲基-dl2-溴化铵、四甲基-dl2-氯化铵、四甲基硫酸氢铵、四正辛基氢氧化铵、四戊基氢氧化铵、四戊基氢氧化铵溶液、四丙基氢氧化铵、三乙基苯基氢氧化铵、三甲基溴化铵、三甲基氯化铵、三甲基碘化铵、三甲基氢氧化锍、四丁基硼氢化铵、四丁基溴化铵、四丁基氯化铵、四丁基硫化氢铵、四丁基甲氧化铵、四癸基氯化铵、四乙基硼氢化铵、四乙基溴化铵、四乙基氯化铵、四乙基氰化铵、四乙基氟化铵、四乙基硫酸氢铵、四乙基碘化铵、四乙基硫氰化铵、四己基氯化铵、四辛基氯化铵、四戊基溴化铵、四戊基碘化铵、四戊基硫氰化铵和三乙基氯化铵。
[0011 ] 可将清洁剂组合物维持在PH8到13。
[0012]清洁剂组合物可进一步包括苯甲酸或苯并三唑腐蚀抑制剂，其中所述苯甲酸腐蚀抑制剂可包括选自由以下组成的群组的至少一者:5_氨基-1，3-苯二甲酸、2-氨基-1，4-苯二甲酸、3-氨基-1，2-苯二甲酸、5-氨基苯-1，3-二甲酸、3-氨基-苯噻吩-2-甲酸、1-氨基苯-2，4，5-三甲酸、1-氨基苯-2，4，6-三甲酸、1-氨基苯-3，4，5-三甲酸、5-氨基-1，2，3-苯三甲酸、2-氨基二苯甲酮-2'-甲酸、5-氨基-1-苯并噻吩-2-甲酸、4-氨基-2-氟苯甲酸、4-氨基-3-氟苯甲酸、4-氨基-2-甲氧基苯甲酸、5-氨基-2-吗啉基苯甲酸、2-(4-氨基苯氧基) 苯甲酸、偶氮苯-3，3' - 二甲酸、偶氮苯_4，4' -二甲酸、N-苯甲酰苯胺-4，4' -二甲酸、1,2-苯二甲酸、1,3-苯二甲酸、1,4-苯二甲酸、苯-1,3-二甲酸二烯丙基酯、1，2-苯二甲酸二癸基酯、1，2-苯二甲酸二壬基酯、1，2-苯二甲酸二戊基酯、苯六甲酸、苯六甲酸六甲基酯、苯五甲酸、1，2，4，5-苯四甲酸、1，2，4，5-苯四甲酸-d、苯-1，2，3，4-四甲酸、1，2，3-苯三甲酸、1，2，4-苯三甲酸、1，3，5-苯-d3_三甲酸、1，3，5-苯三甲酸、苯-1，2，4-三甲酸、苯-1,3，5-三甲酸、1，2，3-苯三甲酸2-水合物、1-二苯甲基氮杂环丁烷-3-甲酸、1-二苯甲基氮杂环丁烷-2-甲酸、1-二苯甲基氮杂环丁烷-3-甲酸、(IH)-苯并咪唑-7-甲酸、IH-苯并咪唑-2-甲酸、IH-苯并咪唑-4-甲酸、IH-苯并咪唑-5-甲酸、IH-苯并咪唑-7-甲酸、2-苯并咪唑甲酸、5-苯并咪唑甲酸、苯并咪唑-5-甲酸、苯并咪唑-5，6-二甲酸、2，1-苯并异噻唑-3-甲酸、2，1-苯并异噁唑-3-甲酸、1-苯并环丁烯甲酸、(R)-1，4-苯并二噁烷-2-甲酸、1，4-苯并二噁烷-2-甲酸、1，4-苯并二噁烷-5-甲酸、(R)-1, 4-苯并二噁烷-2-甲酸、⑶-1，4-苯并二噁烷-2-甲酸、1，4-苯并二噁烷-2-甲酸、I, 4-苯并二噁烷-6-甲酸、I, 3-苯并间二氧杂环戊烯-2-甲酸、I, 3-苯并间二氧杂环戊烯-4-甲酸、苯并[1，3]间二氧杂环戊烯-2-甲酸、1-苯并呋喃-3-甲酸、1-苯并呋喃-5-甲酸、2，3-苯并呋喃-2-甲酸、2-苯并呋喃甲酸、苯并(b)呋喃-2-甲酸、苯并呋喃-2-甲酸、苯并呋喃-3-甲酸、苯并呋喃-4-甲酸、苯并呋喃-6-甲酸、苯并呋喃-7-甲酸、2，3-苯并呋喃二甲酸、苯并呋咱-5-甲酸、苯并氧化呋咱-5-甲酸、3H-苯并[e]吲哚-2-甲酸、苯并[d]异噁唑-3-甲酸、苯并[d]噁唑-6-甲酸、苯并噁唑-2-甲酸、二苯甲酮-2-甲酸、二苯甲酮_4，4' -二甲酸、3，3' ,4,4/ -二苯甲酮四甲酸、二苯甲酮四甲酸、二苯甲酮-3,3' ,4,4/ -四甲酸、苯并[b]碲吩-2-甲酸、1，2，3-苯并噻唑-5-甲酸、1,3-苯并噻唑-6-甲酸、苯并[d]噻唑-7-甲酸、苯并噻唑-2-甲酸、苯并噻唑-5-甲酸、苯并噻唑-6-甲酸、1-苯并噻吩-3-甲酸、1-苯并噻吩-5-甲酸、苯并[b]噻吩-2-甲酸、苯并[b]噻吩-3-甲酸、苯并[b]噻吩-7-甲酸、苯并[b]噻吩-7-甲酸、苯并噻吩-2-甲酸、IH-苯并三唑-5-甲酸、苯并三唑-4-甲酸、5-苯并噁唑甲酸、3-(苯甲酰基氨基)-2-噻吩甲酸、
1-苯甲酰基-3-氮杂环丁烷甲酸、2-苯甲酰基环己烷甲酸、顺式-2-苯甲酰基环己烷-1-甲酸、2-苯甲酰基-1H-吲哚-3-甲酸、1-苯甲酰基哌啶-2-甲酸、1-苯甲酰基哌啶-4-甲酸、
2-苯甲酰基-3-吡啶甲酸、3-苯甲酰基吡啶-2-甲酸、1-苯甲酰基吡咯烷-2-甲酸、3-苯甲酰基-4-喹啉甲酸、3-苯甲酰基喹啉-4-甲酸、3-苯甲酰基-2-噻吩甲酸、1-(苄基)氮杂环丁烷-2-甲酸、1-苄基-2-氮杂环丁烷甲酸、1-苄基-氮杂环丁烷-3-甲酸、1-苄基-氮杂环丁烧-3-甲酸、1-苄基氮杂环丁烧-2-甲酸酰胺、1-苄基-4-boc-哌嗪-2-甲酸、1-节基环丁烷-1-甲酸、1-苄基环丁烷甲酸、1-苄基环丁烷甲酸、1-苄基环己烷甲酸、1-苄基环戊烷甲酸、1-苄基环丙烷甲酸、1-苄基-1H-吲唑-3-甲酸、1-苄基吲唑基-3-甲酸、1-苄基吲哚-3-甲酸、2-苄基异吲哚啉-4-甲酸、4-苄基-吗啉-2-甲酸、4-苄基-吗啉-3-甲酸、4-苄基吗啉-3-甲酸、3-苄基-2-噁唑烷甲酸、3-苄氧基-环丁烷甲酸、4-苄氧基吲哚-2-甲酸、5-苄氧基-2-吲哚甲酸、5-苄氧基吲哚-2-甲酸、6-苄氧基-1H-吲哚-2-甲酸、6-苄氧基-1H-吲哚-3-甲酸、7-苄氧基-1H-吲哚-3-甲酸、6-(苄氧基)吡啶-2-甲酸、8-(苄氧基)喹啉-7-甲酸、(R)-4-苄基哌嗪-2-甲酸、1-苄基-1,3-哌嗪二甲酸、1-苄基-2-哌啶甲酸、1-苄基哌啶-3-甲酸、1-苄基哌啶-4-甲酸、1-苄基-吡咯烷-3-甲酸、N-苄基-3-吡咯烷甲酸、2-(苄基硫基)苯甲酸、2-苄基-噻唑烷-4-甲酸、2-联苄基甲酸、5-溴苯甲酸、4-溴-1，3-苯二甲酸、4-溴苯-1，2- 二甲酸、5-溴-1，3-苯二甲酸、7-溴苯并呋喃-2-甲酸、5-溴-1-苯并呋喃-2-甲酸、3-溴苯并噻吩-2-甲酸、4-溴-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-溴-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-溴苯并[b]噻吩-3-甲酸、6-溴-1-苯并噻吩-2-甲酸、7-溴-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-溴-2-苯并噁唑甲酸、3-(叔丁氧基)苯甲酸、5-叔丁基-1，3-苯二甲酸、2-氯苯并呋喃-5-甲酸、3-氯苯并呋喃-5-甲酸、5-氯苯并呋喃-2-甲酸、4'-氯二苯甲酮-2-甲酸、3-氯苯并[b]-2-噻吩甲酸、3-氯苯并[b]噻吩-2-甲酸、4-氯-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-氯-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-氯苯并[b]噻吩-3-甲酸、6-氯-1-苯并噻吩-2-甲酸、7-氯-1-苯并噻吩-2-甲酸、7-氯苯并[b]噻吩-2-甲酸、5-氯-2-苯并噁唑甲酸、2-氯-5-羟基苯甲酸、2-氯-4-吗啉基苯甲酸、二苯并呋喃-3-甲酸、二苯并呋喃-4-甲酸、1，4-二苄基哌嗪-2-甲酸、3，5-二溴-2-甲氧基苯甲酸、2，5- 二氟-4-硝基苯甲酸、4，5- 二氟-2-硝基苯甲酸、2，3- 二氢苯并呋喃_7_甲酸、3，4- 二硝基-1，2-苯二甲酸、4，6- 二硝基-1，3-苯二甲酸、2，5- 二苯基苯-1，4- 二甲酸、7-乙氧基苯并呋喃-2-甲酸、4-氟苯-1，3- 二甲酸、6-氟-1，3-苯并二氧杂环己烯_8_甲酸、4-氟-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-氟-1-苯并噻吩-2-甲酸、7-氟-1-苯并噻吩-2-甲酸、2-氟-4-硝基苯甲酸、3-氟-4-硝基苯甲酸、2-羟基苯硫代甲酸、4-羟基-1，2-苯二甲酸、5-羟基苯-1，2，4-三甲酸、4-羟基苯并呋喃-3-甲酸、4'-羟基二苯甲酮-2-甲酸、4-(2-羟基 乙氧基)苯甲酸、3-碘苯-1，2- 二甲酸、4-碘-1，2-苯二甲酸、4-碘-苯并[b]噻吩-2-甲酸、4-(异戊氧基)苯甲酸、5-甲氧基苯并呋喃-2-甲酸、7-甲氧基苯并呋喃-2-甲酸、2-(4-甲氧基苯甲酰基)苯甲酸、2-甲基-1，4-苯二甲酸、5-甲基苯-1，3- 二甲酸、2-甲基苯并呋喃-7-甲酸、3-甲基苯并呋喃-2-甲酸、3-甲基苯并呋喃-5-甲酸、
6-甲基-苯并呋喃-2-甲酸、2-甲基苯并[b]噻吩-7-甲酸、3-甲基苯并噻吩-2-甲酸、
5-甲基-1-苯并噻吩-2-甲酸、6-甲基苯并[b]噻吩-2-甲酸、2-甲基-5-苯并噁唑甲酸、5-吗啉基-2-硝基苯甲酸、(R)-N-苄基-哌啶-2-甲酸、⑶-N-苄基-哌啶-2-甲酸、3-硝基-1，2-苯二甲酸、4-硝基-1，3-苯二甲酸、1-硝基苯-3，4，5-三甲酸、5-硝基-1，2，3-苯三甲酸、5-硝基苯并呋喃-2-甲酸、5-硝基-1-苯并噻吩-2-甲酸、2-(4-硝基苯氧基)苯甲酸、3-氧代-3H-苯并[f]色烯-2-甲酸、2-(2-丙炔氧基)苯甲酸、4-(2-嘧啶氧基)苯甲酸、5-磺基-1，2，4-苯三甲酸和四氟苯-1，4-二甲酸。另外，苯并三唑腐蚀抑制剂可包括选自由以下组成的群组的至少一者:1-烯丙基苯并三唑、1-氨基苯并三唑、
2-氨基苯并三唑、5-氨基苯并三唑、2-氨基三唑、氨基三唑、贝曲嗪喏(Bemotrizinol)、苯噻硫氰(benthiazole)、苯并咪唑、2，1_苯并异噻唑、节硝唑(benznidazol)、苯佐巴比妥(benzobarbital)、苯雌酌.(benzoestrol)、苯并呋喃酚、节腈、苯频哪醇、苯频哪醇、2_苯并噻唑胺、苯并噻唑、苯并噻唑-d、苯并噻唑啉、4-苯并噻唑醇、5-苯并噻唑醇、2-苯并噻唑酮、1H-1，2，3-苯并三唑、IH-苯并三唑、苯并三唑、苯并三唑-d4、三氯甲苯、三氟甲苯、苯并1I惡唑、苯并1I惡唑酮、苯酰甲硝唑、2-苯甲酰基噻唑、苯噻隆(benzthiazuron)、4_苄基异噻唑、倍他唑(Betazole)、叶枯唑(bismerthiazol)、并奥克三唑(bisoctrizole)、5_溴苯并三唑、布美三唑(bumetrizole)、丁基苯并三唑、5-羧基苯并三唑、1-氯苯并三唑、5-氯苯并三唑、克霉唑(clotrimazole)、德美曲咕唑(demetridazole)、二甲硝唑(dimetridazole)、依替沙唑(etisazole)、土菌灵(etridiazole)、三氟苯唑(fIuotrimazole)、麦穗宁(fuberidazole)、1-羟基苯并三唑、4_羟基苯并三唑、羟基苯并三唑、2_碘苯并噻唑、拉贝洛尔(Iabetalol)、甲硝唑(metronidazole)、奈康唑(neticonazole)、5_ 硝基苯并三唑、奥克三唑(Octrizole)U-氧基苯并三唑、5-甲基-1H-噻唑并[4，5_d]-l，2，3-三唑、四唑、甲基苯并三唑、三唑仑(triazolam)、6_氯-1-甲氧基-苯并三唑、2，2' -[(IH-苯并三唑-1-基甲基)亚氨基]双乙醇和5-甲基-1H-噻唑并[4，5-d]-l,2, 3-三唑(9CI)。
[0013]根据本发明的另一方面,清洁剂组合物包括0.01wt%到3wt%苯甲酸或苯并三唑腐蚀抑制剂、0.01wt°/c^lj 0.5￥丨％有机酸、0.01wt°/c^lj 1.(^丨％无机酸、0.01wt°/c^lj 5wt°Mj^化合物和 0.01wt% 到 98wt%DI 水。
[0014]本发明可提供清洁剂组合物，其具有改良的金属杂质移除能力且能在防止反向吸附和铜腐蚀的同时移除有机污染物。
[0015]通过控制蚀刻速率，本发明可提供适用于铜蚀刻、残余物移除和各种清洁剂的清洁剂组合物。
【专利附图】
【附图说明】【具体实施方式】
[0016]在下文中，将更详细地阐述本发明的实施例。
[0017]尽管将参照所述实施例更详细地阐述本发明，但应理解，这些实施例仅用于说明，且决不应视作限制本发明。
[0018]本发明清洁剂组合物是pH介于8到13范围内的基于水的碱且能在防止反向吸附和铜腐蚀的同时移除颗粒和有机污染物。清洁剂组合物可包括0.01wt%到3wt%氨基酸螯合剂、0.01wt%到0.5wt%有机酸、0.01wt%到1.0wt%无机酸、0.01wt%到5wt%碱化合物和
0.01wt% 到 98wt% 去离子(DI)水。
[0019]本发明清洁剂组合物可除了这些组份以外进一步包括苯甲酸或苯并三唑腐蚀抑制剂，或用其代替所述氨基酸螯合剂，由此使得能在防止铜腐蚀的同时控制蚀刻速率。
[0020]本发明清洁剂组合物使用螯合剂和无机酸移除金属污染物，且所移除金属结合到缓冲剂以形成含氧或含氮化合物。
[0021]本发明清洁剂组合物包括pH介于8到13范围内的碱性溶剂以移除有机/无机颗粒。首先，有机/无机颗粒可在铜表面上施加范德华力(Van der Waals force),之后发生蚀刻且伴随螯合剂的配体毛细管现象，随后藉助静电排斥发挥有机/无机颗粒移除效应。 [0022]在本发明清洁剂组合物中，可通过碱性溶剂描述对铜腐蚀和反向吸附的预防。在碱性溶剂的pH为8或更低时，铜可沉淀，由此引起反向吸附。另一方面，在碱性溶剂的pH为13或更高时，铜可变为HCu02_，由此引起铜腐蚀。因此，在本发明中，使用pH介于8到13范围内的碱性溶剂。
[0023]在本发明清洁剂组合物中，可通过使用缓冲剂的浸泡溶液效应描述铜表面上的性能维持和对极性变化的预防。也就是说，螯合剂的配体从铜表面吸引呈M+形式的铜，之后使用缓冲剂防止M+的再吸附，由此形成M-N或M-O化合物。此一过程称为浸泡溶液功能。
[0024]此外，本发明清洁剂组合物可使用去离子水的比例控制铜蚀刻速率，由此解决残余量、铜损坏和洗涤后残余物问题。
[0025]< 实例 1>
[0026]制备包括作为氨基酸螯合剂的2wt%乙二胺四乙酸、作为有机酸的0.5wt%乙酸、作为无机酸的0.2wt%盐酸、作为碱化合物的3wt%四甲基氢氧化铵和94wt%DI水(DIW)的组合物，之后用DIW将其稀释20倍，且在Cu玻璃中加以评估。另外，使用现有材料执行比较测试，所述现有材料也就是DIW和0.5wt%四甲基氢氧化铵(TMAH)，其中只使用螯合剂(参见表1)。
[0027]表1 ( ◎:极佳，O:良好，Δ:不错，X:差)
[0028]
【权利要求】
1.一种清洁剂组合物，其包含: 0.01wt%到3wt%氨基酸螯合剂，
0.01wt% 到 0.5wt% 有机酸，
0.01wt% 到 1.0wt% 无机酸， 0.01wt%到5wt%喊化合物，和 0.01wt%到98wt%去离子DI水。
2.根据权利要求1所述的清洁剂组合物，其中所述氨基酸螯合剂包含选自由以下组成的群组的至少一者:Ac-甘氨酸、甘氨酸、甘氨酸-13C、甘氨酸-2，2-d、甘氨酸-N，N, 0_d、甘氨酸-d、L-甘氨酸、N-甘氨酸、Z-甘氨酸、Z-甘氨酰胺、甘氨酸酐、甘氨酸苄酯、甘氨酸-1-13C、甘氨酸-2-13C、甘氨酸柠檬酸盐、甘氨酸钴盐、甘氨酸甲酚红、甘氨酸乙基酯、甘氨酸-d2-N-Fmoc、甘氨酸延胡索酸盐、大豆、甘氨酸-1-13C-15N、甘氨酸-13C2-15N、甘氨酸-15N、医药级甘氨酸、甘氨酸磷酸盐、试剂级甘氨酸、甘氨酸钠盐、甘氨酸硫酸盐、甘氨酸百里酚蓝、甘氨二甲基苯酰胺-d、甘氨酸二甲苯胺、甘氨酸锌盐、Boc-甘氨酸、DNP-甘氨酸、甘油、甘氨酰胺、甘氨酸盐、黄豆黄苷、糖基、葡萄糖胺、山柑子碱、MTH-甘氨酸、聚甘氨酸、PTH-甘氨酸、TNP-甘氨酸、三甘氨酸、乙二胺-N，N，N'，N'-四乙酸-13C4、乙二胺四乙酸-dl、 乙二胺四乙酸-d4、乙二胺四乙-dl2酸、乙二胺四乙酸铵盐、乙二胺-N，N，N'，N,-四乙酸钙、乙二胺四乙酸钙二钠盐、乙二胺四乙酸铜盐、乙二胺四乙酸二铵铜盐溶液、乙二胺四乙酸铜二铵盐、乙二胺四乙酸二铵盐水合物、乙二胺四乙酸二钙盐、乙二胺四乙酸二锂盐、乙二胺四乙酸二锂盐水合物、乙二胺四乙酸二钾镁盐、乙二胺四乙酸二钾盐、乙二胺四乙酸二钾盐2-水合物、乙二胺四乙酸二钠钡盐、乙二胺四乙酸二钠钙盐、乙二胺四乙酸二钠钴盐、乙二胺四乙酸二钠铜盐、乙二胺四乙酸二钠铅盐、乙二胺四乙酸二钠镁盐、乙二胺四乙酸二钠锰盐、乙二胺四乙酸二钠镍盐、乙二胺四乙酸二钠盐、乙二胺四乙酸二钠盐2-水合物、乙二胺四乙酸二钠盐溶液、乙二胺四乙酸二钠锌盐、乙二胺四乙酸、乙二胺四乙酸铁(III)铵盐、乙二胺四乙酸铁(III) 一钠盐、乙二胺四乙酸铁(III)钾盐、乙二胺四乙酸铁(III)钠盐、乙二胺四乙酸铁(III)钠盐3-水合物、乙二胺四乙酸铁(III)钠盐水合物、乙二胺四乙酸镁二钠盐、乙二胺四乙酸锰盐、乙二胺-N，N，N'，N'-四乙酸单酸酐、乙二胺四乙酸一钠铋盐、乙二胺-N，N，N'，N'-四乙酸四天冬氨酸八[酰胺基[N-(2-氨基乙基)马来酰亚胺]]、乙二胺-N，N，N' ,N'-四乙酸四[N-(2-氨基乙基)马来酰亚胺]、乙二胺四乙酸四甲基酯、乙二胺四乙酸四甲基酯硫酸盐、乙二胺四乙酸四钾盐、乙二胺四乙酸四钠盐、乙二胺四乙酸四钠盐水合物、乙二胺四乙酸四钠盐2-水合物、乙二胺四乙酸四钠盐4-水合物、乙二胺四乙酸四钠盐水合物、乙二胺四乙酸三乙基酯盐酸盐、乙二胺四乙酸三钾盐、乙二胺四乙酸三钾盐2-水合物、乙二胺四乙酸三钠盐、乙二胺四乙酸三钠盐1-水合物、乙二胺四乙酸三钠盐3-水合物、乙二胺四乙酸锌二钠盐水合物、乙二胺四乙酸锌盐、乙二胺四乙酸二酸酐、环己二胺四乙酸、反式-1，2-环己二胺四乙酸、反式-1，2-环己二胺四乙酸1-水合物、1，2_ 二氨基丙烷四乙酸、二乙基氨基-乙酸、二亚乙基三胺五乙酸二酸酐、乙二胺四乙酸二钠、(乙烷二硫代亚基四)四乙酸、乙二胺四(亚甲基膦酸)、乙二胺二乙酸盐、二乙酰胺乙酸乙二胺、乙二胺四乙腈、乙二胺四(亚甲基膦酸)、乙二胺四丙酸、六亚甲基二胺四亚甲基膦酸、六亚甲基二胺四(亚甲基膦酸)、乙二胺四乙酸铁(III)、甲氧基亚氨基-乙酸、2-甲基乙酰乙酸、(2-甲基苯甲酰基)氨基乙酸、亚甲基二水杨酸、 甲基亚氨基二乙酸、苯基氨基乙酸、邻亚苯基二乙酸、对亚苯基二乙酸、N，N，N,，N, -1，4-亚苯基二胺四乙酸、1，3-丙二胺五乙酸、1，3-丙二胺-N，N，N'，N,-四乙酸、丙二胺四乙酸、胸腺嘧啶-1-乙酸、1_(亚苄基氨基)仲班酸、2-二乙基氨基甲基丙烯酸、4-二乙基氨基水杨酸、二甲基二苯胺对苯二甲酸、乙-d4-二胺-1-N-叔Boc、三(乙二胺)氯化钴、乙二胺二盐酸盐、乙二胺氢溴酸盐、乙二胺盐酸盐、(乙二胺)氯化钯(II)、乙二胺二-L-(+)-酒石酸盐、4-(甲基氨基)丁酸、2-(甲基氨基)乙磺酸、甲基β-神经氨酸、12-甲基十四烷酸、13-甲基十四烷酸、间苯二胺-4-磺酸、对亚苯基二胺-2-磺酸、对苯二胺-邻-磺酸和吡嗪四甲酸。
3.根据权利要求1所述的清洁剂组合物，其中所述有机酸包含选自由以下组成的群组的至少一者:乳酸、(+/_)-乳酸、D-H-乳酸、DL_乳酸、L(+)-乳酸、(S)-(-)乳酸苄酯、D-乳酸-苄酯、乳酸正丁基酯、L-乳酸钙盐、乳酸十二烷基酯、L-(-)_乳酸乙基酯、乳酸乙基酯、L-(+)-乳酸半锌盐、乳酸异戊基酯、(R) -(+)-乳酸异丁基酯、D-(-)-乳酸锂盐、DL-乳酸锂盐、DL-乳酸锂盐、L-(+)_乳酸锂盐、L-乳酸锂盐、乳酸锂盐、L-乳酸镁盐3-水合物、乳酸薄荷基酯、D-(+)_乳酸甲基酯、乳酸甲基酯、DL-乳酸、L-乳酸钾盐、乳酸粉末、DL-乳酸、L- (+)-乳酸银盐、DL-乳酸-14C钠、D-乳酸钠盐、L- (+)-乳酸钠盐、DL-乳酸钠盐、L (+)-乳酸溶液、乳酸溶液、L- (+)-乳酸溶液、乳酸溶液、乙酸、乙酸d4、乙酸-1-13C，d4、乙酸-13C2、乙酸-1802、乙酸-2，2，2-d3、乙酸-2-13C, 2，2，2_d3、乙酸-dl、乙酸 _d4、乙-2，2，2_d3酸、乙酸铝钠盐、草酸铵甲酯、乙酸铵铜盐、乙酸铵锌盐、乙酸正戊基酯、乙-1，2-13C2酸1，1'-酐、乙-1-14C酸1，I'-酐、3-乙酸苯硼酸、4-乙酸-苯硼酸、乙酸溴二苯基甲基酯、乙酸2-溴乙基酯、乙酸3- 丁烯-1-基酯、乙酸3- 丁烯-2-基酯、乙酸反式-2- 丁烯基酯、乙酸2-叔丁基环己基酯、乙酸正丁基酯、乙酸叔丁基酯、乙酸4-叔丁基苯基酯、乙酸2- 丁炔基酯、乙酸-1-13C、乙酸-2-13C、乙酸2-氯乙基酯、乙酸6-氯-1H-吲哚-3-基酯、乙酸肉桂基酯、乙酸钴盐、乙酸铜盐、乙酸1-氰基-2-丙烯基酯、乙酸1-氰基乙烯基酯、乙酸环己基酯、乙酸环己基乙基酯、乙-d3酸-Dl、乙酸9-癸烯-1-基酯、乙酸反式-2-癸烯-1-基酯、乙酸正癸基酯、乙酸二乙氧基甲基酯、乙酸2- 二甲基氨基乙基酯、乙酸2，5- 二甲基苯基酯、乙酸正十二烷基酯、乙酸2-乙基丁基酯、乙酸乙基酯、乙酸2-乙基己基酯、乙酸2-乙基苯基酯、乙酸4-乙基苯基酯、乙酸甲酰基酯、乙酸5-甲酰基-2-呋喃基甲基酯、乙酸香叶基酯、冰乙酸、乙酸反式-2-庚烯-1-基酯、乙酸正庚基酯、乙酸5-己烯-1-基酯、乙酸顺式-3-己烯-1-基酯、乙酸反式-2-己烯-1-基酯、乙酸正己基酯、乙酸2-羟基乙基酯、乙酸N-羟基琥珀酰亚胺酯、N-乙酸-吲哚-3-甲醛、乙酸4-碘-丁基酯、乙酸异戊基酯、乙酸异冰片基酯、乙酸异丁基酯、乙酸异丙烯基酯、乙酸4-异丙基苄酯、乙酸异丙基酯、乙酸亚异丙基-酰肼、乙酸薰衣草酯、乙酸4-甲氧基苄酯、乙酸3-甲氧基丁基酯、乙酸3-甲氧基-3-甲基丁基酯、乙酸2-甲氧基苯基酯、乙酸甲氧基丙基酯、乙酸4-甲基苄酯、乙酸2-甲基丁基酯、乙酸2-甲基环己基酯、乙酸顺式-4-甲基环己基酯、乙酸反式-3-甲基环己基酯、乙酸4-甲基环己基甲基酯、乙酸甲基酯、乙酸3-甲基己基酯、乙酸1-甲基-2-氧代丙基酯、乙酸2-甲基-4-戊烯-2-基酯、乙酸2-甲基戊基酯、乙酸3-甲基戊基酯、乙酸4-甲基-2-戊基酯、乙酸甲基硫代甲基酯、乙酸4-甲基伞形基酯、乙酸单甘油酯、乙酸4-硝基苄酯、乙酸2-硝基苯基酯、乙酸4-硝基苯基酯、乙酸对硝基苯基酰肼、乙酸8-壬烯-1-基酯、乙酸顺式-6-壬烯-1-基酯、乙酸2-壬基酯、乙酸正壬基酯、乙酸正十八烷基酯、乙酸7-辛烯-1-基酯、乙酸正辛基酯、乙酸油基酯、乙酸2-氧代-环己-3-烯基酯、乙酸6-氧代-环己-1-烯基酯、乙酸4-氧代-环己基酯、乙酸2-氧代-丙基酯、乙酸4-戊烯-1-基酯、乙酸2-苯氧基乙基酯、乙酸苯基酯、乙酸1-苯基乙基酯、乙酸2-苯基乙基酯、乙酸炔丙基酯、乙酸2-丙酰基苯基酯、乙酸正丙基酯、3-(乙酸)吡啶盐酸盐、乙酸吡啶基盐、乙-d3酸钠盐、[1-14C]乙酸钠盐、乙酸溶液、乙酸间甲苯基酯、乙酸邻甲苯基酯、乙酸对甲苯基酯、乙酸1-对甲苯基-乙基酯、乙酸正十三烷基酯、乙酸三乙胺溶液、乙酸3，5，5-三甲基己基酯、乙酸乙烯基酯、乙酸2-乙烯基苯基酯和乙酸4-乙烯基苯基酯。
4.根据权利要求1所述的清洁剂组合物，其中所述无机酸包含选自由以下组成的群组的至少一者:盐酸和磷酸。
5.根据权利要求1所述的清洁剂组合物，其中所述碱化合物包含选自由以下组成的群组的至少一者:四甲基氢氧化铵、四甲基乙酸铵、四甲基苯甲酸铵、四甲基碳酸氢铵、四甲基硫酸氢铵1-水合物、四甲基硼氢化铵、四甲基溴化铵、四甲基氯化铵、四甲基氟化铵、四甲基氟化铵3-水合物、四甲基氟化铵4-水合物、四甲基甲酸铵、四甲基甲酸铵溶液、四甲基[α - ( β -D-吡喃葡萄糖基)苯亚乙基氨基]硫酸铵、四甲基六氟磷酸铵、四甲基邻苯二甲酸氢铵、四甲基硫酸氢铵、四甲基硫酸氢铵水合物、四甲基氢氧化铵、四甲基氢氧化铵5-水合物、四甲基氢氧化铵溶液、四甲基铵(1-羟基亚乙基)五羰基铬、四甲基[4-羟基-α-(1-硫代-β -D-吡喃葡萄糖基)苯亚乙基氨基]硫酸铵、四甲基碘化铵、四甲基铵甲基硫酸盐、四甲基硝酸铵、四甲基八氢三硼酸铵、四甲基高氯酸铵、四甲基磷酸铵、四甲基硅酸铵、四甲基硅酸铵溶液、四甲基硫酸铵、四甲基四氟硼酸铵、四甲基四苯基硼酸铵、四甲基硫代乙酸铵、四甲基对甲苯磺酸铵、四甲基三乙酰氧基硼氢化铵、四甲基三溴化铵、四甲基三氟甲醇铵、苄基三乙基氢氧化铵、苄基三甲基甲氧化铵、十六烷基三甲基溴化铵、己基三甲基溴化铵、甲基溴化铵、十八烷基三甲基氯化铵、四正丁基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵30-水合物、四丁基(4-羟基)氢氧化铵、十四烷基三甲基溴化铵、十四烷基三甲基氯化铵、四乙醇氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵溶液、四乙基氢氧化铵溶液、四正己基氢氧化铵、四甲基-dl2-溴化铵、四甲基-dl2-氯化铵、四甲基硫酸氢铵、四正辛基氢氧化铵、四戊基氢氧化铵、四戊基氢氧化铵溶液、四丙基氢氧化铵、三乙基苯基氢氧化铵、三甲基溴化铵、三甲基氯化铵、三甲基碘化铵、三甲基氢氧化锍、四丁基硼氢化铵、四丁基溴化铵、四丁基氯化铵、四丁基硫化氢铵、四丁基甲氧化铵、四癸基氯化铵、四乙基硼氢化铵、四乙基溴化铵、四乙基氯化铵、四乙基氰化铵、四乙基氟化铵、四乙基硫酸氢铵、四乙基碘化铵、四乙基硫氰化铵、四己基氯化铵、四辛基氯化铵、四戊基溴化铵、四戊基碘化铵、四戊基硫氰化铵和二乙基氯化铵。
6.根据权利要求1所述的清洁剂组合物，其中所述清洁剂组合物的PH介于8到13范围内。
7.根据权利要求1所述的清洁剂组合物，其进一步包含:苯甲酸或苯并三唑腐蚀抑制剂。
8.根据权利要求7所述的清洁剂组合物，其中所述苯甲酸腐蚀抑制剂包含选自由以下组成的群组的至少一者:5_氨基-1，3-苯二甲酸、2-氨基-1，4-苯二甲酸、3-氨基-1，2-苯二甲酸、5-氨基苯-1，3- 二甲酸、3-氨基-苯噻吩-2-甲酸、1-氨基苯-2，4，5-三甲酸、1-氨基苯-2，4，6-三甲酸、1-氨基苯-3，4，5-三甲酸、5-氨基-1，2，3-苯三甲酸、2-氨基二苯甲酮-2'-甲酸、5-氨基-1-苯并噻吩-2-甲酸、4-氨基-2-氟苯甲酸、4-氨基-3-氟苯甲酸、4-氨基-2-甲氧基苯甲酸、5-氨基-2-吗啉基苯甲酸、2-(4-氨基苯氧基)苯甲酸、偶氮苯_3，3' - 二甲酸、偶氮苯_4，4' -二甲酸、N-苯甲酰苯胺-4，4' -二甲酸、1，2-苯二甲酸、1, 3-苯二甲酸、1, 4-苯二甲酸、苯-1，3- 二甲酸二烯丙基酯、1，2-苯二甲酸二癸基酯、1，2-苯二甲酸二壬基酯、1，2-苯二甲酸二戊基酯、苯六甲酸、苯六甲酸六甲基酯、苯五甲酸、1，2，4，5-苯四甲酸、1，2，4，5-苯四甲酸-d、苯-1，2，3，4-四甲酸、1，2，3-苯三甲酸、1，2，4-苯三甲酸、1，3，5-苯-d3-三甲酸、1，3，5-苯三甲酸、苯_1，2，4-三甲酸、苯-1，3，5-三甲酸、1，2，3-苯三甲酸2-水合物、1- 二苯甲基氮杂环丁烷-3-甲酸、1- 二苯甲基氮杂环丁烷-2-甲酸、1-二苯甲基氮杂环丁烷-3-甲酸、(1H)-苯并咪唑-7-甲酸、1H-苯并咪唑-2-甲酸、1H-苯并咪唑-4-甲酸、1H-苯并咪唑-5-甲酸、1H-苯并咪唑-7-甲酸、2-苯并咪唑甲酸、5-苯并咪唑甲酸、苯并咪唑-5-甲酸、苯并咪唑-5，6- 二甲酸、2，1-苯并异噻唑-3-甲酸、2，1-苯并异噁唑-3-甲酸、1-苯并环丁烯甲酸、(R)-1,4-苯并二噁烷-2-甲酸、1，4-苯并二噁烷-2-甲酸、1，4-苯并二噁烷-5-甲酸、(R)-1, 4-苯并二噁烷-2-甲酸、(S)-1,4-苯并二噁烷-2-甲酸、1,4-苯并二噁烷-2-甲酸、1,4-苯并二噁烷-6-甲酸、1，3-苯并二氧杂环戊烯-2-甲酸、1，3-苯并二氧杂环戊烯-4-甲酸、苯并[1,3] 二氧杂环戊烯-2-甲酸、1-苯并呋喃-3-甲酸、1-苯并呋喃-5-甲酸、2，3-苯并呋喃-2-甲酸、2-苯并呋喃甲酸、苯并(b)呋喃-2-甲酸、苯并呋喃-2-甲酸、苯并呋喃-3-甲酸、苯并呋喃-4-甲酸、苯并呋喃-6-甲酸、苯并呋喃-7-甲酸、2，3-苯并呋喃二甲酸、苯并呋咱-5-甲酸、苯并氧化呋咱-5 -甲酸、3H-苯并[e]吲哚-2-甲酸、苯并[d]异噁唑-3-甲酸、苯并[d]噁唑-6-甲酸、苯并噁唑-2-甲酸、二苯甲酮-2-甲酸、二苯甲酮-4，V -二甲酸、3，3' ,4,4/ -二苯甲酮四甲酸、二苯甲酮四甲酸、二苯甲酮_3，3' ,4,4/ -四甲酸、苯并[b]碲吩-2-甲酸、1，2，3-苯并噻唑-5-甲酸、1,3-苯并噻唑-6-甲酸、苯并[d]噻唑-7-甲酸、苯并噻唑-2-甲酸、苯并噻唑-5-甲酸、苯并噻唑-6-甲酸、1-苯并噻吩-3-甲酸、1-苯并噻吩-5-甲酸、苯并[b]噻吩-2-甲酸、苯并[b]噻吩-3-甲酸、苯并[b]噻吩-7-甲酸、苯并[b]噻吩-7-甲酸、苯并噻吩-2-甲酸、1H-苯并三唑-5-甲酸、苯并三唑-4-甲酸、5-苯并噁唑甲酸、3-(苯甲酰基氨基)-2-噻吩甲酸、1-苯甲酰基-3-氮杂环丁烷甲酸、2-苯甲酰基环己烷甲酸、顺式-2-苯甲酰基环己烷-1-甲酸、2-苯甲酰基-1H-吲哚-3-甲酸、1-苯甲酰基哌啶-2-甲酸、1-苯甲酰基哌啶-4-甲酸、2-苯甲酰基-3-吡啶甲酸、3-苯甲酰基吡啶-2-甲酸、1-苯甲酰基吡咯烷-2-甲酸、3-苯甲酰基-4-喹啉甲酸、3-苯甲酰基喹啉-4-甲酸、3-苯甲酰基-2-噻吩甲酸、1-(苄基)氮杂环丁烷-2-甲酸、1-苄基-2-氮杂环丁烷甲酸、1-苄基-氮杂环丁烷-3-甲酸、1-苄基-氮杂环丁烷-3-甲酸、1-苄基氮杂环丁烧-2-甲酸酰胺、1-苄基-4-boc-哌嗪-2-甲酸、1-苄基环丁烧-1-甲酸、1-苄基环丁烷甲酸、1-苄基环丁烷甲酸、1-苄基环己烷甲酸、1-苄基环戊烷甲酸、1-苄基环丙烷甲酸、1-苄基-1H-吲唑-3-甲酸、1-苄基吲唑基-3-甲酸、1-苄基吲哚-3-甲酸、2-苄基异吲哚啉-4-甲酸、4-苄基-吗啉-2-甲酸、4-苄基-吗啉-3-甲酸、4-苄基吗啉-3-甲酸、3-苄基-2-噁唑烷甲酸、3-苄氧基-环丁烷甲酸、4-苄氧基吲哚-2-甲酸、5-苄氧基-2-吲哚甲酸、5-苄氧基吲哚-2-甲酸、6-苄氧基-1H-吲哚-2-甲酸、6-苄氧基-1H-吲哚-3-甲酸、7-苄氧基-1H-吲哚-3-甲酸、6-(苄氧基)吡啶-2-甲酸、8-(苄氧基)喹啉-7-甲酸、(R)-4-苄基哌嗪-2-甲酸、1-苄基-1,3-哌嗪二甲酸、1-苄基-2-哌啶甲酸、1-苄基哌啶-3-甲酸、1-苄基哌啶-4-甲酸、1-苄基-吡咯烷-3-甲酸、N-苄基-3-吡咯烷甲酸、2-(苄基硫基)苯甲酸、2-苄基-噻唑烷-4-甲酸、2-联苄基甲酸、.5-溴苯甲酸、4-溴-1，3-苯二甲酸、4-溴苯-1，2- 二甲酸、5-溴-1，3-苯二甲酸、7-溴苯并呋喃-2-甲酸、5-溴-1-苯并呋喃-2-甲酸、3-溴苯并噻吩-2-甲酸、4-溴-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-溴-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-溴苯并[b]噻吩-3-甲酸、6-溴-1-苯并噻吩-2-甲酸、7-溴-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-溴-2-苯并噁唑甲酸、3-(叔丁氧基)苯甲酸、5-叔丁基-1，3-苯二甲酸、2-氯苯并呋喃-5-甲酸、3-氯苯并呋喃-5-甲酸、5-氯苯并呋喃-2-甲酸、4'-氯二苯甲酮-2-甲酸、3-氯苯并[b]-2-噻吩甲酸、3-氯苯并[b]噻吩-2-甲酸、4-氯-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-氯-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-氯苯并[b]噻吩-3-甲酸、6-氯-1-苯并噻吩-2-甲酸、7-氯-1-苯并噻吩-2-甲酸、7-氯苯并[b]噻吩-2-甲酸、5-氯-2-苯并噁唑甲酸、2-氯-5-羟基苯甲酸、2-氯-4-吗啉基苯甲酸、二苯并呋喃-3-甲酸、二苯并呋喃-4-甲酸、1，4-二苄基哌嗪-2-甲酸、3，5-二溴-2-甲氧基苯甲酸、2，5- 二氟-4-硝基苯甲酸、4，5- 二氟-2-硝基苯甲酸、2，3- 二氢苯并呋喃_7_甲酸、.3，4- 二硝基-1，2-苯二甲酸、4，6- 二硝基-1，3-苯二甲酸、2，5- 二苯基苯-1，4- 二甲酸、.7-乙氧基苯并呋喃-2-甲酸、4-氟苯-1，3- 二甲酸、6-氟-1，3-苯并二氧杂环己烯_8_甲酸、4-氟-1-苯并噻吩-2-甲酸、5-氟-1-苯并噻吩-2-甲酸、7-氟-1-苯并噻吩-2-甲酸、2-氟-4-硝基苯甲酸、3-氟-4-硝基苯甲酸、2-羟基苯硫代甲酸、4-羟基-1，2-苯二甲酸、5-羟基苯-1，2，4-三甲酸、4-羟基苯并呋喃-3-甲酸、4'-羟基二苯甲酮-2-甲酸、.4-(2-羟基乙氧基)苯甲酸、3-碘苯-1，2-二甲酸、4-碘-1，2-苯二甲酸、4-碘-苯并[b]噻吩-2-甲酸、4-(异戊氧基)苯甲酸、5-甲氧基苯并呋喃-2-甲酸、7-甲氧基苯并呋喃-2-甲酸、2-(4-甲氧基苯甲酰基)苯甲酸、2-甲基-1，4-苯二甲酸、5-甲基苯-1，3-二甲酸、2-甲基苯并呋喃-7-甲酸、3-甲基苯并呋喃-2-甲酸、3-甲基苯并呋喃-5-甲酸、6-甲基-苯并呋喃-2-甲酸、2-甲基苯并[b]噻吩-7-甲酸、3-甲基苯并噻吩-2-甲酸、5-甲基-1-苯并噻吩-2-甲酸、6-甲基苯并[b]噻吩-2-甲酸、2-甲基-5-苯并噁唑甲酸、5-吗啉基-2-硝基苯甲酸、(R)-N-苄基-哌啶-2-甲酸、⑶-N-苄基-哌啶-2-甲酸、3-硝基-1,2-苯二甲酸、4-硝基-1, 3-苯二甲酸、1-硝基苯-3，4，5-三甲酸、5-硝基-1, 2，3-苯三甲酸、5-硝基苯并呋喃-2-甲酸、5-硝基-1-苯并噻吩-2-甲酸、2-(4-硝基苯氧基)苯甲酸、3-氧代-3H-苯并[f]色烯-2-甲酸、2-(2-丙炔氧基)苯甲酸、4-(2-嘧啶氧基)苯甲酸、5-磺基-1，2，4-苯三甲酸和四氟苯-1，4- 二甲酸。
9.根据权利要求7所述的清洁剂组合物，其中所述苯并三唑腐蚀抑制剂包含选自由以下组成的群组的至少一者:1_烯丙基苯并三唑、1-氨基苯并三唑、2-氨基苯并三唑、5-氨基苯并三唑、2_氨基三唑、氨基三唑、贝曲嗪暗(Bemotrizinol)、苯噻硫氰(benthiazole)、苯并咪唑、2，1-苯并异喔唑、节硝唑(benznidazol)、苯佐巴比妥(benzobarbital)、苯雌酹(benzoestrol)、苯并呋喃酹、节腈、苯频哪醇、苯频哪醇、2_苯并噻唑胺、苯并噻唑、苯并噻唑-d、苯并噻唑啉、4-苯并噻唑醇、5-苯并噻唑醇、2-苯并噻唑酮、1H-1，2，3-苯并三唑、IH-苯并三唑、苯并三唑、苯并三唑-d4、三氯甲苯、三氟甲苯、苯并噁唑、苯并噁唑酮、苯酰甲硝唑、2-苯甲酰基噻唑、苯噻隆(benzthiazuron)、4_苄基异噻唑、倍他唑(Betazole)、叶枯唑(bismerthiazol)、并奥克三唑(bisoctrizole)、5_ 溴苯并三唑、布 美三唑(bumetrizole)、丁基苯并三唑、5-羧基苯并三唑、1-氯苯并三唑、5-氯苯并三唑、克霉唑(clotrimazole)、德美曲咕唑(demetridazole)、二甲硝唑(dimetridazole)、依替沙唑(etisazole)、土菌灵(etridiazole)、三氟苯唑(f Iuotrimazole)、麦穗宁(fuberidazole)、1-羟基苯并三唑、4_羟基苯并三唑、羟基苯并三唑、2_碘苯并噻唑、拉贝洛尔(Iabetalol)、甲硝唑(metronidazole)、奈康唑(neticonazole)、5_ 硝基苯并三唑、奥克三唑(Octrizole)U-氧基苯并三唑、5-甲基-1H-噻唑并[4，5_d]-l，2，3-三唑、四唑、甲基苯并三唑、三唑仑(triazolam)、6_氯-1-甲氧基-苯并三唑、2，2' -[(IH-苯并三唑-1-基甲基)亚氨基]双乙醇和5-甲基-1H-噻唑并[4，5-d]-l,2, 3-三唑(9CI)。
10.一种清洁剂组合物，其包含:0.01被％到3wt%苯甲酸或苯并三唑腐蚀抑制剂、.0.01wt%到0.5wt％有机酸、0.01wt%到1.0wt％无机酸、0.01wt%到5wt％碱化合物和0.01wt%到98wt%去离子水DI水。
【文档编号】C11D7/60GK103923765SQ201410016293
【公开日】2014年7月16日 申请日期:2014年1月14日 优先权日:2013年1月15日
【发明者】金容郁, 李鍲根, 金永善, 李锡浩, 宋定桓, 全成植, 韩宗秀, 李智惠 申请人:株式会社巨元新科技