专利名称：热处理装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种热处理装置，于电浆显示用玻璃基板等被处理物烧成的步骤中，在中空的搬送路径内进行加热处理、退火处理及冷却处理等热处理。
背景技术：
在烧成电浆显示用玻璃基板等被处理物的步骤中，在中空的搬送路径内进行加热、退火及冷却等热处理。此热处理中所使用的热处理装置，以隔热材料的外壁构件覆盖于上面、下面、左侧面及右侧面的四个面而构成中空搬送路径。于搬送路径的至少上面的一部份处，配置有用以将搬送路径加热至设定温度的加热器。
外壁构件及加热器，随时间的劣化和振动的作用等而产生尘埃。当此尘埃附着至在搬送路径中搬送的被处理物时，会对被处理物产生缺陷。
现有的热处理装置中，于各个四个面外壁构件的内侧，配置有板状耐热玻璃作为防尘构件。耐热玻璃包围搬送路径的四个面，防止由外壁构件及加热器所发生的尘埃附着至被处理物上(例如，参照专利文献1)。
烧成被处理物的步骤中所使用热处理装置，其搬送路径是长达数十米。在跨越搬送路径的全长上无法配置单一的耐热玻璃，因而分别配置多个耐热玻璃于四个面。多个耐热玻璃的端面相互对接而沿搬送路径配置。
在搬送路径的上面，于两片耐热玻璃的邻接部分处，载置搬送方向(X方向)长度较短的其它耐热玻璃，以防止尘埃从两片耐热玻璃的间隙中落下。
另外，现有热处理装置的排气箱配置于既定位置。排气箱将因加热而从被处理物所产生的升华气体由搬送路径内排出至外部。在该位置处，上面的耐热玻璃由排气箱所支撑。
例如，如图5所示，排气箱101由矩形剖面的金属制焊接加工品所构成，配置在搬送路径内与搬送方向正交的方向上。排气箱101前后的侧面焊接有L字型剖面的支撑构件102。上面的耐热玻璃110，其端部载置于支撑构件102的水平部分上，由此支撑于排气箱101。
(专利文献1)日本专利特开平05-339021号公报发明内容近年来，伴随显示器等的高精细化，对于热处理装置的搬送路径内的清净度的要求变得更为严格，因此以现有的结构很难实现所要求的清净度。
于两片耐热玻璃的接合部分上，因尺寸误差和经时变形而容易产生间隙。于搬送路径的上面，难以使两片耐热玻璃与较短的耐热玻璃完全贴紧而重合，且该部分亦会因尺寸误差和经时变形而产生间隙。此外，在以金属制的排气箱支撑上面的耐热玻璃的地方，因两者热膨胀率不同而在耐热玻璃的下面与支撑构件的上面之间产生摩擦，亦因此而产生异物(particle)。
由外壁构件、玻璃、排气箱等所产生的尘埃或摩擦所产生的异物，通过所述间隙而侵入至搬送路径内，因而污损在搬送路径内搬送的被处理物。
本发明的目的在于提供一种热处理装置，使配置作为防尘壁的各个多片耐热玻璃的接合部分不形成间隙，确实防止从外壁构件和加热器所产生的尘埃侵入至搬送路径内，因此能提高搬送路径内的清净度。
本发明的热处理装置具备有外壁构件、排气箱、以及多个防尘构件。外壁构件覆盖于搬送被处理物的搬送路径的上面、下面、左侧面及右侧面的四面。排气箱将搬送路径内的空气排出至外部。多个防尘构件为板状，分别在四面外壁构件的内侧，沿搬送路径而配置。尤其在上面的外壁构件的内侧，多个防尘构件位于排气箱的上面的上方，使其端部相互重合而配置。
根据此构成，位在搬送路径的上面的多个防尘构件，位于上述排气箱的上面的上方，使其相互的端部重合而配置。因此，在支撑防尘构件时，不需要使用排气箱，不会因防尘构件与排气箱的热膨胀所造成的摩擦而产生尘埃或异物，更不会从两者间隙落下而侵入至搬送路径内。
在上面的多个防尘构件的重合部分，可配置可挠性的耐热薄板。
根据此构成，多个防尘构件夹着可挠性的耐热薄板而重合。因此，多个防尘构件之间不会因经时变形和振动的作用等形成间隙，因此能确实防止尘埃往搬送路径内侵入。
以较一片防尘构件的长度短的间隔，沿上述搬送路径配置的多个支撑构件，可分别抵接于配置在搬送路径上面的多个防尘构件的各个下面。
依此构成，配置在搬送路径上面的多个防尘构件，由沿搬送路径配置的多个支撑构件所支持。因此，多个防尘构件可确实配置在搬送路径上面的既定位置。
另外，本发明的热处理装置具备有外壁构件、多个防尘构件、以及可挠性耐热薄板。外壁构件覆盖于搬送被处理物的搬送路径的上面、下面及左右两侧面的四面。多个防尘构件呈板状，分别在四面外壁构件的内侧沿着搬送路径，使其端面对接或使其端部重合而配置。可挠性的耐热薄板配置于各个多个防尘构件的对接部分及重合部分。
依此构成，在搬送路径的上面、下面及左右两侧面四面中，沿搬送路径配置在外壁构件内侧的多个防尘构件，在各个之间夹着可挠性的耐热薄板而使其端面对接或使其端部重合。因此，在多个防尘构件之间不会因经时变形或振动的作用而形成间隙，可确实防止尘埃往搬送路径内侵入。
另外，在多个防尘构件的对接部分处，可配置呈中空柱状体的可挠性的耐热薄板。
依此构成，多个防尘构件的端面在其各个之间夹着中空柱状体的耐热板下对接。因此，在多个防尘构件的对接部分不会因经时变形和振动的作用而形成间隙，可确实防止尘埃往搬送路径内侵入。
更进一步，在多个防尘构件的重合部分处，可配置其折曲部朝向搬送路径内而折迭的平板状的可挠性的耐热薄板。
依此构成，多个防尘构件在其各个之间夹着折曲部朝向搬送路径内而折迭的平板状的可挠性的耐热薄板下重合。因此，在多个防尘构件的重合部分不会因经时变形和振动的作用而形成间隙，可确实防止尘埃往搬送路径内侵入。
根据本发明的热处理装置，在支撑防尘构件时不使用排气箱，即使产生经时变形或振动的作用，在搬送路径的上面亦能不形成尘埃和粒子等通过的间隙。确实防止从外壁构件和加热器等中所产生的尘埃等侵入至搬送路径内，因而可提高搬送路径内的清净度。
另外，在多个防尘构件之间夹着可挠性的耐热薄板而对接或重合，于产生经时变形或振动作用之下，在多个防尘构件之间亦能不形成尘埃等通过的间隙。确实防止从外壁构件和加热器等中所产生的尘埃等侵入至搬送路径内，因而可提高搬送路径内的清净度。
图1为表示本发明第一实施形态的热处理装置的结构的关键部的侧面剖视图及正面剖视图。
图2表示热处理装置中的热处理内容。
图3表示本发明第二实施形态的热处理装置中，耐热玻璃的重合部分的状态。
图4表示本发明第三实施形态的热处理装置中，耐热玻璃31～34的对接部分的状态。
图5表示现有热处理装置的关键部的结构。
符号说明2 搬送滚柱4、101排气箱5 支撑棒6、7 耐热密封材10热处理装置11～14外壁构件13A、14A 阶梯部20被处理物
21、22 轴承31～34、110耐热玻璃(防尘构件)31A、31B、33A、33B 端部31C左侧面侧的端部31D右侧面侧的端部102支撑构件具体实施方式
图1(A)及(B)是表示本发明第一实施形态的热处理装置10结构的关键部的侧面剖视图及正面剖视图。热处理装置10例如对等离子显示用的玻璃基板(被处理物20)进行热处理。热处理装置10具备有外壁构件11～14、搬送滚柱2、耐热玻璃31～34、及排气箱4。
外壁构件11～14由隔热材料所构成，分别覆盖于搬送被处理物20的搬送路径的上面、下面及左右两侧面。其中至少外壁构件11在其内侧面具备有未图式的加热器。各个外壁构件11～14沿箭头X所示的搬送路径分割成多个区域。
排气箱4将因加热而从被处理物产生的升华气体排出至外部。排气箱4贯通左右两侧面的耐热玻璃33、34及外壁构件13、14，并在热处理装置10的右侧面侧跟未图式的顶出销(エジエクタejector)连接。
搬送滚柱2配备在沿搬送路径的各个多个位置。搬送滚柱2的两端部贯通外壁构件13及外壁构件14暨耐热玻璃33及耐热玻璃34，并在左侧面侧及右侧面侧的炉外通过轴承21、22支撑成可自由旋转。未图式的搬送马达的旋转传动至搬送滚柱2。
耐热玻璃31～34为本发明的防尘构件，分别配置在外壁构件11～14的炉内面侧。耐热玻璃31～34防止从外壁构件脱离的尘埃附着至被处理物20上。各个耐热玻璃31～34沿搬送路径分割成多个区域。
上面的耐热玻璃31配置于排气箱4的上面的上方。各耐热玻璃31交互重合。于左侧面侧的外壁构件13及右侧面侧的外壁构件14处，其内侧面分别形成有阶梯部13A、14A。各耐热玻璃31的左侧面侧的端部31C载置于阶梯部13A上，其右侧面侧的端部31D载置于阶梯部14A上。
下面的耐热玻璃32将其搬送路径下游侧端面跟所邻接的其它耐热玻璃32的上游侧端面对接而配置。左侧面耐热玻璃33及右侧面耐热玻璃34亦为同样。另外，耐热玻璃33及耐热玻璃34的上侧的端面跟耐热玻璃31的端部对接。耐热玻璃33及耐热玻璃34的下侧的端面跟耐热玻璃32的端部对接。
多个耐热玻璃31的端部相互重合而配置。不必以排气箱4支撑多个耐热玻璃31，因而不会发生耐热玻璃31与排气箱4的摩擦所产生的异物，或是尘埃从两者间隙侵入至搬送路径内。
另外，如图2所示，亦可通过沿搬送路径配置于多个位置上的支撑棒5来支撑多个耐热玻璃31。支撑棒5可例如以陶瓷材料构成，并抵接于耐热玻璃31的下面。此支持棒5可代替阶梯部13A及14A而配置，亦可与阶梯部13A及14A一起配置。
图3表示本发明第二实施形态的热处理装置10中，耐热玻璃31的重合部分的状态。各耐热玻璃31，是以搬送路径下游侧的端部31A为所邻接的其它耐热玻璃31上游侧的端部31B的上方，在两者之间夹着耐热密封材(heat-resistant cross seal)而重合。
耐热密封材6为本发明的耐热薄板之一例，具有可挠性。耐热密封材6例如是将折曲部朝向搬送路径折迭平板状而成的薄板体。
因经时变形与尺寸误差而在两片耐热玻璃31的重合部分产生间隙时，该间隙能通过耐热密封材6而密封。尘埃不会从两片耐热玻璃31的重合部分所产生的间隙侵入至搬送路径内。
图4表示本发明第三实施形态的热处理装置10中，耐热玻璃31～34的对接部分的状态。如图4(A)所示，各耐热玻璃33在其搬送路径下游侧的端面33A，与所邻接的其它耐热玻璃33的上游侧的端面33B之间，夹着耐热密封材7而对接。
耐热密封材7为本发明的耐热板之一例，具有可挠性。耐热密封材7例如为中空的柱状体。
因经时变形与尺寸误差而在两片耐热玻璃33的重合部分产生间隙时，该间隙能通过耐热密封材7而密封。尘埃不会从两片耐热玻璃33的重合部分所产生的间隙侵入至搬送路径内。
下面的耐热玻璃32之间的对接部分，及右侧面耐热玻璃34之间的对接部分，亦能采取与耐热玻璃33间的对接部分同样的构成。另外，耐热玻璃33及耐热玻璃34与耐热玻璃31之间对接的部分，以及耐热玻璃33及耐热玻璃34与耐热玻璃32之间对接的部分，亦能如图4(B)所示，采取与耐热玻璃33间的对接部分同样的构成。
权利要求
1.一种热处理装置，具备有外壁构件，其覆盖于搬送被处理物的搬送路径的上面、下面、左侧面及右侧面的四个面；排气箱，其配置在上述搬送路径内并将空气排出至外部；以及多个板状防尘构件，其分别在上述四个面外壁构件的内侧，沿上述搬送路径而配置，其特征为在上述上面的外壁构件内侧的上面的多个防尘构件，位于上述排气箱的上面的上方，使其端部相互重合而配置。
2.根据权利要求1所述的热处理装置，其中，更具备有可挠性的耐热薄板，该耐热薄板配置在上述上面的多个防尘构件的重合部分。
3.根据权利要求1或2所述的热处理装置，其中，更具备有多个支撑构件，其以较一片上述防尘构件的长度为短的间隔，沿上述搬送路径而配置，并分别抵接于各个上述上面的多个的防尘构件的下面。
4.一种热处理装置，具备有外壁构件，其覆盖于搬送被处理物的搬送路径的上面、下面、左侧面及右侧面的四个面；多个板状防尘构件，其分别在上述四个面的外壁构件的内侧沿着上述搬送路径，使其端面对接或使其端部重合而配置，其特征为于各个上述多个的防尘构件的对接部分及重合部分处，配置有可挠性的耐热薄板。
5.根据权利要求4所述的热处理装置，其中，配置在上述对接部分的上述耐热薄板为中空的柱状体。
6.根据权利要求4所述的热处理装置，其中，配置在上述重合部分的上述耐热薄板为使其折曲部朝向上述搬送路径内而折迭的平板状薄板。
全文摘要
本发明提供一种热处理装置，使配置作为防尘壁的多片耐热玻璃的各个接合部分中不形成间隙，确实防止从外壁构件和加热器所产生的尘埃侵入至搬送路径内，因此能提高搬送路径内的清净度。将上面多个耐热玻璃(31)配置于排气箱(4)的上面的上方处。各耐热玻璃(31)的配置，使搬送路径下游侧的端部(31A)，跟与下游侧邻接的其它耐热玻璃(31)的上游侧的端部(31B)的上方重合。在该重合部分处，可配置耐热的密封薄板。
文档编号C03B23/20GK101016187SQ20061010837
公开日2007年8月15日 申请日期2006年8月2日 优先权日2006年2月8日
发明者浦西芳和, 梶田博, 森本巖穗 申请人:光洋热系统股份有限公司