氧化铝基板的割断方法与流程

技术总结
本发明涉及一种氧化铝基板的割断方法。选择刻划并分断氧化铝基板时的刀尖角度及刻划渗透率。在分断氧化铝基板时，使用刀尖角度超过135°的角度的刻划轮，以20％以上的龟裂渗透率进行刻划。之后沿着刻划线予以分断。这样，可以确保端面品质地割断氧化铝基板。

技术研发人员：武田真和;村上健二;田村健太
受保护的技术使用者：三星钻石工业股份有限公司
文档号码：201310026050
技术研发日：2013.01.23
技术公布日：2016.12.28