标签。可在载体20、22上提供标签。标签可提供工艺管理系统的数据，所述数据诸如是由计算机，和/或控制器90提供的数据，所述计算机诸如是在传递装置100之内的计算机，和/或网络计算机。标签可帮助识别元件、估计产量，和/或帮助故障检修。传递装置100可包括诸如用于识别载体20的读出器700，所述读出器诸如是条形码扫描器和/或RFID读出器。读出器700可有利于实现工艺参数和所述工艺参数对产量和/或质量测量的可能影响的详细记录。
[0073]传递装置100可包括定位装置600，例如用于决定传递装置的位置。定位装置600可帮助将传递装置100与丝锯150对准。诸如当连接到丝锯时，例如通过使用在丝锯和/或传递装置100上的诸如互补传感器的定位传感器、标签和上述传感器和标签的组合，传递装置100可被校准。传递装置可被调整大小以便例如通过调整小角轮51的高度，来匹配切割头模块的高度。定位装置600可例如通过确保传递装置100和丝锯150的对准，来降低误操作锭料的机会。X致动器60可准确地到达丝锯150之内的经切割锭料，以使得夹持器200可夹持锭料。尤其当诸如相对于丝锯150的传递装置的位置被准确地决定时，X致动器60可将未经切割锭料准确地放置在丝锯150之内。诸如由丝锯150中的不准确放置和/或由夹持器200的不正确夹持产生的误操作锭料可导致浪费和/或产品报废。降低锭料误操作和/或误放置的机会是有利的。
[0074]图16图示根据也可与本文所述的其他实施例结合的实施例的诸如工厂站的集成系统300，所述集成系统包括传递装置100。传递装置可由若干丝锯150共用。传递装置100可被接口连接，诸如与多个丝锯150串行地接口连接。例如，传递装置100沿着路径305可移动，所述路径305诸如是由一个或多个导轨提供的路径、轨道，等等。丝锯150可相邻于路径305被定位。路径附近也可存在至少一个存储区310，所述存储区诸如是用于引入未经切割锭料的存储区310，和用于输出诸如经切割锭料的锭料的存储区320。此外，路径附近可存在清洗站330，所述清洗站诸如用于从经切割锭料去除颗粒物质。存储区310、320对于传递装置100是可进入的。清洗站330对于传递装置也可进入。一个以上传递装置100也可对工厂站300进行服务。存储区310、320可存储锭料，所述锭料诸如是在载体20之内的锭料。
[0075]传递装置100可被配置以操作在与丝锯相同的工厂环境中，且传递装置100可具有对因素布局占位的最小影响。传递装置100可以是可移动的，例如从丝锯150和/或诸如轨道的路径305可移动。选择性地，传递装置100被配置以便沿着悬挂式轨道移动。被配置以安装在架空轨道上的传递装置有利于降低最小占地面积。
[0076]图17图示根据也可与本文所述的其他实施例结合的实施例的锭料清洗装置400。清洗装置400可包括至少一个槽410，诸如清洗槽410 ;和贮器420。清洗装置400可被提供于清洗站330和/或集成在传递装置100中。清洗装置400可包括例如耦接到清洗槽410的超声换能器。清洗装置400可包括泵430，用于将清洗液诸如经由管道440从贮器传送到清洗槽410。每一槽可选择性地包括排放口。尤其超声波清洗装置的清洗装置400对于从经切割锭料去除颗粒物质是有利的。集成到传递装置100中的清洗装置400有利于允许经切割锭料保持潮湿。保持经切割锭料潮湿可减少颗粒物质对诸如晶片表面的半导体表面的不期望的粘着。
[0077]下文是对通过传递装置装载/卸载半导体锭料的进一步描述。每一装载/卸载周期可包括以下步骤的任何组合:起动传递装置；降低z致动器以将夹持器与锭料对准；通过X致动器夹持锭料；夹持锭料致动器的路径下降Z致动器；打开切割头进入门；在切割头下放置锭料；通过切割头夹紧锭料；通过夹持器释放锭料；将X致动器缩回到诸如原始位置；关闭切割头进入门；切割锭料；上升切割头；起动传递装置；打开切割头进入门；延伸X致动器；夹紧/夹持锭料；通过切割头释放锭料；缩回X致动器从而移动锭料至载体上方；关闭切割头进入门；上升Z致动器以将锭料放置在载体中；通过夹持器释放锭料；将1致动器缩回至诸如准备/缩回/零/原始位置；上升Z致动器以上升载体以便去除；及清洗和/或冲洗经切割锭料。
[0078]传递装置100可具有脱机状态和联机状态。脱机状态可为使得传递装置100不能够用于生产，诸如用于校准和/或维护。传递装置100的脱机状态可与丝锯150的脱机状态一致。脱机状态可允许传递装置和/或丝锯150的使用者导向的运动。与联机状态相比，传递装置的元件的运动可在脱机状态减速。选择性地，每当传递装置100脱机时，丝锯也脱机。
[0079]当至少一个z致动器能够被操作，且X致动器能够被操作时，联机状态可以有效。联机状态可为使得传递装置100对于丝锯控制器和/或用于晶片生产的工厂自动化主机完全可用。
[0080]工厂自动化主机可选择性地与丝锯控制器90通讯，以决定锭料是否可被传递、去除，和/或切割。例如，如果丝锯150可用和/或被预计可用，所述丝锯诸如是接着在一系列不久将可用的丝锯中的丝锯，那么未经切割锭料可被传递到传递装置100或由传递装置100传递。例如，“载体就位”开关和工厂自动化“切换完成”信号可使控制器90能够开始装载过程。选择性地，可监控至少一个元件的状态，例如:诸如开启或关闭的进入门的状态、丝锯的切割台的位置、诸如伸缩臂位置的X致动器60的位置、选择性地包括同时移动未切成片的锭料至切割头中的Z致动器位置。Z致动器可移动至“中间”位置。
[0081]伸缩臂可例如移动到适当的拾取/放置位置。夹持器可例如锁定至锭料。z致动器可例如将锭料载体下降至向下位置，同时打开进入门，选择性地以使得诸如伸缩臂的X致动器可延伸到锯中。X致动器和选择性地伸缩臂可延伸，直到X致动器在切割头夹紧装置下就位为止。控制器90和/或工厂自动化主机可使伸缩臂和夹紧工作台之间的夹持交换同步。在进行了交换的情况下，诸如臂的X致动器可被缩回，且选择性地，进入门可被关闭。如此可允许丝锯将锭料切片。
[0082]在装载操作期间，可以有可能地防止诸如第二 z致动器的第二平台运动。如果第二平台已位于工厂自动化传递位置处(向上)，那么第二平台可以可能地将未经切割锭料与经切割锭料交换。一旦切割完成，控制器90可选择性地促成已切片锭料从切割头的去除。工艺算法可例如包括引起锭料从金属板的取回，和选择性地冲洗诸如经切割锭料的锭料。动作可被例如包括在切割配方或定序器配方中。对于位于卸载位置的切割头，控制器可打开进入门和驱动伸缩臂到切割头交换位置中。控制器和/或工厂自动化主机可使切割头和伸缩臂之间的夹持交换同步。一旦夹持交换完成，臂可缩回到适当的“拾取/放入”位置。进入门可关闭且z致动器可移动到“中间”位置。然后，夹持器可释放锭料且缩回到“零”或“原始”位置。然后，z致动器可移动到“向上”位置以准备就绪与工厂自动化的交换。
[0083]额外定序可包括例如诸如清洗的清洁。载体从传递装置的去除可选择性地向控制器发出载体支撑件为空的信号。诸如绝对编码器或相对编码器的的编码器可用于决定传递装置和/或传递装置的元件的位置，所述元件诸如是致动器。可以实施条形码和/或RFID跟踪。可以例如监控联锁以便使运动同步。可以选择性地实施警报，诸如由掉落的晶片所触发的警报。任何一或多个以下事件可被决定且可触发警报和/或用户干预:掉落的晶片、诸如在起始序列期间决定的元件的未知位置、无法通过夹持器释放锭料、致动器无法到达目标位置的故障、无法将传递装置连接到丝锯的故障、切割头夹持器无法释放锭料的故障，等等。
[0084]图形用户接口，或⑶I可被包括在传递装置和/或工厂自动化主机中。⑶I可显示传递装置和/或传递装置的各种元件的状态和/或位置。例如，GUI可指示X致动器、z致动器的位置，载体的位置，锭料是否处于载体中等等。GUI也可呈现校准屏幕且允许使用者移动传递装置和/或传递装置的元件。选择性地，此用户导向的运动可能比由自动工艺控制的运动更加缓慢。
[0085]传递装置100可包括诸如不锈钢和/或阳极化铝的耐腐蚀材料。传递装置可包括防溅罩，所述防溅罩有利于保护活动部件不受环境的影响，所述环境可能包括特别接近丝锯的颗粒物质。
[0086]在可与本文所述的任何实施例结合的实施例中，每一致动器包括用于驱动各致动器的各个电动机。具有专用于每一致动器的诸如电动机的多个电动机的优点在于，放宽了对例如用于传输功率至不同致动器的开关装置等的需要。与将单个电源耦接到多个致动器的专用功率传输元