一种激光点位标记设备及其方法与流程

本发明涉及基板点位标记领域，具体涉及一种激光点位标记设备及其方法。

背景技术：

如图1所示，采用MAC(宏观检查机)对基板1进行标记点位时，位于基板1两端的X轴向导轨2带动Y轴向导轨7沿其X轴向移动，用来确定标记点位在X轴向的位置，在Y轴向导轨7上设有具有反射镜和激光光源的移动载台4，移动载台4沿着Y轴向导轨7移动，用来确定标记点位在Y轴向的位置。在实施过程中由于Y轴向导轨7的遮挡导致需标记的点位难以准确标记，另外，两条X轴向导轨2由于运动速度不均，导致其产生运动障碍，会造成Y轴向导轨7产生倾斜，从而对基板1的标记点位存在偏差。

技术实现要素：

因此，本发明要解决现有技术中不能对基板进行准确点位标记的技术问题，从而提供一种激光点位标记设备及其方法。

一方面，本发明提供了一种激光点位标记设备，其设置于所要标记基板的上方，包括X轴向导轨和设置于所述X轴向导轨上的移动载台，所述移动载台与所述X轴向导轨滑动连接，通过所述移动载台在X轴向导轨上的位置获得所述基板上X轴向的标记点位置，所述X轴向导轨设置于所述基板的外侧上方位置，所述移动载台包括激光光源、反射镜和驱动装置，所述激光光源所发出的入射光束进入所述反射镜，并经所述反射镜反射后形成反射光束，所述反射光束沿垂直X轴的方向输出，所述驱动装置驱动所述反射镜旋转，使由所述反射镜输出的反射光束与所述X轴向导轨保持垂直；通过所述激光光源的所述反射光束与入射光束所形成的角度θ及所述X轴向导轨与基板的相对位置尺寸获得基板上Y轴方向的标记点位置。

所述基板上的中心设为X轴和Y轴的坐标原点，其中Y轴指向所述X轴向导轨，所述基板上标记点位置坐标为(x,L2/2+L3-H/tan(θ))；

其中：L2—与X轴向导轨相垂直的基板一侧边尺寸；

L3—基板与X轴向导轨间的距离；

H—反射镜的反射点距离X轴向导轨的高度。

所述驱动装置为一驱动轴，其设置于所述反射镜的反射镜面的中部，且与所述X轴向导轨平行设置，所述激光光源的入射光束入射至所述驱动轴所在位置的反射镜面上。

所述反射镜为等腰直角三棱镜，所述激光光源的入射光束由所述反射镜的一直角边入射至位于所述驱动轴位置处的反射镜面上，并由所述反射镜的另一直角边输出反射光束。

所述X轴向导轨与所述基板较长的一侧边平行设置。

另一方面，本发明还提供了一种激光点位标记方法，所述方法包括如下步骤：

步骤一，在基板上建立直角坐标系(x，y)，并设定坐标系原点；

步骤二，在基板的外侧上方位置设定一与基板一侧边平行设置的X轴向导轨，在X轴向导轨上滑动移动载台至需要标记的基板X轴向位置，根据移动载台在X轴向导轨的移动位置确定需要标记点的X轴向坐标；

步骤三，旋转移动载台中的反射镜，使激光光源所发出的入射光束经反射镜反射后到达所需标记的基板Y轴向位置；

步骤四，根据激光光源的入射光束与反射光束所形成的角度θ及X轴向导轨与基板的相对位置尺寸确定基板上所需标记点位的Y轴向坐标。

所述步骤一中在基板上所建立的直角坐标系(x，y)的原点位于基板的中心。

所述步骤三中沿着垂直于X轴向导轨的轴线方向旋转移动载台中的反射镜。

本发明技术方案，具有如下优点：

A.本发明提供的激光点位标记设备是将激光与可转动的反射镜整合于可移动的移动载台上，该移动载台可沿X轴向导轨水平方向移动，当要在基板上标记点位时，通过控制移动载台的移动及反射镜的旋转，Y轴向位置可由反射镜的转动来改变光线位置，且通过激光光源的反射光束与入射光束所形成的角度θ及X轴向导轨与基板的相对位置尺寸获得基板上Y轴方向的标记点位置，而X轴向位置可由移动载台在X轴向导轨上移动来确定位置，从而可以准确确定需标记点的坐标。

B.本发明仅利用了设置于基板外侧上方位置的X轴向导轨，带有反射镜的移动载台沿着X轴向导轨滑动，由于X轴向导轨位于基板的外侧，在测量基板X轴向和Y轴向激光点位时不受X轴向导轨的干扰，从而避免了对所标记基板的遮挡，实现基板的准确标记。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是现有技术中激光点位标记设备的结构示意图；

图2是本发明所提供激光点位标记设备结构示意图(第一使用状态)；

图3是本发明所提供激光点位标记设备结构示意图(第二使用状态)；

图4是图2的侧面结构示意图；

图5是图2中反射镜与驱动装置的连接结构示意图；

图6是本发明所提供的反射镜翻转时入射光束与反射光束的结构示意图。

附图标记说明：

1-基板；2-X轴向导轨；3-入射光束；4-移动载台，41-激光光源，42-反射镜，43-驱动装置；5-反射光束；6-反射镜面；7-Y轴向导轨。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

如图2、图3和图4所示，本发明提供了一种激光点位标记设备，其设置于所要标记基板1的上方，包括X轴向导轨2和设置于X轴向导轨2上的移动载台4，移动载台4与X轴向导轨2滑动连接，可控制移动载台4在X轴向导轨2上来回移动，通过移动载台4在X轴向导轨2上的位置获得基板1上X轴向的标记点位置，图2中的X轴向导轨2设置于基板1的外侧上方位置，其中心位置距离基板1高度为H，移动载台4包括激光光源41、反射镜42和驱动装置43，激光光源41所发出的激光束进入反射镜42，并经反射镜42反射后形成反射光束5沿垂直X轴的方向输出，驱动装置43驱动反射镜42旋转，使由反射镜42输出的反射光束5与X轴向导轨2保持垂直；通过激光光源41的反射光束5与入射光束3所形成的角度θ及X轴向导轨2与基板1的相对位置尺寸获得基板1上Y轴方向的标记点位置。

本发明仅利用了设置于基板外侧上方位置的X轴向导轨，带有反射镜的移动载台沿着X轴向导轨滑动，由于X轴向导轨位于基板的外侧，在测量基板X轴向和Y轴向激光点位时不受X轴向导轨的干扰，从而避免了对所标记基板的遮挡，实现基板的准确标记。

具体地，将基板1上的中心设为X轴和Y轴的坐标原点，其中Y轴指向X轴向导轨2，基板1上标记点位置坐标为(x,L2/2+L3-H/tan(θ))；

其中：L2—与X轴向导轨相垂直的基板一侧边尺寸；

L3—基板与X轴向导轨间的距离；

H—反射镜的反射点距离X轴向导轨的高度。

优选地，这里的驱动装置43为一驱动轴，如图5所示，其设置于反射镜42的反射镜面6的中部，且与X轴向导轨2平行设置，激光光源41的入射光束3入射至驱动轴所在位置的反射镜面6上。如图6所示，通过旋转驱动轴，反射镜42也跟随其旋转，入射光束3始终保持照射在驱动轴的位置，而反射光束5随着反射镜的旋转，以驱动轴为圆形在垂直于驱动轴的平面上移动，这样可以根据旋转角度的大小和驱动轴的位置尺寸来确定激光点的Y向坐标。由于X轴向导轨位于基板的外侧，基板上没有其他导轨可对激光的点位标记造成影响，通过计算可准确获得所要标记点的坐标。

进一步优选地，其中的反射镜42为等腰直角三棱镜，激光光源41的入射光束3由反射镜42的一直角边入射至位于驱动轴位置处的反射镜面6上，并由反射镜42的另一直角边输出反射光束5。

为了减少对点位标记坐标的计算，本发明优选地将X轴向导轨2与基板1较长的一侧边平行设置，X轴向坐标位置点可以通过X轴向导轨2上的刻度直接获得。

另一方面，本发明具体的激光点位标记方法，包括如下步骤：

步骤一，在基板上建立直角坐标系(x，y)，并设定坐标系原点；

本发明优选地将直角坐标系(x，y)的原点设置在基板的中心。

步骤二，在基板的外侧上方位置设定一与基板一侧边平行设置的X轴向导轨，在X轴向导轨上滑动移动载台至需要标记的基板X轴向位置，根据移动载台在X轴向导轨的移动位置确定需要标记点的X轴向坐标；

步骤三，旋转移动载台中驱动装置，使反射镜发生翻转，激光光源所发出的入射光束经反射镜反射后到达所需标记的基板Y轴向位置；这里优选地沿着垂直于X轴向导轨2的轴线方向旋转移动载台4中的反射镜42。

步骤四，根据激光光源的入射光束与反射光束所形成的角度θ及X轴向导轨与基板的相对位置尺寸确定基板上所需标记点位的Y轴向坐标。

本发明通过将激光与可转动的反射镜整合于可移动的移动载台上，该移动载台可沿X轴向导轨水平方向移动，当要在基板上标记点位时，通过控制移动载台的移动及反射镜的旋转，Y轴向位置可由反射镜的转动来改变光线位置，且通过激光光源的反射光束与入射光束所形成的角度θ及X轴向导轨与基板的相对位置尺寸获得基板上Y轴方向的标记点位置，而X轴向位置可由移动载台在X轴向导轨上移动来确定位置，从而可以准确确定需标记点的坐标。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。