技术总结
本发明公开了一种宏微集成运动高精度并联机构装置及控制方法，包括机械本体部分及控制部分，机械本体部分包括静平台、动平台及驱动动平台宏动运动的直线电机驱动支链和驱动动平台精密微运动的微动支链，控制部分包括直线电机伺服放大器、直线精密驱动单元伺服放大器、运动控制卡及计算机。本发明直线电机的宏动运动保证轨迹跟踪和运动范围，直线精密驱动单元驱动的微动运动实现高精度定位控制，宏动和微动集成解决大行程与高精度的矛盾，在较大工作空间内实现高精度定位控制。
技术研发人员：邱志成;张宪民
受保护的技术使用者：华南理工大学
文档号码：201610937125
技术研发日：2016.10.25
技术公布日：2017.01.11