一种侧取式机械手的制作方法

本发明涉及一种半导体及太阳能清洗设备和湿法处理设备,尤其是槽式清洗设备和湿法处理设备。

背景技术：

在槽式自动清洗行业,往往需要使用侧取式机械手将设备内被清洗产品转移到各个处理工位.传统侧取式机械手存在笨重、刚性不足、维护不方便、容易对设备造成油污污染等问题。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题是传统槽式自动清洗行业侧挂式机械手笨重、刚性不足、维护不方便等问题。

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种侧取式机械手，包括机械手安装板，所述机械手安装板的一侧连接机械手，所述机械手包括横移系统和竖移系统，所述横移系统上设有竖移系统，所述竖移系统上连接有水平的横臂，所述水平的横臂下设有勾爪，所述勾爪连接载具，通过程序控制横臂在横移动系统和竖移系统上进行横向和升降运动，从而达到对载具进行取放和移动。

优选地，所述横移系统包括通过上导轨固定型材固定在机械手安装板另一侧的上导轨，所述上导轨上设有滑块，所述滑块通过滑块固定块安装在横移齿轮上，所述横移齿轮与固定在上导轨固定型材下的横移齿条啮合相接，并通过与横移齿轮连接的减速机一和马达一驱动横移齿轮在横移齿条上啮合滚动，带动横移齿轮上通过滑块固定块连接的滑块在上导轨上横向移动。

优选地，所述竖移系统包括背板，所述背板的一侧通过横移系统安装座连接横移系统，所述背板的另一侧的顶部设有丝杆固定座，所述背板的另一侧的底部固定有丝杆安装板，丝杆设在固定丝杆固定座与丝杆安装板之间，并通过丝杆支撑座固定在丝杆安装板的中部，所述丝杆安装板下安装有减速机二，减速机二输入端安装有马达二；所述丝杆的两侧分别设有以相对方向设置的直线导轨，并通过导轨安装板与丝杆安装板和背板固定；所述以相对方向设置的直线导轨上分别设有直线滑块，所述直线滑块上分别连接一组升降臂，所述两组升降臂通过固定板相连，所述固定板的中心与设置在丝杆中部的丝杆螺母相连；所述升降臂连接横臂，通过马达二和减速机二驱动与其连接的丝杆旋转，通过丝杆中部的丝杆螺母带动固定板连接的升降臂作升降移动。

优选地，所述导轨安装板上下分别设有极限感应器，所述上下的极限感应器之间设有与升降臂固定的极限感应块，通过升降臂的升降运动带动极限感应块在上下的极限感应器之间运动。

优选地，所述固定板下设有缓冲柱。

优选地，所述丝杆安装板上设有滑块检修口，所述滑块检修口位于两组以相对方向设置的直线导轨的一侧。

优选地，所述滑块横移方向设有固定在背板一侧的防撞传感器和防撞感应块，当两个机械手在同一轨道相向运行式，如果超出设定的安全距离，防撞感应块发出信号并通过plc控制系统判断，并发出指令停止机械手运行及报警，达到防撞机械手相撞的目的；机械手横移方向设有区部保护传感器，当机械手正常运行时，在运行区域出现阻挡物时，通过plc控制系统判断，并发出指令停止机械手运行及报警。

优选地，所述滑块固定块设有缺口，便于安装滑块；所述升降臂采用加厚工业型材，所述升降臂两侧采用加钢板增强的方式，解决升降刚性问题。

优选地，所述上导轨的上方设有固定在背板与机械手安装板上的上导轨护罩，用于防止异物掉落损坏横移系统,人员在进行机械手后部槽体维护时，可杜绝上导轨的油污蹭到维护人员身上，从而降低了设备其它区域被油污污染的风险。

优选地，所述丝杆安装板的底面连接有导轮安装板，所述导轮安装板上设有导轮，所述导轮与固定在机械手安装板上的下导轨连接。

本发明提供了一种侧取式机械手结构，兼具轻巧、刚性强、维护方便、无油污污染等优点，机械手轻巧，满足高速度的启停动作，升降臂刚性好，横臂的水平度和稳定性得以更好的保证；上下导轨的直线滑块拆装方便；机械手滑块带有缺口结构，方便设备安装更换导轨滑块。

附图说明

图1为本发明提供的一种侧取式机械手的立体图；

图2为本发明提供的一种侧取式机械手的右视图；

图中序号如下：

1、横臂；2、勾爪；3、载具；4、升降臂；5、极限传感器；6、滑块；7、上导轨；8、减速机一；9、马达一；10、极限感应块；11、防撞传感器；12、极限传感器；13、导轨安装板；14、背板；15、马达二；16、减速机二；17、丝杆支撑座；18、滑块检修口；19、直线导轨；20、丝杆；21、丝杆安装板；22、缓冲柱；23、丝杆螺母；24、防撞感应块；25、直线滑块；26、滑块固定块；27、上导轨护罩；28、上导轨固定型材；29、横移齿条；30、横移齿轮；31、横移系统安装座；32、机械手安装板；33、下导轨固定型材；34、下导轨；35、导轨安装板；36、导轨。

具体实施方式

为使本发明更明显易懂，兹以优选实施例，并配合附图作详细说明如下。

如图1、图2所示，为本发明提供的一种侧取式机械手，包括机械手安装板32，所述机械手安装板32的一侧连接机械手，所述机械手包括横移系统和竖移系统，所述横移系统包括通过上导轨固定型材28固定在机械手安装板32另一侧的上导轨7，所述上导轨7上设有滑块6，所述滑块6通过带有缺口的滑块固定块26安装在横移齿轮30上，所述横移齿轮30与固定在上导轨固定型材28下的横移齿条29啮合相接，并通过与横移齿轮30连接的减速机一8和马达一9驱动横移齿轮30在横移齿条29上啮合滚动，带动横移齿轮30上通过滑块固定块26连接的滑块6在上导轨7上横向移动；所述横移系统上设有竖移系统，所述竖移系统上连接有水平的横臂1，所述水平的横臂1下设有勾爪2，所述勾爪2连接载具3，通过程序控制横臂1在横移动系统和竖移系统上进行横向和升降运动，从而达到对载具3进行取放和移动。

所述竖移系统包括背板14，所述背板14的一侧通过横移系统安装座31连接横移系统，所述背板14的另一侧的顶部设有丝杆固定座12，所述背板14的另一侧的底部固定有丝杆安装板21，丝杆20设在固定丝杆固定座12与丝杆安装板21之间，并通过丝杆支撑座17固定在丝杆安装板21的中部，所述丝杆安装板21下与丝杆20同心位置安装有减速机二16，减速机二16输入端安装有马达二15；所述丝杆20的两侧分别设有以相对方向设置的直线导轨19，并通过导轨安装板13与丝杆安装板21和背板14固定连接；所述以相对方向设置的直线导轨19上分别设有直线滑块25，所述直线滑块25上分别连接一组升降臂4，所述两组升降臂4通过固定板12相连，所述固定板12的中心与设置在丝杆20中部的丝杆螺母23相连；所述升降臂4连接横臂1，通过马达二15和减速机二16驱动与其连接的丝杆20旋转，通过丝杆20中部的丝杆螺母23带动固定板12连接的升降臂4作升降移动。

所述滑块6的横移方向设有固定在背板14一侧的防撞传感器11，当机械手正常在运行区域运行出现阻挡物时，阻挡物接触到防撞感应块24时，通过plc判断，发出指令停止机械手运行及报警。

进一步，所述上导轨7的上方设有固定在背板14与机械手安装板32上的上导轨护罩27，用于防止异物掉落损坏横移系统，以及人员在进行机械手后部槽体维护时，可杜绝上导轨的油污蹭到维护人员身上，从而降低了设备其它区域被油污污染的风险；所述导轨安装板13上下分别设有极限感应器5，所述上下的极限感应器5之间设有与升降臂4固定的极限感应块10，通过升降臂4的升降运动带动极限感应块10在上下的极限感应器5之间运动；所述固定板12下设有缓冲柱22，用于防止升降臂4下降过程中的撞击而导致损坏；所述丝杆安装板21上设有滑块检修口18，所述滑块检修口18位于两组以相对方向设置的直线导轨19的一侧，便于维护时可以在不拆取升降臂4的前提下将直线滑块25拆卸从滑块检修口18中取出。

进一步，所述丝杆安装板21的底面连接有导轮安装板35，所述导轮安装板35上设有导轮36，所述导轮36与固定在机械手安装板32上的下导轨34连接，用于辅助上导轨7上的滑块6横向移动。

进一步，所述升降臂4采用加厚工业型材，两侧加钢板增强的方式，解决升降刚性问题。

操作时，通过程序控制马达二15驱动丝杆20旋转，传动升降臂4进行升降移动；并通过马达一9驱动横移系统，带动与其连接的背板14上竖移系统上的升降臂4做横向运动，通过横向和升降运动，从而对升降臂4间接连接的载具3进行取放和移动。

本发明提供了一种侧取式机械手结构，兼具轻巧、刚性强、维护方便、无油污污染等优点，机械手轻巧，满足高速度的启停动作，升降臂刚性好，横臂的水平度和稳定性得以更好的保证；上下导轨的直线滑块拆装方便；机械手滑块带有缺口结构，方便设备安装导轨护罩；人员在进行机械手后部槽体维护时，可杜绝导轨上的油污蹭到维护人员身上，从而降低了设备其它区域被污染的风险。