一种摆动驱动装置及加工设备的制作方法

本发明属于机械加工技术领域，尤其涉及一种摆动驱动装置及加工设备。

背景技术：

现有的铸件自动打磨设备通常有两种形式，一种为数控机床结构，大部分运动轴为直线运动；另一种为机器人结构，常采用六轴工业机器人加打磨工具的型式。采用机床结构的自动打磨设备，刚性比较好，适应重切削，但是灵活性差，工作空间小。采用六轴工业机器人结构的打磨设备，由于运动副多，因此工作空间大，灵活性高，但同时也因为运动副多切多为杆件，导致刚性不足，加工速度慢。两种设备均不能兼顾高刚性、灵活性的使用要求。

随着社会进步、科技发展，工业机器人的应用也越来越普遍。工业机器人是能够实现自动控制的、可重复编程的、多自由度的、运动自由度建成空间直角关系的、多用途的操作机。其工作的行为方式主要是通过完成沿着x、y、z轴上的线性运动。

工业机器人在生产中，一般需要配备除了自身性能特点的外围设备，如转动工件的回转台，移动工件的移动台等。这些外围设备的运动和位置控制都需要与工业机器人相配合并要求相应精度。通常机器人运动轴按其功能可划分为机器人轴、基座轴和工装轴，基座轴和工装轴统称外部轴。实际生产中常用的是6关节工业机器人，该操作机有6个可活动的关节(轴)，不同的工业机器人本体运动轴的定义也不同。用于保证末端执行器达到工作空间任意位置的轴称为基本轴或主轴；用于实现末端执行器任意空间姿态的轴，称为腕部轴或次轴。

现行的工业机器人运用到如磨削领域，通常是购买成熟的某一机器人或机器手(如六轴机器人)后，增设一磨削装置。比如，菲尔罗伯蒂克斯顺从式机器人技术有限公司在2017年04月04日申请的pct/ep2017/057982(中国国家阶段的专利号为201780034786.0)公开了一种机器人辅助的磨削装置，其包括：机械手、线性执行器、具有旋转的磨削工具的磨床，其中，磨床经由线性执行器与机械手相连结。该装置还包括保护盖，其部分包围旋转的磨削工具，其中，旋转的磨削工具至少在第一侧从保护盖伸出。设有一种调整机构，其将保护盖与磨床连接并且设计成相对于磨床调整保护盖的位置。

请参阅表1，其为现行机器人中常见六轴机器人本体运动轴的一个定义。通常，生产精密机器人需要大量技术支撑，因此一些巨头公司提供可存在广泛应用的如六轴机器人在内的工业机器人，各种场景应用由其它公司在该工业机器人的基础上加入外围设备，进行二次开发，以适应不同各种场景上的应用。

常见工业机器人本体运动轴的定义

表1

采用六轴工业机器人加上打磨设备在打运动副多，因此工作空间大，灵活性高，但同时也因为运动副多切多为杆件，导致刚性不足，加工速度慢。两种设备均不能兼顾高刚性、灵活性的使用要求。更重要的是，采用六轴工业机器人加上打磨设备进行磨削存在以下的问题：

现行的六轴机器人末端安装的执行件通常是一个连接端部，不稳定，同样也影响其执行件的工作稳定性。

其次，现有机器人的传动链随着工作时间的增长，在发生磨损后，传动精度会降低，使得工件的加工精度降低。同时，在有正反转要求的精密伺服齿轮传动系统中，相互啮合的齿轮之间的间隙对伺服系统的定位产生影响，导致定位不准确。

再次，在打磨过程中，在机器人本体外设有各种管路，比如交换、清洁、冷却等所需的液压管路、压缩空气管、冷却液管等，一般来说，各种管路会随着机器人本体的运作还产生移动而引起磨损，很容易发生故障。比如，磨削过程中产生的火花等容易烧坏其管线，并且为了便于管路能随着机器人本体的各种轴向运动而设置各种伸缩机构也导致其结构更为复杂。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题是提供一种摆动驱动装置及加工设备，以解决现有加工机器人连接不稳定、管路外置引起安全性和容易损坏的问题。

为解决上述问题，本发明的技术方案为：

本发明的一种摆动驱动装置，包括

分支部，所述分支部包括连接件、第一侧臂和第二侧臂；所述连接件用于连接外部平台；所述第一侧臂的第一端和所述第二侧臂的第一端分别连接于所述连接件的两侧；第一侧臂的第二端和所述第二侧臂的第二端用于连接外部动力头的两侧面；

所述分支部内设有中空连通腔；

驱动部，设于所述中空连通腔内，所述驱动部的输出端与所述外部动力头相连，用于驱动所述外部动力头绕所述第一侧臂和所述第二侧臂的第二端摆动；

管线，设于所述中空连通腔内，所述管线的输出端连接至所述外部动力头内，用于控制所述外部动力头；

本发明的摆动驱动装置，所述中空连通腔包括设置于所述连接件内的第一中空腔、设置于所述第一侧臂内的第二中空腔和设置于所述第二侧臂内的第三中空腔；其中，

所述第一中空腔分别与所述第二中空腔形成第一连通，所述第一中空腔和所述第三中空腔形成第二连通；

所述驱动部设于所述第一连通内；

所述管线设于所述第二连通内。

本发明的摆动驱动装置，所述管线包括驱动和/或信号走线管路和气液管路，均设于所述第二连通内；所述驱动和/或信号走线管路与所述外部动力头的动力部件相连，用于驱动和控制所述动力部件；所述气液管路与所述外部动力头的冷却管路连通，用于提供所需的冷却介质。

本发明的摆动驱动装置，所述驱动部包括驱动件、传动链、齿轮消隙机构，所述驱动件的输出端与所述传动链的输入端连接，所述传动链的输出端与所述齿轮消隙机构的输入端连接，所述齿轮消隙机构的输出端与所述外部动力头连接。

本发明的摆动驱动装置，所述齿轮消隙机构包括消隙转轴、消隙齿轮、输出齿轮和弹性件；

所述消隙转轴转动连接于所述第二中空腔；

所述消隙齿轮设于所述消隙转轴上；所述消隙齿轮为第一锥齿轮；直接写锥齿轮

所述输出齿轮转动连接于所述第二中空腔，且啮合于所述消隙齿轮；所述输出齿轮为第二锥齿轮；啮合状态下，所述第一锥齿轮的大端与所述第二锥齿轮的小端同侧；

所述弹性件第一端连接于所述第二中空腔的内臂面上，第二端贴合于所述消隙转轴，用于给所述消隙转轴提供方向为所述第一端面朝向所述第二端面的轴向力。

本发明的摆动驱动装置，所述传动链包括第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮、第四齿轮、传动轴；

所述第一齿轮设于所述驱动件的输出端；

所述传动轴转动连接于所述第二中空腔；

所述第二齿轮和所述第三齿轮依次设于所述传动轴上；所述第二齿轮与所述第一齿轮啮合；

所述第四齿轮设于所述消隙转轴上，且所述第四齿轮与所述第三齿轮啮合。

本发明的摆动驱动装置，所述第一齿轮为固定双片消隙齿轮，包括第一薄片齿轮、第二薄片齿轮、垫片、锁紧件；所述第一薄片齿轮、所述垫片、所述第二薄片齿轮依次贴合设于所述驱动件的输出端；所述锁紧件穿设于所述第一薄片齿轮和所述第二薄片齿轮，用于锁紧所述第一薄片齿轮和所述第二薄片齿轮的轴向相对位置。

本发明的摆动驱动装置，所述第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮、第四齿轮、消隙齿轮和输出齿轮均为斜齿轮。

本发明的摆动驱动装置，所述驱动件为设于所述第一中空腔内的伺服电机。

本发明的摆动驱动装置，所述第一侧臂第二端朝向所述第二侧臂的面和所述第二侧臂第二端朝向所述第一侧臂的面上均开有连接通道，用于使所述外部动力头伸入并所述第一侧臂和所述第二侧臂的第二端摆动。

本发明的摆动驱动装置，所述第一侧臂和所述第二侧臂分别与所述外部动力头的连接处至少其中一设置有接头装置，用于密封所述连接处且可随着外部动力头的转动而转动。

本发明的摆动驱动装置，所述接头装置包括连接环和接头轴承；所述接头轴承的外圈设于所述连接处；所述连接环连接于所述接头轴承的内圈，用于与所述外部动力头连接。

本发明的一种加工设备，包括有如上述任意一项的摆动驱动装置。

本发明由于采用以上技术方案，使其与现有技术相比具有以下的优点和积极效果：

1、本发明一实施例通过将分支部设置为连接件两侧连接第一侧臂和第二侧臂，由第一侧臂和第二侧臂的第二端连接外部动力头的两侧面，避免现有技术中只有一端连接导致稳定性不够的缺点，具有更强的稳定性；同时通过在分支部内设置中空连通腔，并在中空连通腔内设置的驱动部和管线，其中，驱动部的输出端与外部动力头相连，用于驱动外部动力头；管线的输出端连接至外部动力头以控制外部动力头的运转管线整体内置于中空连通腔内，结构设置合理，避免大量外走线起安全性和容易损坏的问题。

2、本发明一实施例通过将用于驱动外部动力头转动的驱动部设置为驱动件带动传动链，由传动链将动力传递至齿轮消隙机构并由齿轮消隙机构输出的设置方式，使得传动过程中产生的精度误差可由设置在最后的齿轮消隙机构进行修正，降低了传动过程带来的误差，提高了传动精度，从而提高了加工精度。

3、本发明一实施例在第一侧臂和第二侧臂分别与外部动力头的连接处至少其中一设置接头装置，其密封所述连接处且可随着外部动力头的转动而转动，这种接头装置的设置提升了整个走线串时的稳定性，使得外部动力头的转动时驱动和/或信号线走线和气液管路的线串不会打结，大大提升稳定性。

4、本发明一实施例中，第二侧臂可以通过呈凹状的侧臂本体和第二侧臂端盖形成第三中空腔，第三中空部直接通过气液管路线串线，第二侧臂的径向宽度是根据回转接头的高度来设置，接头轴承设置于第二侧臂的贯通孔，并由连接环连接接头轴承内圈和外部动力头，第二侧臂的径向宽度可容置接头轴承即可，根据其高度来适应性设置其径向宽度即可，使得整体结构设置更为紧凑。

附图说明

图1为本发明的摆动驱动装置的剖视图；

图2为本发明的摆动驱动装置的驱动部的剖视图；

图3为本发明的摆动驱动装置的动力主轴的剖视图；

图4为本发明的摆动驱动装置的示意图；

图5为本发明的摆动驱动装置的另一示意图。

附图标记说明：1：连接件；2：第一侧臂；3：第二侧臂；4：驱动件；5：第一齿轮；6：第二齿轮；7：第三齿轮；8：第四齿轮；9：消隙齿轮；10：输出齿轮；11：驱动和/或信号线走线通路；12：气液管路；13：连接环；14：动力主轴；1401：壳体；1402：主轴；1403：第一主轴轴承部；1404：第二主轴轴承部；1405：转子组件；1406：定子组件；1407：前端盖；1408：后端盖；1409：密封盖；1410：密封定位套；1411：刀具座；1412：压盖；15：刀具；16：第一消隙轴承；17：第二消隙轴承；18：推力轴承；19：弹性件；20：消隙端盖；21：密封件。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明提出的一种摆动驱动装置及加工设备作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。

实施例一

参看图1、图2、图4和图5，在一个实施例中，一种摆动驱动装置，包括分支部和驱动部。

分支部包括连接件1、第一侧臂2和第二侧臂3。连接件1用于连接外部平台。第一侧臂2的第一端和第二侧臂3的第一端分别连接于连接件1的两侧。

第一侧臂2的第二端和第二侧臂3的第二端用于连接外部动力头的两侧面，用于转动连接外部动力头并形成两端面稳定转动连接，实现外部动力头相对于第一侧臂和第二侧臂的摆动。具体可为第一侧臂2和第二侧臂3连接于连接件1形成内部中空的y型连杆，相对设置的第一侧臂2和第二侧臂3的臂面上开有贯通孔，使得外部动力头的连接段和伸入并转动连接于两侧的贯通孔。

分支部内则设有中空连通腔，且中空连通腔内设置有用于驱动外部动力头的驱动部和用于控制外部动力头的管线。

其中，中空连通腔具体可包括设于连接件1内的第一中空腔、设于第一侧臂2内的第二中空腔和设于第二侧臂3内的第三中空腔，第一中空腔分别与第二中空腔形成第一连通，第一中空腔和第三中空腔形成第二连通。

驱动部设于第一连通内，且驱动部的输出端与外部动力头连接用于驱动外部动力头绕第一侧臂2和第二侧臂3的第二端摆动。

管线设于第二连通内，管线的输出端通过第二侧臂3与外部动力头的连接处连接至外部动力头内，以控制外部动力头运转。

通过将分支部设置为连接件1两侧连接第一侧臂2和第二侧臂3，由第一侧臂2和第二侧臂3的第二端连接外部动力头的两侧面，避免现有技术中只有一端连接导致稳定性不够的缺点，具有更强的稳定性；同时通过连接件1的第一中空腔和第一侧臂2的第二中空腔配合形成设置驱动部的第一连通；第一中空腔和第二侧臂3的第三中空腔配合形成设置管线的第二连通，管线连接至外部动力头以控制外部动力头的运转，管线整体内置于第二连通内，结构设置合理，避免大量外走线引起安全性和容易损坏的问题。

在本实施例中，管线具体可包括驱动和/或信号走线管路和气液管路12，均设于第二连通内。驱动和/或信号走线管路与外部动力头的动力部件相连，用于提供动力部件所需的电源和控制动力部件的输出；气液管路则与外部动力头的冷却管路连通，用于提供所需的冷却介质。

下面对本实施例的摆动驱动装置的具体结构进行说明：

参看图2，在本实施例中，驱动部具体可包括驱动件4、传动链、齿轮消隙机构。驱动件4的输出端与传动链的输入端连接，传动链的输出端与齿轮消隙机构的输入端连接，齿轮消隙机构的输出端与外部动力头连接。本实施例将用于驱动外部动力头转动的驱动部设置为驱动件4带动传动链，由传动链将动力传递至齿轮消隙机构并由齿轮消隙机构输出的设置方式，使得传动过程中产生的精度误差可由设置在最后的齿轮消隙机构进行修正，降低了传动过程带来的误差，提高了传动精度，从而提高了加工精度。

其中，齿轮消隙机构具体可包括消隙转轴、消隙齿轮9、输出齿轮10和弹性件19。

消隙齿轮9和输出齿轮10分别为第一锥齿轮和第二锥齿轮。消隙转轴转动连接于第二中空腔。第一锥齿轮设于消隙转轴上。

输出齿轮10则转动连接于第二中空腔，且啮合于消隙齿轮9，具体可通过设置一转轴实现在第二中空腔的转动连接，也可将输出齿轮10直接设置为齿轮轴的形式。啮合状态下，第一锥齿轮的大端与第二锥齿轮的小端同侧。

弹性件19第一端连接于第二中空腔的内臂面上，第二端贴合于消隙转轴，用于给消隙转轴提供方向为第一端面朝向第二端面的轴向力。

消隙齿轮9和输出齿轮10的齿面为倾斜设置，并由弹性件19推动转轴以使消隙齿轮9的齿面贴紧与输出齿轮10的齿面。在齿轮消隙机构的运转过程中，齿面逐渐磨损，弹性件19的弹力将磨损的消隙齿轮9推向磨损的输出齿轮10，使得消隙齿轮9的齿面和输出齿轮10的齿面始终保持紧贴，实现了自动调节的功能。

进一步地，驱动件4可以是伺服电机，也可以是其他驱动元件，在此不作具体限定。

而设置于驱动件4和齿轮消隙机构之间的传动链则可包括第一齿轮5、第二齿轮6、第三齿轮7、第四齿轮8、传动轴。第一齿轮5设于驱动电机的输出轴上。传动轴则通过设置于传动轴两端的传动轴承转动连接于第二中空腔。第二齿轮6和第三齿轮7依次设于传动轴上，且第二齿轮6与第一齿轮5啮合。第四齿轮8则设于消隙转轴上，且第四齿轮8与第三齿轮7啮合。

具体传动过程为伺服电机的输出轴带动第一齿轮5转动；第一齿轮5带动啮合的第二齿轮6转动；转动的第二齿轮6通过与传动轴的连接带动传动轴和第三齿轮7转动；第三齿轮7则带动啮合第四齿轮8转动，从而通过第四齿轮8与消隙转轴的连接带动消隙齿轮9和与之啮合输出齿轮10转动。

当然，在其他实施例中，在传动比较小的情况下，也可将第四齿轮8去除，直接由传动轴上的第三齿轮7与消隙齿轮9啮合，传动链的设置形式可以是多种多样的，在此不作具体限定。

具体地，第一齿轮5可设置为固定双片消隙齿轮9。固定双片消隙齿轮9包括第一薄片齿轮、第二薄片齿轮、垫片、锁紧件。第一薄片齿轮、垫片、第二薄片齿轮依次贴合设于驱动件4的输出端。锁紧件穿设于第一薄片齿轮和第二薄片齿轮，用于锁紧第一薄片齿轮和第二薄片齿轮的轴向相对位置。在具体实施中，可将伺服电机的输出轴设置为阶梯轴并开设有螺纹孔，第一薄片齿轮、垫片、第二薄片齿轮依次设于输出轴的小径段，且第一薄片齿轮贴合至输出轴的阶梯面；锁紧件为锁紧螺栓，旋进至螺纹孔后锁紧第一薄片齿轮、垫片、第二薄片齿轮之间的相对位置关系。

其中，第一齿轮5、第二齿轮6、第三齿轮7、第四齿轮8、消隙齿轮9和输出齿轮10均可设置为斜齿轮。当所选用的齿轮为斜齿轮时，所对应的轴承则相对应轴承需选用圆锥滚子轴承等可承载轴向力的轴承。

参看图1和图2，在本实施例中，第一侧臂2第二端和第二侧臂3第二端朝向容置空间的面上均开有连接通道，用于使外部动力头伸入并形成两端面稳定转动连接。

第一侧臂2和第二侧臂3分别与外部动力头的连接处至少其中一设置有接头装置，用于密封连接处且可随着外部动力头的转动而转动。

具体地，接头装置可设置在外部动力头与第二侧臂3的连接处，至少包括有连接环13和接头轴承。接头轴承的外圈设于连接处的贯通孔，连接环13连接于接头轴承的内圈并与外部动力头连接。

且接头轴承的内圈可容置驱动和/或信号线走线通路11和气液管路12通过，并且在接头轴承的外圈固定状态下，接头轴承的内圈可随着外部动力头的转动而转动。其密封所述连接处且可随着外部动力头的转动而转动，这种接头装置的设置提升了整个走线串时的稳定性，使得外部动力头的转动时驱动和/或信号线走线和气液管路12的线串不会打结，大大提升稳定性。

气液管路12通过第一中空部，再穿设第二侧臂3的第三中空部，后通过接头轴承的内圈，第二侧臂3的径向宽度可以是根据接头装置的高度来设置。

上述结构设计既实现很好的密封性，第二侧臂3可以通过呈凹状的侧臂本体和第二侧臂3端盖形成第三中空腔，第三中空部直接通过气液管路12线串线，第二侧臂3的径向宽度是根据回转接头的高度来设置，接头轴承设置于第二侧臂3的贯通孔，并由连接环13连接接头轴承内圈和外部动力头，第二侧臂3的径向宽度可容置接头轴承即可，根据其高度来适应性设置其径向宽度即可，使得整体结构设置更为紧凑。

实施例二

本实施例在上述实施例一的基础上对齿轮消隙机构进行进一步描述。

参看图2，在本实施例中，消隙齿轮9和输出齿轮10均为带有一定锥度的锥齿轮。在啮合时，消隙齿轮9的轴线和输出齿轮10的轴线平行，消隙齿轮9的大端与输出齿轮10的小端位于同侧。消隙齿轮9通过弹性件19传递来的弹性力，使得斜向的齿面压紧至输出齿轮10的齿面。而锥齿轮的锥度则可由所需的承载力和压紧力进行计算得出。当然，两个齿轮的轴线并不是一定要垂直，在此不作具体限定。

连接消隙齿轮9的消隙转轴则可为阶梯轴，阶梯轴与消隙齿轮9可以是键连接，也可以是直接做成一体的齿轮轴。

阶梯轴的两端分别设置第一消隙轴承16和第二消隙轴承17。第一消隙轴承16和第二消隙轴承17的内圈分别设于消隙转轴上，第一消隙轴承16和第二消隙轴承17的外圈分别设于第一侧臂2上。具体地，第一消隙轴承16和第二消隙轴承17可为圆柱滚子轴承，以实现阶梯轴与第一侧臂2的转动连接，同时可承载齿轮运转时带来的径向冲击。

弹性件19的设置方式可以是多种的。可设置为弹性元件和耐磨材料部件的组合体，由耐磨材料与消隙转轴的一端连接，弹性件19则位于耐磨材料与第一侧臂2之间提供弹性力。也可设置为弹性件19和推力轴承18的形式，推力轴承18设置在阶梯轴的小径端，同时推力轴承18的内圈侧臂贴合至阶梯轴的阶梯侧面上，弹性件19则设置在推力轴承18的外圈和第一侧臂2的内臂面之间，弹性件19的弹性力通过推力轴承18传递至阶梯轴。

在消隙转轴的两端设置第一消隙轴承16和第二消隙轴承17，以抵消齿轮件啮合带来的径向力，并在弹性件19与消隙转轴之间设置为推力轴承18的第三轴承，一是通过推力轴承18传递弹性力，避免了弹性件19与消隙转轴直接接触导致磨损严重；二是通过第一消隙轴承16和第二消隙轴承17的设置抵消了消隙转轴上的径向力，解决了推力轴承18仅能承载轴向力，无法承载径向力的问题。

弹性件19具体可为碟形弹簧组或线性弹簧或矩形弹簧。在其他实施例中，弹性件19的具体形式可根据所需的弹性力大小进行选择，在此不作具体限定。

还可以在与弹性件19连接的第一侧臂2处设置消隙端盖20，消隙端盖20通过螺纹连接的方式连接在第一侧臂2上，弹性件19则连接在消隙端盖20上。该种设置方式使得弹性件19对阶梯轴的弹性力大小可调，通过旋动螺纹连接的消隙端盖20即可控制弹性件19的形变程度，进而增大或减小弹性件19的弹性力大小。

在实际实施中，消隙齿轮9和输出齿轮10的齿形为直齿或斜齿，具体的形式可根据所需传递的力矩大小等进行确定。

同时，消隙齿轮9的齿厚应大于或小于输出齿轮10的齿厚。两个齿轮的齿厚不一样，在初始时两个齿轮均居中啮合，当磨损时，齿厚较小的齿轮则会相对于齿厚较大的齿轮发生一定程度的轴向位移，齿厚不同则可保证轴向位移后，齿厚较小齿轮的齿面认可完全啮合于齿厚较大的齿轮。当然，齿厚相同也是可以的，只是在磨损后两个齿轮的啮合部分会减小，在磨损严重的情况下，可能会导致齿轮失效。

在本实施例中，第一侧臂2和第二侧臂3均可设置为螺栓连接的壳体与端盖的方式，通过设置密封垫等材料进行密封，使得在安装和检修时，可直接打开第一侧臂2或第二侧臂3对内臂的传动链、齿轮消隙机构等部件进行更换和调试。

实施例三

本实施例对上述实施例一中提及的外部动力头的具体结构以及与摆动驱动装置的连接方式进行具体阐述。

参看图3，外部动力头具体可为动力主轴14，该动力主轴14具体包括壳体1401、前端盖1407、后端盖1408、密封定位套1410、第一主轴轴承部1403、第二主轴轴承部1404、定子组件1406、转子组件1405、刀具座1411。

壳体1401的内部中空，第一端开有用于使主轴1402伸出的开孔，第二端的两侧则设有两个用于与第一侧臂2和第二侧臂3相连接的第一凸件和第二凸件。第一凸件直接伸入第一侧臂2上的贯通孔，并与输出齿轮10连接，该贯通孔处设置密封件21；具体可通过螺栓实现第一凸件与输出齿轮10之间的固定连接。第二凸件则直接与第二侧臂3上的连接环13螺栓连接，同时，第二凸件处开有用于使驱动和/或信号线走线通路11和气液管路12通过的开口。

主轴1402设置在壳体1401的中空腔体内，且第一端伸出于壳体1401的开孔。第一主轴轴承部1403和第二主轴轴承部1404设于所述壳体1401内且分别套设于主轴1402的两端。第一主轴轴承部1403和第二主轴轴承部1404的外圈均设于壳体1401的内臂面上，内圈均与主轴1402连接，使得主轴1402可相对于壳体1401实现转动。

定子组件1406和转子组件1405实际为永磁同步电机。转子组件1405位于壳体1401内，套设并设置于主轴1402上；定子组件1406设于壳体1401内并与转子组件1405相对应，且定子组件1406与转子组件1405之间留有空隙。同时，驱动和/或信号线走线通路11连接至定子组件1406，用于控制定子组件1406。

前端盖1407和后端盖1408分别设于壳体1401的前后两端，用于定位两端的轴承。前端盖1407上开有用于使主轴1402伸出的开孔。

密封定位套1410设置在主轴1402上，并位于前端盖1407处，用于密封主轴1402与前端盖1407之间的空隙。前端盖1407处还设有密封盖1409，用于固定密封定位套1410与前端盖1407之间的相对位置关系。

主轴1402的第一端为锥形，刀具座1411开有与主轴1402相对应的锥孔，并套设于主轴1402的第一端，并由压盖1412盖设于刀具座1411和主轴1402上，压盖1412通过螺栓固定于主轴1402上。刀具座1411上开设有用于与刀具15连接的接口。

进一步地，壳体1401与定子组件1406接触的位置还开设有中空腔，该中空腔与气液管路12连通，气液管路12内的冷却液可通入中空腔对运转状态下的定子组件1406进行冷却。

实施例四

一种加工设备，包括有上述实施例任意一项中的摆动驱动装置。

通过在加工设备中设置用于与外部动力头连接的改动驱动装置，其将分支部设置为连接件1两侧连接第一侧臂2和第二侧臂3，由第一侧臂2和第二侧臂3的第二端形成用于转动连接外部动力头并形成两端面稳定转动连接的容置空间，避免现有技术中只有一端连接导致稳定性不够的缺点，具有更强的稳定性；同时将用于驱动外部动力头转动的驱动部设置为驱动件4带动传动链，由传动链将动力传递至齿轮消隙机构并由齿轮消隙机构输出的设置方式，使得传动过程中产生的精度误差可由设置在最后的齿轮消隙机构进行修正，降低了传动过程带来的误差，提高了传动精度，从而提高了加工设备的整体加工精度。

上面结合附图对本发明的实施方式作了详细说明，但是本发明并不限于上述实施方式。即使对本发明作出各种变化，倘若这些变化属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则仍落入在本发明的保护范围之中。