运送装置以及真空装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及例如运送基板等运送物的运送装置，尤其涉及适于半导体制造装置等中的真空装置中的运送装置的技术。
【背景技术】
[0002]图17以及图18用于说明现有技术的课题。
[0003]以往，作为真空装置，公知有图17(a)所示那样在四边形的运送室的各边具有两个处理室的装置。
[0004]例如图17(a)所示，在该真空处理装置101中，在运送室100周围的边上设有一对处理室102和103、104和105、108和109(附图标记106、107是准备、取出室)。
[0005]另一方面，作为这种运送装置，公知有为了提高基板运送的通过量而具有一对基板载置部121、122的运送装置120。
[0006]但是，在这种现有技术中，例如大多是处理室102、103的间隔、即基板110、111与运送装置120的基板载置部121、122的间隔不相等，有定位作业困难的课题。
[0007]此外，若基板110、111与运送装置120的基板载置部121、122的间隔大，则例如图17(b)所示，不能够将两个基板110、111同时载置在运送装置120的基板载置部121、122上。
[0008]在这种情况下，例如图18(a)、图18(b)所示，也通过使运送装置120回转而将基板载置部121、122倾斜，将两个基板110、111逐个载置在基板载置部121、122上。
[0009]但是，若进行这种作业，则有通过量降低的课题。
[0010]专利文献:日本国特开2013 — 084823号公报。
【发明内容】
[0011]本发明是为了解决这种现有技术的课题而提出的，其目的在于提供一种在能够同时运送一对运送物的运送装置中，使定位作业容易，并且提高基板运送之际的通过量。
[0012]为了实现上述目的的本发明的运送装置具备:第I以及第2伸缩驱动轴，以规定的旋转轴为中心同心状地配置，并设置成能够在水平面内分别独立地旋转，用于驱动第I以及第2运送机构伸缩;第I以及第2回转驱动轴，与前述第I以及第2伸缩驱动轴为同心状地配置，用于使前述第I以及第2运送机构回转；前述第I运送机构被前述第I伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第I运送部沿着运送物运送方向运送，并且前述第2运送机构被前述第2伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第2运送部沿着运送物运送方向运送，前述第I以及第2运送机构具有第I以及第2回转驱动部件，分别被前述第I以及第2回转驱动轴驱动，使该第I以及第2运送机构分别以前述旋转轴为中心回转，前述第I运送机构和前述第2运送机构隔着前述旋转轴配置在前述运送物运送方向的两侧。
[0013]此外，本发明的运送装置中，前述第I以及第2运送机构配置在相同的高度位置。
[0014]此外，本发明的运送装置具有第I运送装置和第2运送装置，前述第I运送装置具备:第I以及第2伸缩驱动轴，以规定的旋转轴为中心同心状地配置，并设置成能够在水平面内分别独立地旋转，用于驱动第I以及第2运送机构伸缩;第I以及第2回转驱动轴，与前述第I以及第2伸缩驱动轴为同心状地配置，用于使前述第I以及第2运送机构回转，前述第I运送机构被前述第I伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第I运送部沿着运送物运送方向运送，并且前述第2运送机构被前述第2伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第2运送部沿着运送物运送方向运送，前述第I以及第2运送机构具有第I以及第2回转驱动部件，分别被前述第I以及第2回转驱动轴驱动，使该第I以及第2运送机构分别以前述旋转轴为中心回转，前述第I运送机构和前述第2运送机构隔着前述旋转轴配置在前述运送物运送方向的两侧，前述第2运送装置具有第3以及第4伸缩驱动轴，与前述旋转轴为中心同心状地配置，并设置成能够在水平面内分别独立地旋转，用于分别驱动与前述第I以及第2运送机构相对应的第3以及第4运送机构伸缩，前述第3以及第4运送机构以相对于前述第I以及第2运送机构不同的高度位置、隔着前述旋转轴配置在前述运送物运送方向的两侧，并且分别被前述第3以及第4伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第3以及第4运送部分别沿着运送物运送方向运送，前述第3以及第4运送机构具有分别与设在前述第I以及第2运送机构上的前述第I以及第2回转驱动部件相连的联杆机构，通过该联杆机构使前述第3以及第4运送机构分别以前述旋转轴为中心回转。
[0015]此外，本发明的运送装置中，前述第I以及第2运送机构和前述第3以及第4运送机构分别配置在相同的高度位置。
[0016]此外，本发明的真空装置具有真空槽和设在前述真空槽内的运送装置，前述运送装置具备:第I以及第2伸缩驱动轴，以规定的旋转轴为中心同心状地配置，并设置成能够在水平面内分别独立地旋转，用于驱动第I以及第2运送机构伸缩;第I以及第2回转驱动轴，与前述第I以及第2伸缩驱动轴为同心状地配置，用于使前述第I以及第2运送机构回转，前述第I运送机构被前述第I伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第I运送部沿着运送物运送方向运送，并且前述第2运送机构被前述第2伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第2运送部沿着运送物运送方向运送，前述第I以及第2运送机构具有第I以及第2回转驱动部件，分别被前述第I以及第2回转驱动轴驱动，使该第I以及第2运送机构分别以前述旋转轴为中心回转，前述第I运送机构和前述第2运送机构隔着前述旋转轴配置在前述运送物运送方向的两侧。
[0017]此外，本发明的真空装置中具有:一对运送物检测传感器，由设在前述真空槽内的多个传感器构成，分别检测由前述第I以及第2运送机构运送的一对运送物;控制部，基于由前述一对运送物检测传感器检测到的结果，将前述第I以及第2回转驱动轴的动作分别控制成前述一对运送物分别配置在一对运送物配置部上。
[0018]在本发明的情况下，由于将用于分别使第I以及第2运送机构回转的第I以及第2回转驱动轴配置成与分别驱动第I以及第2运送机构伸缩的第I以及第2伸缩驱动轴为同心状，通过这些第I以及第2回转驱动轴分别驱动第I以及第2回转驱动部件，使第I以及第2运送机构分别以旋转轴为中心回转，所以能够使隔着旋转轴在运送物运送方向的两侧配置在例如相同的高度位置的第I以及第2运送机构的运送物载置部离开或接近，从而调整其间的间隔。
[0019]其结果，根据本发明，在两个运送物并排配置的情况下，由于能够将第I以及第2运送机构的基板载置部相对于这些运送物或者配置该运送物的部分正确地定位，所以能够容易地进行定位作业，此外，能够提高基板运送之际的通过量。
[0020]此外，作为第I运送装置具有上述的运送装置，作为第2运送装置具有第3以及第4伸缩驱动轴，以旋转轴为中心同心状地配置，并设置成能够在水平面内分别独立地旋转，用于分别驱动与第I以及第2运送机构相对应的第3以及第4运送机构伸缩，第3以及第4运送机构以相对于第I以及第2运送机构不同的高度位置、隔着旋转轴配置在运送物运送方向的两侦U，并且分别被第3以及第4伸缩驱动轴驱动而伸缩，将第3以及第4运送部分别沿着运送物运送方向运送，第3以及第4运送机构具有分别与设在第I以及第2运送机构上的第I以及第2回转驱动部件相连的联杆机构，在通过联杆机构使第3以及第4运送机构分别以旋转轴为中心回转的情况下，能够通过第3以及第4伸缩驱动轴使第3以及第4运送机构伸缩，并且使第3以及第4运送机构的基板载置部离开或接近，从而调整其间的间隔。
[0021]其结果，根据本发明，由于能够通过第I以及第2运送机构、第3以及第4运送机构进行基板的运送，所以能够进一步提高基板运送之际的通过量。
[0022]根据本发明，能够提供一种在能够同时运送一对运送物的运送装置中，使定位作业容易，并且提高基板运送之际的通过量的技术。
【附图说明】
[0023]图1(a)、图1(b)是表示本发明所涉及的运送装置的实施方式的下侧运送装置的俯视图；
图2(a)、图2(b)是表示同一实施方式的上侧运送装置的俯视图；
图3(a)表示同一运送装置的结构，是从运送方向下游一侧观察的附图，图3(b)是表示同一运送装置的结构的俯视图，图3(c)表示同一运送装置的结构，是从运送方向上游一侧观察的附图；
图4是表示下侧运送机构的伸长动作的俯视图；
图5是表示上侧运送机构的伸长动作的俯视图；
图6(a)、图6(b)是表示本实施方式中的上侧运送装置以及下侧运送装置的微小回转动作的说明图(之一)；
图7(a)、图7(b)是表示本实施方式中的上侧运送装置以及下侧运送装置的微小回转动作的说明图(之二)；
图8(a)、图8(b)是表示本实施方式中的上侧运送装置以及下侧运送装置的微小回转动作的说明图(之三)；
图9(a)、图9(b)是表示本实施方式中的上侧运送装置以及下侧运送装置的微小回转动作的说明图(之四)；
图10是表示本发明所涉及的真空装置的实施方式的俯视图(之一)；
图11是表示本发明所涉及的真空装置的实施方式的俯视图(之二)；
图12是表示本发明所涉及的真空装置的实施方式的俯视图(之三)；
图13是表示本发明所涉及的真空装置的其它实施方式的结构的俯视图；
图14是表示本发明所涉及的真空装置的其它实施方式的要部结构的说明图；
图15是表示本发明所涉及的真空装置的其它实施方式的回路系统的结构的框图；
图16(a)?图16(e)是表示本实施方式中的基板的位置检测动作的说明图；
图17(a)、图17(b)是用于说明现有技术的课题的附图(之一)；
图18(a)、图18(b)是用于说明现有技术的课题的附图(之二)。
[0024]附图标记说明
1:运送装置，1A:下侧运送装置(第I运送装置)，1B:上侧运送装置(第2运送装置)，2L:左下侧运送机构(第I运送机构)，2R:右下侧运送机构(第2运送机构)，3a:第I左下侧平行曲柄机构，3b:第2左下侧平行曲柄机构，4a:第I右下侧平行曲柄机构，4b:第2右下侧平行曲柄机构，5a:第I左上侧平行曲柄机构，5b:第2左上侧平行曲柄机构，6a:第I右上侧平行曲柄机构，6b:第2右上侧平行曲柄机构，7L:左上侧运送机构(第3运送机构)，7R:右上侧运送机构(第4运送机构)，10:真空装置，11:第I伸缩驱动轴，12:第2伸缩驱动轴，13:第3伸缩驱动轴，14:第4伸缩驱动轴，15:第I回转驱动轴，16:第2回转驱动轴，20:基板(运送物)，20L、20R:基板配置部(运送物配置部)，31:第I回转驱动部件，31a:连结部件，32:第2回转驱动部件，32&:连结部件，80:运送室(真空槽)，81、82、