一种气缸旋转式挡板结构的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于PVD离子镀膜技术领域，尤其涉及一种气缸旋转式挡板结构。
【背景技术】
[0002]目前，在安装产品进入PVD离子镀膜机的腔室内时，腔体内部会暴露在大气环境下，使得靶材表面会吸附空气中的粉尘，如果不做清洗处理，粉尘等脏物会污染镀膜产品；所以PVD离子镀膜机工作(镀膜)之前，需要清洗干净，其清洗的手段是:将弧源开启几分钟，把表面的赃物蒸发出来，而在清洗这几分钟内，需要设置靶材挡板来挡住赃物，待赃物清洗干净后再打开挡板正式进入镀膜状态。
[0003]如图1和2所示，常规的挡板结构为气缸推拉式挡板结构，该结构设计有两片完全相同的半圆板100，运用气缸400推拉驱动两片半圆板100进行闭合，但是这样的闭合方式不能完全挡住脏物涂覆在产品上，即不能完全防止污染，造成这种结果的原因在于:1)两块挡板完全一样，没有互相嵌合的部分，理论上不容易关严实；2)每一次开挡板、关挡板时，都会伴随固定支点轴200、气缸连接轴300的动作而受到摩擦，尤其在高温状态下磨损更严重，长时间磨损会造成挡板间隙越来越大，越来越难遮挡严实。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于:针对现有技术的不足，而提供一种气缸旋转式挡板结构，该结构设计了相互嵌合的公板和母板，使得关闭严实，另外，该结构不会造成转轴的磨损，能够起到很好的遮挡作用，增长了使用寿命。
[0005]为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案:
[0006]一种气缸旋转式挡板结构，安装于PVD离子镀膜机的腔室侧壁，其包括两个气缸驱动装置、分别与两个所述气缸驱动装置连接的转轴、分别与两个所述转轴转动连接的公板和母板，在两个气缸驱动装置的驱动下，所述公板和所述母板实现相互嵌合或分开。
[0007]作为本实用新型所述的气缸旋转式挡板结构的一种改进，所述气缸驱动装置包括气缸支架、固定于所述气缸支架的气缸、与所述气缸连接的气管、连接于所述气缸输出端的轴套。
[0008]作为本实用新型所述的气缸旋转式挡板结构的一种改进，所述转轴通过所述轴套与所述气缸输出端连接。
[0009]作为本实用新型所述的气缸旋转式挡板结构的一种改进，所述气缸上设置有调速旋钮和角度调节旋钮。
[0010]作为本实用新型所述的气缸旋转式挡板结构的一种改进，所述母板设置有“V”形槽。
[0011]作为本实用新型所述的气缸旋转式挡板结构的一种改进，所述母板和所述公板均设置为半圆形结构。
[0012]本实用新型的有益效果在于:本实用新型提供的挡板结构安装于PVD离子镀膜机的腔室侧壁，其包括两个气缸驱动装置、分别与两个所述气缸驱动装置连接的转轴、分别与两个所述转轴转动连接的公板和母板，在两个气缸驱动装置的驱动下，所述公板和所述母板实现相互嵌合或分开。通过本实用新型相互嵌合的公板和母板，使得关闭严实，另外，该结构不会造成转轴的磨损，能够起到很好的遮挡作用，增长了使用寿命。
【附图说明】
[0013]图1为现有技术的结构示意图之一。
[0014]图2为现有技术的结构示意图之二。
[0015]图3为本实用新型中【具体实施方式】I的结构示意图之一。
[0016]图4为本实用新型中【具体实施方式】I的结构示意图之二。
[0017]图5为图3中A处的放大图。
【具体实施方式】
[0018]下面结合【具体实施方式】和说明书附图，对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。
[0019]如图3~5所示，一种气缸旋转式挡板结构，安装于PVD离子镀膜机的腔室侧壁I，其包括两个气缸驱动装置2、分别与两个气缸驱动装置2连接的转轴3、分别与两个转轴3转动连接的公板4和母板5，公板4和母板5分别位于等离子体源弧6的两侧，等离子体源弧6上面设置有引弧钩7，是弧源的启动装置，公板4和母板5在两个气缸驱动装置2的驱动下，实现相互嵌合或分开，从而促使清洗和镀膜工作的完成。
[0020]优选地，气缸驱动装置2包括气缸支架21、固定于气缸支架21的气缸22、与气缸22连接的气管23、连接于气缸22输出端的轴套24，具体地，转轴3是通过轴套24与气缸22输出端连接，从而实现转轴3的转动。气缸22上设置有调速旋钮25和角度调节旋钮26，调速旋钮25可以调节气量控制，从而控制转轴3的转动速度；角度调节旋钮26用于调节旋转角度。
[0021]优选地，母板5和公板4均设置为半圆形结构，且母板5设置有“V”形槽51，“V”形槽51是为了配合公板4嵌合而设置的，当然也可以设置为其他形状，只需满足与公板4进行紧密配合即可。
[0022]根据上述说明书的揭示和教导，本实用新型所属领域的技术人员还能够对上述实施方式进行变更和修改。因此，本实用新型并不局限于上述的【具体实施方式】，凡是本领域技术人员在本实用新型的基础上所作出的任何显而易见的改进、替换或变型均属于本实用新型的保护范围。此外，尽管本说明书中使用了一些特定的术语，但这些术语只是为了方便说明，并不对本实用新型构成任何限制。
【主权项】
1.一种气缸旋转式挡板结构，安装于PVD离子镀膜机的腔室侧壁，其特征在于:包括两个气缸驱动装置、分别与两个所述气缸驱动装置连接的转轴、分别与两个所述转轴转动连接的公板和母板，在两个气缸驱动装置的驱动下，所述公板和所述母板实现相互嵌合或分开。2.根据权利要求1所述的气缸旋转式挡板结构，其特征在于:所述气缸驱动装置包括气缸支架、固定于所述气缸支架的气缸、与所述气缸连接的气管、连接于所述气缸输出端的轴套。3.根据权利要求2所述的气缸旋转式挡板结构，其特征在于:所述转轴通过所述轴套与所述气缸输出端连接。4.根据权利要求2所述的气缸旋转式挡板结构，其特征在于:所述气缸上设置有调速旋钮和角度调节旋钮。5.根据权利要求1所述的气缸旋转式挡板结构，其特征在于:所述母板设置有“V”形槽。6.根据权利要求1所述的气缸旋转式挡板结构，其特征在于:所述母板和所述公板均设置为半圆形结构。
【专利摘要】本实用新型属于PVD离子镀膜技术领域，尤其涉及一种气缸旋转式挡板结构，安装于PVD离子镀膜机的腔室侧壁，其包括两个气缸驱动装置、分别与两个所述气缸驱动装置连接的转轴、分别与两个所述转轴转动连接的公板和母板，在两个气缸驱动装置的驱动下，所述公板和所述母板实现相互嵌合或分开。通过本实用新型相互嵌合的公板和母板，使得关闭严实，另外，该结构不会造成转轴的磨损，能够起到很好的遮挡作用，增长了使用寿命。
【IPC分类】E05F3/02
【公开号】CN204728875
【申请号】CN201520354508
【发明人】王俊锋, 陈凯
【申请人】东莞市瑞鼎纳米科技有限公司
【公开日】2015年10月28日
【申请日】2015年5月28日