一种基板定位装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及基板加工技术领域，公开一种基板定位装置，包括支撑板以及安装于支撑板的定位模块，支撑板具有支撑面；定位模块包括多个定位机构，其中一部分定位机构形成主动定位模块，另一部分定位机构形成从动定位模块；支撑板上设有直线槽，相互对应的定位机构和直线槽中：定位机构中：第一连接板沿直线槽延伸方向位置可调节地安装于支撑板；第二连接板沿与支撑面垂直的方向滑动地安装于第一连接板；夹持模块沿与直线槽延伸方向滑动地安装于第二连接板；当第二连接板相对于第一连接板、夹持模块相对于第二连接板向朝向基板的方向分别移动到极限位置时，柔性限位件处于定位工位。该装置使用灵活性好，能够对基板进行精确定位调整、且对基板损伤少。
【专利说明】
一种基板定位装置
技术领域
[0001 ]本实用新型涉及基板加工技术领域，尤其涉及一种基板定位装置。
【背景技术】
[0002]在基板加工技术领域，基板的定位装置用于在对基板进行如检测、加工等处理工序之前对基板进行精确定位，以防止在进行后续检测、加工作业时因为基板位置偏差而产生检测、加工位置不准确等状况导致检测、加工精度下降的现象。
[0003]由于检测、加工等设备体积一般较大，导致整体设备的尺寸精度相较于基板的检测加工精度而言较差，因此无法保证同一尺寸的基板在每一台设备上相对于检测、加工部分的位置完全一致，因此，需要夹持定位装置能根据每台设备的不同情况对基板在设备上的相对位置进行定位以实现相对于每台设备精确定位的目的。同时要求在精确定位的过程中，不能对基板产生损伤。
[0004]目前，市场中采用的基板的定位装置主要有以下两种方式，如:
[0005]第一种方式，在定位装置的承载台用于放置基板的位置前后方分别开有一个凹槽，在放置基板的位置左右方分别开有两个凹槽，然后在每一个凹槽内设置一个推块，每一个推块在无杆气缸以及气缸的作用下同时上升，以及前后(左右)移动，从而限制基板前后左右两个方向上的移动，实现对基板的定位;完成对基板的定位后，八个推块分别在无杆气缸以及气缸的作用下同时前后(左右)移动，以及下降，以方便对基板的后续作业;但是，该定位装置不能够对基板夹持定位的实际位置进行微调整，导致该定位装置对基板的使用灵活性较差；
[0006]第二种方式，通过在基板相邻两个侧边设置一对相对于基板移动的第一定位机构，在另外两个侧边设置一对相对于基板固定的第二定位机构，两个第一定位机构通过马达分别朝向靠近(远离)基板的方向移动以夹紧(松开)基板，但是该定位装置始终保持在与基板处于同一平面的位置，将阻碍基板的搬入、移动以及旋转，其使用灵活性也较差。
【实用新型内容】
[0007]提供一种基板定位装置，该基板定位装置的使用灵活性好，能够对基板进行精确定位调整、且减少对基板造成损伤。
[0008]为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案:
[0009]—种基板定位装置，包括支撑板以及安装于所述支撑板的定位模块，所述支撑板具有用于支撑基板的支撑面;所述定位模块包括多个定位机构，其中一部分所述定位机构形成用于对所述基板中相邻的两个侧边形成的一个直角部进行定位的主动定位模块，另一部分所述定位机构形成用于对所述基板的另外两个侧边形成的直角部进行定位的从动定位模块；
[0010]所述支撑板上设有与所述定位机构--对应的直线槽，且每一对相互对应的定位机构和直线槽中:[0011 ]所述直线槽的延伸方向与基板中与所述定位机构对应的侧边垂直;且所述定位机构包括第一连接板、第二连接板、夹持模块、用于驱动所述第二连接板移动的第一驱动装置、用于驱动所述夹持模块移动的第二驱动装置，所述夹持模块设有柔性限位件;所述第一连接板沿所述直线槽延伸方向位置可调节地安装于所述支撑板;所述第二连接板与所述第一连接板之间滑动配合、且滑动方向垂直于所述支撑面，所述第二连接板沿所述支撑面垂直方向位置可调地安装于所述第一驱动装置;所述夹持模块与所述第二连接板之间滑动配合、且滑动平行于所述直线槽延伸方向，所述夹持模块沿所述直线槽延伸方向平行方向位置可调地安装于所述第二驱动装置;其中:
[0012]当所述第二连接板相对于所述第一连接板向朝向基板的方向移动到极限位置时，所述柔性限位件自所述直线槽凸向支撑面一侧；
[0013]当所述第二连接板相对于所述第一连接板、所述夹持模块相对于所述第二连接板向朝向基板的方向分别移动到极限位置时，所述柔性限位件处于定位工位。
[0014]上述基板定位装置中，每一个定位机构在使用时，首先，通过第一驱动装置驱动第二连接板相对于第一连接板沿与支撑面垂直的方向朝向基板移动，第二连接板带动夹持模块运动，当第二连接板相对于第一连接板移动到极限位置时，柔性限位件穿过直线槽以高于支撑面，然后，第二驱动装置驱动夹持模块沿与直线槽延伸方向平行的方向朝向基板移动，进而带动柔性限位件向其对应的基板的侧边方向运动，当夹持模块相对于第二连接板移动到极限位置时，柔性限位件处于定位工位，定位机构的定位完成;在使用上述基板定位装置对基板进行定位时，首先，主动定位模块的各个定位机构在其第一驱动装置以及第二驱动装置的依次作用下，柔性限位件到达定位工位，然后从动定位模块在其第一驱动装置的驱动下，柔性限位件穿过直线槽以高于支撑面，在其第二驱动装置的驱动下，柔性限位件推动基板朝向主动定位模块方向移动，直至从动定位模块与主动定位模块围成设定的定位区间，进而将基板定位在定位区间内，基板定位完成。
[0015]在预放入的基板的尺寸发生变化时，可以对定位机构在支撑板上的安装位置进行微调整，具体操作如下:沿直线槽的延伸方向调节第一连接板在支撑板的连接位置，进而对柔性限位件处于定位工位时沿直线槽的位置进行粗调整，然后，沿直线槽延伸方向平行方向调节夹持模块相对于第二驱动装置的位置，对柔性限位件沿直线槽的位置进行微调;并且，沿支撑面垂直的方向，可以通过调节第二连接板相对于第一驱动装置在垂直于支撑面方向的位置对柔性限位件在垂直于支撑面方向的高度进行微调，以确保在第二连接板相对于第一连接板向朝向基板的方向移动到极限位置时，柔性限位件的定位工位与基板可以恰好在同一水平面。
[0016]因此，通过对定位机构在支撑板上的安装位置进行微调整，实现对各定位机构均处于定位工位时各柔性限位件所围成的定位区间的大小及位置进行调整，以适应不同尺寸的基板，同时能够通过上述调节对同一基板的不同定位位置实现调整;在定位完成后，每个定位机构的第二驱动装置驱动夹持模块沿着背离基板的方向运动，然后，第一驱动装置驱动夹持模块沿着垂直于支撑面的方向滑动，柔性限位件缩回到直线槽背离支撑面的一侧，从而不会对基板的搬入、移动以及旋转等后续处理工序造成影响，定位机构的使用灵活性好，同时柔性限位件保证在定位时减少对基板的损伤。
[0017]因此，上述基板定位装置的使用灵活性好，能够对基板进行精确定位调整、且减少对基板造成损伤。
[0018]优选地，所述主动定位模块包括两个定位机构组，且所述从动定位模块包括两个定位机构组;每一个定位机构组用于对基板的一个侧边进行定位，且每一个定位机构组包括至少一个定位机构。
[0019]优选地，每一个定位机构组中包括两个定位机构。
[0020]优选地，所述夹持模块包括:
[0021]沿与所述直线槽延伸方向平行的方向滑动地安装于所述第二连接板的第三连接板；
[0022]连接杆，所述连接杆的一端固定于所述第三连接板，且另一端与柔性限位件连接。
[0023]优选地，所述连接杆的轴心线与所述支撑面垂直，且所述柔性限位件为同轴设置于所述连接杆上的滚轮。
[0024]优选地，所述滚轮由聚醚醚酮Peek材料制成。
[0025]优选地，所述滚轮安装于所述连接杆、且所述滚轮可绕自身轴心线旋转。
[0026]优选地，所述滚轮上设有与所述基板配合的限位槽。
[0027]优选地，所述第一驱动装置为气动滑台，所述气动滑台的工作台与所述第二连接板固定连接，且所述气动滑台的气缸与所述第一连接板固定连接;和/或，所述第二驱动装置为气动滑台，所述气动滑台的工作台与所述第三连接板固定连接，且所述气动滑台的气缸与所述第二连接板固定连接。
[0028]优选地，所述第一连接板通过调节螺钉安装在所述支撑板的直线槽内；和/或，所述第二连接板通过第二调节螺钉安装在所述第一驱动装置;和/或，所述夹持模块通过第三调节螺钉安装在所述第二驱动装置。
【附图说明】
[0029]图1为本实用新型提供的一种基板定位装置的结构示意图；
[0030]图2为本实用新型提供的一种基板定位装置中定位机构的结构示意图；
[0031]图3为本实用新型提供的一种基板定位装置中定位机构在未夹持基板时的状态示意图；
[0032]图4为本实用新型提供的一种基板定位装置中定位机构在夹持基板时的状态示意图。
【具体实施方式】
[0033]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0034]如图1、图2、图3以及图4所示，一种基板2定位装置，包括支撑板I以及安装于支撑板I的定位模块，支撑板I具有用于支撑基板2的支撑面;定位模块包括多个定位机构3，其中一部分定位机构3形成用于对基板2中相邻的两个侧边形成的一个直角部进行定位的主动定位模块，另一部分定位机构3形成用于对基板2的另外两个侧边形成的直角部进行定位的从动定位模块；
[0035]支撑板I上设有与定位机构3—一对应的直线槽，且每一对相互对应的定位机构3和直线槽中:
[0036]直线槽的延伸方向与基板2中与定位机构3对应的侧边垂直;且定位机构3包括第一连接板301、第二连接板303、夹持模块305、用于驱动第二连接板303移动的第一驱动装置302、用于驱动夹持模块305移动的第二驱动装置304，夹持模块305设有柔性限位件3051;第一连接板301沿直线槽延伸方向位置可调节地安装于支撑板I;第二连接板303与第一连接板301之间滑动配合、且滑动方向垂直于支撑面，第二连接板303沿支撑面垂直方向位置可调地安装于第一驱动装置302;夹持模块305与第二连接板303之间滑动配合、且滑动平行于直线槽延伸方向，夹持模块305沿直线槽延伸方向平行方向位置可调地安装于第二驱动装置304;其中:
[0037]当第二连接板303相对于第一连接板301向朝向基板2的方向移动到极限位置时，柔性限位件3051自直线槽凸向支撑面一侧；
[0038]当第二连接板303相对于第一连接板301、夹持模块305相对于第二连接板303向朝向基板2的方向分别移动到极限位置时，柔性限位件3051处于定位工位。
[0039]上述基板2定位装置中，每一个定位机构3在使用时，首先，通过第一驱动装置302驱动第二连接板303相对于第一连接板301沿与支撑面垂直的方向朝向基板2移动，第二连接板303带动夹持模块305运动，当第二连接板303相对于第一连接板301移动到极限位置时，柔性限位件3051穿过直线槽以高于支撑面，然后，第二驱动装置304驱动夹持模块305沿与直线槽延伸方向平行的方向朝向基板2移动，进而带动柔性限位件3051向其对应的基板2的侧边方向运动，当夹持模块305相对于第二连接板303移动到极限位置时，柔性限位件3051处于定位工位，定位机构3的定位完成；
[0040]在使用上述基板2定位装置对基板2进行定位时，首先，主动定位模块的各个定位机构3在其第一驱动装置302以及第二驱动装置304的依次作用下，柔性限位件3051到达定位工位，然后从动定位模块在其第一驱动装置302的驱动下，柔性限位件3051穿过直线槽以高于支撑面，在其第二驱动装置304的驱动下，柔性限位件3051推动基板2朝向主动定位模块方向移动，直至从动定位模块与主动定位模块围成设定的定位区间，进而将基板2定位在定位区间内，基板2定位完成。
[0041]在预放入的基板2的尺寸发生变化时，可以对定位机构3在支撑板I上的安装位置进行微调整，具体操作如下:沿直线槽的延伸方向调节第一连接板301在支撑板I的连接位置，进而对柔性限位件3051处于定位工位时的位置沿直线槽的位置进行粗调整，然后，沿直线槽延伸方向平行方向调节夹持模块305相对于第二驱动装置304的位置，对柔性限位件3051沿直线槽的位置进行微调；并且，沿支撑面垂直的方向，可以通过调节第二连接板303相对第一驱动装置302在垂直于支撑面方向的位置对柔性限位件3051在垂直于支撑面方向的高度进行微调，以确保在第二连接板303相对于第一连接板301向朝向基板2移动到极限位置时，柔性限位件3051的定位工位与基板2可以恰好在同一水平面。
[0042]因此，通过对定位机构3在支撑板I上的安装位置进行微调整，实现对各定位机构3均处于定位工位时各柔性限位件3051所围成的定位区间的大小及位置进行调整，以适应不同尺寸的基板2，同时能够通过上述调节对同一基板2的不同定位位置实现调整;在定位完成后，每个定位机构3的第二驱动装置304驱动夹持模块305沿着背离基板2的方向运动，然后，第一驱动装置302驱动夹持模块305沿着垂直于支撑面的方向滑动，使柔性限位件3051缩回到直线槽背离支撑面的一侧，从而不会对基板2的搬入、移动以及旋转等后续处理工序造成影响，定位机构3的使用灵活性好，同时柔性限位件3051保证在定位时减少对基板2的损伤。
[0043]因此，上述基板2定位装置的使用灵活性好，能够对基板2进行精确定位调整、且减少对基板2造成损伤。
[0044]—种优选实施方式中，主动定位模块包括两个定位机构组，且从动定位模块包括两个定位机构组;每一个定位机构组用于对基板2的一个侧边进行定位，且每一个定位机构组包括至少一个定位机构3。在基板2的夹持定位中，通过主动定位模块先作用，从动定位模块后作用，共同完成对基板2的夹持定位。具体地，每一个定位机构组中包括两个定位机构3，如图1所示，主动定位模块的一个定位机构组包括定位机构32和定位机构33，另一个定位机构组包括定位机构31和定位机构38;从动定位模块的一个定位机构组包括定位机构34和定位机构35，另一个定位机构组包括定位机构36和定位机构37 ；通过4组定位机构3对基板2进行夹持定位，以实现对基板2的平稳夹持定位的要求，通过基板2在两个方向上的夹持定位，确保定位位置的准确性，以避免偶然误差导致的偏移。
[0045]—种优选实施方式中，夹持模块305包括:
[0046]沿与直线槽延伸方向平行的方向滑动地安装于第二连接板303的第三连接板3053；
[0047]连接杆3052，连接杆3052的一端固定于第三连接板3053，且另一端与柔性限位件3051连接。
[0048]当第一驱动装置302驱动第二连接板303相对于第一连接板301沿与支撑面垂直的方向朝着基板2移动时，第二连接板303带动第三连接板3053运动，第三连接板3053带动连接杆3052运动，进而带动柔性限位件3051朝着基板运动，当第二连接板303相对于第一连接板301移动到极限位置时，柔性限位件3051自直线槽凸向支撑面一侧；当第二驱动装置304驱动夹持模块305沿与直线槽延伸方向平行的方向朝着基板2移动时，第三连接板3053沿与直线槽延伸方向平行的方向朝着基板2移动带动连接杆3052运动，进而带动柔性限位件3051朝着基板2运动，当第三连接板3053相对于第二连接板303朝向基板2的方向移动到极限位置时，柔性限位件3051处于定位工位。
[0049]—种优选实施方式中，如图2以及图4所示，连接杆3052的轴心线与支撑面垂直，且柔性限位件3051为同轴设置于连接杆3052上的滚轮。通过滚轮与基板2边缘的滚动摩擦，以解决基板2定位时对其产生的磨损问题。具体地，滚轮由聚醚醚酮Peek制成，作为一种特种工程塑料，耐磨损、抗静电、绝缘性能好，能够减少在定位夹持中柔性限位件3051对基板2的损伤。
[0050]一种优选实施方式中，滚轮安装于连接杆3052、且滚轮可绕自身轴心线旋转，当主动定位模块的柔性限位件3051处于定位工位时，从动定位模块的柔性限位件3051在其第二驱动装置304作用下推动基板2靠近主动定位模块直至到达定位夹持状态，此时，滚轮绕连接杆3052的轴心线旋转，使基板2处于适当的定位夹持位置，减少对基板2的磨损。
[0051]具体地，滚轮上设有与基板2配合的限位槽，滚轮在定位夹持时，基板2的边缘位于限位槽内，从而保证能够被平稳夹持定位，减少出现基板2滑出或者破损的情况。
[0052]一种优选实施方式中，第一驱动装置302为气动滑台，气动滑台的工作台与第二连接板303固定连接，且气动滑台的气缸与第一连接板301固定连接;和/或，第二驱动装置304为气动滑台，气动滑台的工作台与第三连接板3053固定连接，且气动滑台的气缸与第二连接板303固定连接。在第一驱动装置302中，气缸推动滑轨移动，滑轨带动工作台运动，从而带动第二连接板303运动，因此，第一驱动装置302为气动滑台时能够驱动第二连接板303相对于第一连接板301移动；在第二驱动装置304中，气缸推动滑轨移动，滑轨带动工作台运动，从而带动第三连接板3053运动，因此，第二驱动装置304为气动滑台时能够驱动第三连接板3053相对于第二连接板303移动;相较于【背景技术】中的电机驱动的刚性力，使用气动滑台产生的柔性力对基板2进行夹持定位，以减少对基板2的损伤。
[0053]一种优选实施方式中，第一连接板301通过调节螺钉安装在支撑板I的直线槽内；和/或，第二连接板303通过第二调节螺钉安装在第一驱动装置302;和/或，夹持模块305通过第三调节螺钉安装在第二驱动装置304，调整调节螺钉与直线槽的相对位置、第二连接板303与第一驱动装置302的相对位置以及夹持模块305与第二驱动装置304的相对位置以实现对基板2夹持定位位置的微调整，进而适应不同尺寸的基板2、以及对同一基板2不同定位位置的定位，通过调节螺钉进行调整操作简单，易于实现。
[0054]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种基板定位装置，包括支撑板以及安装于所述支撑板的定位模块，所述支撑板具有用于支撑基板的支撑面;其特征在于，所述定位模块包括多个定位机构，其中一部分所述定位机构形成用于对所述基板中相邻的两个侧边形成的一个直角部进行定位的主动定位模块，另一部分所述定位机构形成用于对所述基板的另外两个侧边形成的直角部进行定位的从动定位模块； 所述支撑板上设有与所述定位机构--对应的直线槽，且每一对相互对应的定位机构和直线槽中: 所述直线槽的延伸方向与基板中与所述定位机构对应的侧边垂直;且所述定位机构包括第一连接板、第二连接板、夹持模块、用于驱动所述第二连接板移动的第一驱动装置、用于驱动所述夹持模块移动的第二驱动装置，所述夹持模块设有柔性限位件;所述第一连接板沿所述直线槽延伸方向位置可调节地安装于所述支撑板;所述第二连接板与所述第一连接板之间滑动配合、且滑动方向垂直于所述支撑面，所述第二连接板沿所述支撑面垂直方向位置可调地安装于所述第一驱动装置;所述夹持模块与所述第二连接板之间滑动配合、且滑动平行于所述直线槽延伸方向，所述夹持模块沿所述直线槽延伸方向平行方向位置可调地安装于所述第二驱动装置;其中: 当所述第二连接板相对于所述第一连接板向朝向基板的方向移动到极限位置时，所述柔性限位件自所述直线槽凸向支撑面一侧； 当所述第二连接板相对于所述第一连接板、所述夹持模块相对于所述第二连接板向朝向基板的方向分别移动到极限位置时，所述柔性限位件处于定位工位。2.根据权利要求1所述的基板定位装置，其特征在于，所述主动定位模块包括两个定位机构组，且所述从动定位模块包括两个定位机构组;每一个定位机构组用于对基板的一个侧边进行定位，且每一个定位机构组包括至少一个定位机构。3.根据权利要求2所述的基板定位装置，其特征在于，每一个定位机构组中包括两个定位机构。4.根据权利要求1所述的基板定位装置，其特征在于，所述夹持模块包括: 沿与所述直线槽延伸方向平行的方向滑动地安装于所述第二连接板的第三连接板； 连接杆，所述连接杆的一端固定于所述第三连接板，且另一端与柔性限位件连接。5.根据权利要求4所述的基板定位装置，其特征在于，所述连接杆的轴心线与所述支撑面垂直，且所述柔性限位件为同轴设置于所述连接杆上的滚轮。6.根据权利要求5所述的基板定位装置，其特征在于，所述滚轮由聚醚醚酮Peek材料制成。7.根据权利要求5所述的基板定位装置，其特征在于，所述滚轮安装于所述连接杆、且所述滚轮可绕自身轴心线旋转。8.根据权利要求7所述的基板定位装置，其特征在于，所述滚轮上设有与所述基板配合的限位槽。9.根据权利要求7所述的基板定位装置，其特征在于，所述第一驱动装置为气动滑台，所述气动滑台的工作台与所述第二连接板固定连接，且所述气动滑台的气缸与所述第一连接板固定连接;和/或，所述第二驱动装置为气动滑台，所述气动滑台的工作台与所述第三连接板固定连接，且所述气动滑台的气缸与所述第二连接板固定连接。10.根据权利要求1所述的基板定位装置，其特征在于，所述第一连接板通过第一调节螺钉安装在所述支撑板的直线槽内；和/或，所述第二连接板通过第二调节螺钉安装在所述第一驱动装置;和/或，所述夹持模块通过第三调节螺钉安装在所述第二驱动装置。
【文档编号】B25B11/00GK205415394SQ201521046175
【公开日】2016年8月3日
【申请日】2015年12月11日
【发明人】汪承坤, 琚金星, 沈洪星
【申请人】合肥欣奕华智能机器有限公司