液体喷射头的制造方法、液体喷射头及液体喷射装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及液体喷射头的制造方法、液体喷射头及液体喷射装置。
【背景技术】
[0002]以往，作为向被记录介质吐出液滴状的墨(以下，简称为墨滴。)从而记载图像、字符的装置，存在着具备从多个喷嘴孔向被记录介质吐出墨滴的喷墨头(液体喷射头)的喷墨打印机(液体喷射装置)。
[0003]上述的喷墨头具备头片。例如，如下述专利文献I所示的头片，具备:由玻璃等构成的底板、以及在底板上排列的由压电材料构成的多个隔壁，并且在各隔壁间划分容纳墨的通道。在隔壁的侧面形成驱动电极，并与在底板上形成的引出电极电连接。而且，在引出电极的相对隔壁的外侧处连接柔性基板。
[0004]依据该结构，在经由柔性基板及引出电极向驱动电极施加电压时，由于隔壁变形，通道内的压力增高，在通道内容纳的墨通过喷嘴孔吐出。
[0005]另外，最近，为了提高记录在被记录介质的字符、图像的密度，提出增大喷嘴孔的数量的各种技术。例如，在下述专利文献I中，研宄了将第I头片及第2头片的底板彼此接合，谋求高密度记录的结构。
[0006]专利文献1:日本特开2001 - 341298号公报。
【发明内容】
[0007]然而，在上述的专利文献I的结构中，在各头片的底板上形成引出电极，所以需要分别将第I头片的引出电极及第2头片的引出电极连接至柔性印刷基板。因此，存在着不仅部件件数增加，而且与结构复杂化相关的担忧。
[0008]另外，如专利文献I的结构那样，在将墨容纳于各通道内、从各通道依次吐出墨的所谓的3循环方式的喷墨头中，在使用水性墨等具有导电性的墨时，各驱动电极间经由墨而短路。因此，在专利文献I的结构中，不能够应对多样的墨，在提高便利性这方面存在改善的余地。
[0009]本发明考虑这样的情况而作成，其目的在于，提供不仅能够谋求部件件数的缩减及结构的简化，而且能够谋求高密度记录的液体喷射头的制造方法、液体喷射头及液体喷射装置。
[0010]为了解决上述课题，本发明提供以下方案。
[0011]本发明所涉及的液体喷射头的制造方法的特征在于，具有:贯通孔形成工序，在底板形成贯通孔；致动部配设工序，在所述底板的厚度方向上的两侧，在避开所述贯通孔的位置分别配设喷射液体的第I致动部及第2致动部；以及镀敷工序，对所述底板、所述第I致动部及所述第2致动部进行镀敷处理，形成驱动所述第I致动部的第I电极及驱动所述第2致动部的第2电极，其中，所述贯通孔形成工序具有:穿孔工序，在所述底板形成所述贯通孔；以及处理工序，对在所述穿孔工序中形成的所述贯通孔的内表面进行粗糙面化，其中，在所述镀敷工序中，将所述第2电极通过所述贯通孔迂回直到所述底板中的所述第I致动部侧的主面。
[0012]依据该结构，由于第2电极通过贯通孔而迂回到底板的第I致动部侧，所以仅通过仅在底板的第I致动部侧连接柔性印刷基板等外部布线，就能够确保各致动部与外部布线的电导通。因此，相对于现有的各致动部，与将不同的外部布线分别与底板的两主面连接的结构相比，不仅能够谋求部件件数的缩减及结构的简化，而且能够实现高密度记录。
[0013]特别地，依据本发明的结构，在贯通孔形成工序中，通过对贯通孔的内表面进行粗糙面化，能够使贯通孔的内表面具有固着效果(anchor effect)。由此，在镀敷工序中，能够在第I电极与包含贯通孔的内表面的第2电极成批形成镀敷覆膜。因此，能够谋求制造工序的效率化、简化。
[0014]另外，上述本发明所涉及的液体喷射头的制造方法中，也可以是在所述贯通孔形成工序中、所述穿孔工序及所述处理工序成批进行。
[0015]依据该结构，能够在形成贯通孔的同时对贯通孔的内表面进行粗糙面化，所以能够谋求制造工序的效率化。
[0016]另外，上述本发明所涉及的液体喷射头的制造方法中，也可以是，所述穿孔工序使用喷砂法。
[0017]依据该结构，通过使用喷砂法，能够更简单地进行贯通孔的内表面的粗糙面化。由此，能够谋求制造工序的进一步效率化。
[0018]另外，上述本发明所涉及的液体喷射头的制造方法中，也可以是，所述底板的原料是玻璃材料。
[0019]依据该结构，由于底板由玻璃材料构成，所以能够将表面粗糙度抑制得较小。在该情况下，在例如镀敷工序中，能够仅使底板之中的、在处理工序中被粗糙面化的部分选择性地具有固着效果。S卩，能够设定为:底板之中、仅在粗糙面化的部分析出镀敷覆膜，在粗糙面化的部分以外的部分不析出镀敷覆膜。其结果是，不需要镀敷覆膜形成后的构图工序，能够谋求制造工序的效率化，并且能够谋求低成本化。
[0020]另外，在上述本发明所涉及的液体喷射头中，其特征在于，使用上述本发明的液体喷射头的制造方法来制造。
[0021]依据该结构，通过使用上述本发明的液体喷射头的制造方法来制造，所以不仅能够谋求部件件数的缩减及结构的简化，而且能够提供高密度记录的液体喷射头。
[0022]在上述本发明所涉及的液体喷射装置中，其特征在于，具备:上述本发明的液体喷射头；以及使所述液体喷射头与被记录介质相对移动的移动机构。
[0023]依据该结构，由于具备上述本发明的液体喷射头，所以能够应对高密度记录，并且能够提供可靠性优异的液体喷射装置。
[0024]依据本发明，不仅能够谋求部件件数的缩减及结构的简化，而且能够谋求高密度记录。
【附图说明】
[0025]图1是实施方式中的喷墨打印机的立体图。
[0026]图2是喷墨头的立体图。
[0027]图3是从Z方向的一侧观察吐出部的分解立体图。
[0028]图4是从第I头片侧观察吐出部的立体图。
[0029]图5是从第2头片侧观察吐出部的立体图。
[0030]图6是相当于图3的A — A线的截面图。
[0031]图7是相当于图4的B— B线的截面图。
[0032]图8是用于说明喷墨头的制造方法的流程图。
[0033]图9是用于说明喷墨头的制造方法的说明图(截面图)。
[0034]图10是用于说明喷墨头的制造方法的说明图(截面图)。
[0035]图11是用于说明喷墨头的制造方法的说明图(截面图)，(a)示出第I头片侧，(b)示出第2头片侧。
[0036]图12是用于说明喷墨头的制造方法的说明图(截面图)，(a)示出第I头片侧，(b)示出第2头片侧。
[0037]图13是用于说明喷墨头的制造方法的说明图(截面图)，(a)示出第I头片侧，(b)示出第2头片侧。
[0038]图14是用于说明喷墨头的制造方法的说明图(截面图)，(a)示出第I头片侧，(b)示出第2头片侧。
[0039]图15是用于说明喷墨头的制造方法的说明图(截面图)。
[0040]图16是用于说明喷墨头的制造方法的说明图(截面图)。
[0041]图17是用于说明喷墨头的制造方法的说明图(截面图)。
[0042]图18是用于说明喷墨头的制造方法的说明图(立体图)，(a)示出第I头片侧，(b)示出第2头片侧。
[0043]图19是用于说明喷墨头的制造方法的说明图(立体图)，(a)示出第I头片侧，(b)示出第2头片侧。
[0044]图20是用于说明喷墨头的制造方法的说明图(立体图)，(a)示出第I头片侧，(b)示出第2头片侧。
[0045]图21是示出吐出部的其他结构的从第I头片侧观察的平面图。
【具体实施方式】
[0046]以下，参照附图，对本发明所涉及的实施方式进行说明。在以下的实施方式中，作为具备本发明的液体喷射头的液体喷射装置的一个例子，举出利用墨(液体)向记录纸等被记录介质进行记录的喷墨打印机(以下，简称为打印机)为例而进行说明。此外，在以下的说明所使用的附图中，为了设为能识别各部件的大小，对各部件的比例尺进行了适当变更。
[0047][打印机]
图1是打印机I的立体图。
[0048]如图1所示，打印机I具备:输送纸等被记录介质S的一对输送机构2、3 (移动机构)；向被记录介质S喷射墨滴的喷墨头(液体喷射头)4 ;向喷墨头4供给墨的墨供给单元5 ；以及使喷墨头4在与被记录介质S的输送方向(主扫掠方向)正交的方向(副扫掠方向)进行扫掠的扫掠单元6。
[0049]此外，在以下的说明中，以副扫掠方向为X方向，以主扫掠方向为Y方向，而且以与X方向及Y方向正交的方向为Z方向进行说明。在此，打印机I按照以X方向、Y方向为水平方向、且以Z方向为上下方向的方式进行承载并使用。
[0050]一对输送机构2、3具备:分别沿X方向延伸的栅格辊2a、3a ;分别与栅格辊2a、3a平行地延伸的压紧辊2b、3b ;以及使栅格辊2a、3a绕其轴旋转地进行旋转动作的马达等未图示的驱动机构。
[0051]墨供给单兀5具备:容纳墨的墨鍾10、以及连接墨鍾10和喂'墨头4的墨管道11。设置多个墨罐10，例如，沿着Y方向排列有容纳黄色、品红、青色、黑色这4种墨的墨罐10Y、10M、10C、10B。墨管道11例如是具有挠性的柔性软管，能跟随支撑喷墨头4的滑架16的动作(移动)。此外，墨罐10并不限于容纳黄色、品红、青色、黑色这4种墨的墨罐10Y、10M、10C、10B，也可以具备容纳更多颜色的墨的墨鍾。
[0052]扫掠单元6具备:沿X方向延伸、并且在Y方向隔开间隔而互相平行地配置的一对导轨14、15 ;以能沿着这一对导轨14、15移动的方式配置的滑架16 ;以及使该滑架16在X方向移动的驱动机构17。
[0053]驱动机构17配置于一对导轨14、15之间，具备:在X方向隔开间隔而配置的一对滑轮18 ;在这一对滑轮18之间缠绕并在X方向移动的无接头带19 ;以及使一个滑轮18旋转驱动的驱动马达20。
[0054]滑架16与无接头带19连结，能够随着因一个滑轮18的旋转驱动而导致的无接头带19的移动而在X方向移动。另外，在滑架16中，以在X方向并列