光学元件的制造方法

专利名称：光学元件的制造方法
技术领域：
本发明涉及光学元件的制造方法，其中，通过多张透明平行平板的反复叠 层及切断，制造由多个透明介质贴合而成的光学元件。
背景技术：
作为用于光拾取装置中的棱镜的制造方法，以往已经有如专利文献l中所
公开的制造方法。引用本发明制造方法的制造工序示意图2 ( a ) 图2 ( e )， 对这种以往的制造方法作简单说明，首先如图2 (a)所示，用光学用粘结剂 (例如紫外线固化型粘结剂)阶梯形地叠层多张被实施了分光用光学薄膜的平 行平板ll，形成叠层体l。然后用45度角度切断叠层体1。如图2 (b)所示， 形成多个叠层分割体12。
接下去如图2 (c)所示，再次向上堆积多个叠层分割体12，通过临时接 合或辅助板等固定，在垂直方向上切断堆起的多个叠层分割体12。然后脱开临 时接合部，则如图2 (d)所示，形成由2个透明介质贴合而成的多个棒形体 13。最后如图2 (e)所示，用垂直于细长方向的面切断各棒形体13，得到一 个个立方形的棱镜14。其中，临时接合部的脱开可以在其他步骤(例如图2(e) 的切断之后)进行。
这种制造方法除了可以使用较廉价的板状玻璃(平行平板ll)之外，还可 以通过一连串的加工工序得到大量的棱镜14。也就是说，能够用低成本大量生 产棱镜14。
专利文献h特开2000 — 143264号公报

发明内容
发明欲解决的课题
但是，通常各平行平板ll的厚度有参差，专利文献l的制造方法中，图2 (a)所示的工序中在叠层各平行平板ll时丝毫没有考虑厚度参差。另外图2 (c)所示的工序中，是用例如金属丝锯切断堆起的多个叠层分割体12，金属丝锯的金属丝间距是固定的不能简单改变和调整。因此，如图2 ( a )所示叠 层多个平行平板ll时各平行平板ll的厚度有偏向的话，则在如图2 ( c )所示 的切断时，2个透明介质(平行平板ll、 11)接合面21的位置在金属丝锯两端
出现偏离。
例如，各平行平板ll厚度偏薄的话，把金属丝对准最右端的切断位置以所 定间距切断叠层分割体12时，则如图2 3 ( a )所示的最右端的棱镜14和如图 2 3 ( b )所示的最左端的棱镜14中，各接合面21的位置如图2 3 (a)和图 2 3(b)所示出现偏离。相反，各平行平板ll厚度偏厚的话，把金属丝对准 最右端的切断位置以所定间距切断叠层分割体12时，则如图2 3(c)所示的 最右端的棱镜14和如图2 3 ( c )所示的最左端的棱镜14中，各接合面21的位 置如图2 3 ( c )和图2 3 ( c )所示出现偏离。结果，把棱镜14应用到光拾 取装置中时则如图24所示，光通过棱镜14发生位移，即入射到棱镜14入射面中 心的入射光在接合面21上形成的光学薄膜反射，射出时出射光的位置偏离出射 面中心。
也就是说，上述专利文献l中的制造方法，因为叠层切断各平行平板ll时 没有考虑厚度参差，所以厚度厚的厚薄的薄，各平行平板ll可能厚度不均匀地 被叠层、切断。这样，最终得到的各棱镜14中接合面的位置出现偏离，难以在 各棱镜14中确保光位移精度。
本发明为了解决上述问题点，其目的在于提供一种光学元件的制造方法， 其中在叠起厚度参差的各平行平板时，通过对叠层方式化一些功夫，抑制最终 得到的光学元件的接合面的位置偏离，能够确保各光学元件中的光位移精度。
用来解决课题的手段
本发明的光学元件的制造方法包括下述各工序第1工序，以m为2以上的 自然数、n为m以下的自然数，通过粘结剂叠层m张由透明介质构成的平行平板， 形成叠层体；第2工序，以所定的倾斜角度和所定的间距切断叠层体，形成多 个叠层分割体；第3工序，堆起多个叠层分割体以所定的间距进行切断，形成 由透明介质贴合而成的多个光学元件；光学元件制造方法的特征在于，
在相应所述平行平板的厚度与基准值之差把多个所述平行平板分为多个 级别之前工序之后，选择属于厚度在所述基准值以上或大于所述基准值之级别 的所述平行平板和属于厚度不到所述基准值或所述基准值以下之级别的所述 平行平板，使所述第l工序中不管n在所定区间内取什么值，在第3工序的叠层 分割体切断面的垂直方向上，从切断基准位置起的平行平板n张分的长度，与从所述切断基准位置到第n个切断位置的距离之差，都在所定范围内。本发明光学元件的制造方法中，各级别被对应上整数值，该整数值是从各 级别所容许的平行平板厚度的最大值或最小值的大的一方起依次单调减少或 增加的整数值，且上述整数值在厚度在基准值以上或大于基准值的平行平板所 属的级别、与厚度不到基准值或在基准值以下的平行平板所属的级别是符号相 反时，可以从各级别选择平行平板进行叠层，使得在上述第l工序中被叠层的 各平行平板所对应的整数值的所定区间内的累积值，不管取到哪个平行平板为 止的累积值，都在所定范围内。本发明光学元件的制造方法中，各级别被对应上整数值，该整数值是从各 级别所容许的平行平板厚度的最大值或最小值的大的一方起依次单调减少或 增加的整数值，且上述整数值在厚度在基准值以上或大于基准值的平行平板所 属的级别、与厚度不到基准值或在基准值以下的平行平板所属的级别是符号相 反时，可以从各级别选择平行平板进行叠层，使得在上述第l工序中被连续叠 层的所定张数的平行平板所属的各级别所对应的整数值的平均值，在被连续叠 层的所定张数的平行平板的所定区间内的各个不同组合，都在所定范围内。本发明光学元件的制造方法中，可以如下进行整数值的对应在厚度在基 准值以上或大于基准值的平行平板所属的多个级别中，被容许的平行平板的厚 度的最小值为最小的级别被对应上第l整数值(例如l)，而其他级别是从各级 别被容许的平行平板的厚度的最小值的小的一方起依次，分别被对应上与第l 整数值符号相同且其绝对值是从第l整数值的绝对值起各以所定值增大的整数 值(例如2、 3、 )；在厚度不到基准值或在基准值以下的平行平板所 属的多个级别中，被容许的平行平板的厚度的最小值为最大的级别被对应上与 第1整数值绝对值不同的第2整数值(例如一l )，而其他级别是从各级别被容许的平行平板的厚度的最小值的大的一方起依次，分别被对应上与第2整数值 符号相同其绝对值是从第2整数值的绝对值起各以所定值增大的整数值(例如一 2 、 一 3 、...)。本发明光学元件的制造方法中，各级别被对应上整数值，该整数值是从各 级别所容许的平行平板厚度的最大值或最小值的大的一方起依次单调减少或 增加的整数值，并且，有关厚度在基准值到所定范围内的平行平板所属的级别， 上述整数值为O，该级别外侧的级别中，当厚度大于基准值的平行平板所属的 级别与厚度小于基准值的平行平板所属的级别是符号相反的整数值时，可以从 各级别选择平行平板进行叠层，使得在上述第l工序中被叠层的各平行平板所对应的整数值的所定区间内的累积值，不管取到哪个平行平板为止的累积值， 都在所定范围内。本发明光学元件的制造方法中，各级别被对应上整数值，该整数值是从各 级别所容许的平行平板厚度的最大值或最小值的大的一方起依次单调减少或 增加的整数值，并且，有关厚度在基准值至所定范围内的平行平板所属的级别， 上述整数值为O，该级别外侧的级别中，当厚度大于基准值的平行平板所属的 级别与厚度小于基准值的平行平板所属的级别是符号相反的整数值时，可以从 各级别选择平行平板进行叠层，使得在上述第l工序中被连续叠层的所定张数 的平行平板所属的各级别所对应的整数值的平均值，在被连续叠层的所定张数 的平行平板的所定区间内的各个不同的组合，都在所定范围内。本发明光学元件的制造方法中，可以如下进行整数值的对应整数值O之 级别外侧的级别，其中，在厚度大于基准值的平行平板所属的多个级别中，被 容许的平行平板厚度最小值为最小的级别被对应上第l整数值(例如l),而其 他级别是从各级别被容许的平行平板的厚度的最小值的小的一方起依次，分别 被对应上与第l整数值符号相同且其绝对值是从第l整数值的绝对值起各以所 定值增大的整数值(例如2、 3、 )；整数值O之级别外侧的级别，其中，在厚度小于基准值的平行平板所属的多个级别中，被容许的平行平板的厚度的最小值为最大的级别被对应上与第1整数值绝对值不同的第2整数值(例如 一 1 )，而其他级别是从各级别被容许的平行平板的厚度的最小值的大的一方 起依次，分别被对应上与第2整数值符号相同且其绝对值是从第2整数值的绝对 值起各以所定值增大的整数值(例如一2、 一3、)。本发明光学元件的制造方法中，上述第l工序中，可以相互交替地叠层属 于整数值符号不同之级别的平行平板。本发明光学元件的制造方法中，上述第l工序中，可以相互交替地叠层属 于整数值绝对值相同之级别的平行平板。本发明光学元件的制造方法中，m为偶数时，上述第l工序中，可以叠层各 相同张数的属于整数值符号为正的级别的平行平板和属于整数值符号为负的 级别的平行平板。本发明光学元件的制造方法中，m为奇数时，上述第l工序中，可以叠层各 相同张数的属于整数值符号为正的级别的平行平板和属于整数值符号为负的 级别的平行平板，同时叠层奇数张属于整数值为O的级别的平行平板。本发明光学元件的制造方法中，优选上述第3工序中以所定间距切断多个9叠层分割体时的切断基准位置，是在各叠层分割体上取切断间距的方向的中央 或略中央的位置。本发明光学元件的制造方法也可以进一步备有在各平行平板表面形成光学薄膜的第4工序。但上述第4工序在上述第1工序之前进行。本发明光学元件的制造方法还可以进一步备有对各叠层分割体上在第2工序切断时成为切断面的至少一个面进行研磨的第5工序。但是上述第5工序在上述第3工序之前进行。本发明光学元件的制造方法中，也可以在上述第3工序堆起多个叠层分割体并以所定间距进行切断之后，对切断时成为切断面的至少一个面进行研磨。 发明的效果根据本发明，从分成属于厚度在基准值以上或大于基准值之级别的平行平 板和属于厚度不到基准值或基准值以下之级别的平行平板之多个级别的平行 平板中，选择进行叠层，使第l工序中不管n是取所定区间内的什么值(例如m =1 1时，不管n是取l 1 1、 2 1 O等区间内的什么值)，在第3工序 的叠层分割体切断面的垂直方向上，从切断基准位置起的平行平板n张分的长 度，与所述切断基准位置到第n个切断位置的距离之差，在所定范围内(例如 接合面的位置偏离规格内)。作为这种叠层的方式，有例如交替叠层前者平行 平板和后者平行平板，或连续叠层所定张数的前者平行平板，再在其上叠层所 定张数的后者平行平板等。通过从多个级别中选择分成2大类的平行平板进行叠层，这样在第3工序 中，能够在使各叠层分割体必须切断的部位分别接近所定间距的切断位置的状 态下切断各叠层分割体。其结果能够抑制以所定间距切得的每个光学元件的接 合面的位置偏离。由本发明的制造方法制造的光学元件应用到例如光拾取装置中时，是在一 个透明介质的接合面上形成光学薄膜(例如偏振分离膜)，接合面的位置精度 直接影响入射到光学元件在光学薄膜被反射的光在其行进方向(光轴方向)垂 直方向上位移的光位移精度。因此，根据能够抑制接合面位置偏离的上述本发 明的制造方法，能够容易地确保所得到的每个光学元件的光位移精度。


图l:本发明一实施方式的光学元件制造方法的各工序流程示意图。 图2:( a ) (e )是上述制造方法的制造工序说明示意图。图3:多个平行平板的级别分类以及向各级别的整数值对应一例说明示意图。图4: 2个透明介质的接合面的位置和金属丝锯的切断位置的关系说明示意图。图5:恋施仿lh的植扣结単说昍云音阁。 图6:实施例2的模拟结果说明示意图。 图7:实施例3的模拟结果说明示意图。 图8:实施例4的模拟结果说明示意图。 图9:实施例5的模拟结果说明示意图。图10:多个平行平板的级别分类以及向各级别的整数值对应的另一例说明 示意图。图ll:实施例6的模拟结果说明示意图。 图12:实施例7的模拟结果说明示意图。 图13:实施例8的模拟结果说明示意图。 图14:实施例9的模拟结果说明示意图。 图I5:实施例10的模拟结果说明示意图。 图16:实施例ll的模拟结果说明示意图。 图17:实施例12的模拟结果说明示意图。 图18:实施例13的模拟结果说明示意图。图19:多个平行平板的级别分类以及向各级别的整数值对应的又一例说明 示意图。图20:多个平行平板的级别分类以及向各级别的整数值对应的又一例说明示意图。图21:多个平行平板的级别分类以及向各级别的整数值对应的又一例说明 示意图。图22:多个平行平板的级别分类以及向各级别的整数值对应的又一例说明 示意图。图23; (a)、 (b)及(c)、 (d)是分别说明棱镜中接合面位置偏离例子的示意图。图24:接合面的位置偏离引起光位移的说明模式示意图。符号说明 1 叠层体1111 平行平板
12 叠层分割体
1 4棱镜(光学元件)
具体实施例方式
以下参照附图，说明本发明的一实施方式。 1.制造方法的经过
参照图1及图2 ( a ) 图2 ( e )，说明本发明光学元件制造方法的大致经过。
如图2所示，首先在由透明介质(例如玻璃)构成的平行平板ll表面形成
光学薄膜(S 1:薄膜形成工序，第4工序)。可以使该光学薄膜为例如相应
入射光的偏振状态使入射光透过或反射的偏振分离膜。接下去，通过具有透光 性的-第l粘结剂(例如紫外线固化性粘结剂)把多个平行平板ll叠层为阶梯状，
形成叠层体l (S2:叠层工序，第l工序)。有关S 2叠层工序的详细在后面叙述。
接下去，以相对平行平板ll中形成了光学薄膜的面或涂布了粘结剂的面所
定倾斜角(例如45度)且所定的间距，切断上述叠层体l，由此形成如图2(b) 所示的多个叠层分割体12 (S3:切断工序，第2工序)。然后对各叠层分割 体12上在S 3切断时成为切断面的至少一个面(正反面的至少一面)进行研磨
(S 4 :研磨工序，第5工序)。
接下去如图2(c)所示，再次堆起多个叠层分割体12 ( S 5 :叠层工序， 第3工序)，对其以所定的间距在垂直方向进行切断(S6:切断工序，第3工 序)。并且在S 5用第2粘结剂临时接合多个叠层分割体12或将其固定在辅助 板等上。S6的切断间距如下最终得到的光学元件l个中可以有l个也可以有 多个透明介质贴合部分(接合面21)。之后对在S 6切断时成为切断面的至少 一个面(正反面的至少一面)进行研磨(S7:研磨工序，第3工序)。
然后脱开临时接合部(第2粘结剂溶解或解除辅助板等的固定)，如图2
(d )所示，形成透明介质贴合而成的多个棒状体13 ( S 8 :临时接合部脱开 工序，第3工序)。临时接合部的脱开也可以在下面的S 9之后进行。最后如 图2 (e)所示，用垂直于细长方向的面以所定间距切断各棒状体13，由此， 作为由多个透明介质贴合而成的光学元件，得到多个立方体形的棱镜14( S 9 : 切断工序，第3工序)。
12根据上述制造方法，通过反复叠层、切断、研磨等各工序的一连串加工工 序，能够得到大量的棱镜14。另外还可以在S 2的叠层工序之前，在各平行平 板ll表面形成光学薄膜，由此，作为经上述各工序而得到的最终光学元件，得 到持有上述光学薄膜之光学性能的棱镜14。尤其是通过使上述光学薄膜为偏振
分离膜，这样能够将最终得到的棱镜14用作光拾取装置的偏振分离元件。上述
光学薄膜可以是相应于入射光的波长选择性地透过或反射入射光的薄膜，也可 以是使透过光量和反射光量之比为l比l的光学薄膜。
S 4的研磨工序是对各叠层分割体12上在第3切断工序切断时成为切断 面的至少一个面进行研磨。同样S 7的研磨工序也是对堆起并以所定间距切断 多个叠层分割体12之后，在切断时成为切断面的至少一个面进行研磨。至于虽
然是切断面但不作为光学元件的光学面使用的面并不一定需要研磨。 2. S 2的详细
对上述S 2的叠层工序的详细作说明。这里以m为2以上的自然数、n为m 以下的自然数，在S2叠层m张平行平板，形成叠层体l。
从根据厚度与基准值之差而被分成多个的级别中，选择厚度在基准值以上 的平行平板ll和厚度不到基准值的平行平板ll进行叠层，使得在S 2中不管n 在所定区间内取什么值，在S 6叠层分割体12的切断面的垂直方向上，从切断 基准位置起的平行平板ll的n张分的长度，与上述切断基准位置到第n个切断位 置的距离之差，在所定范围内。下面，通过具体例l、 2说明这种叠层方式的具 体例子。
为了方便说明，下面又把厚度在基准值以上的平行平板l l称为平行平板 1 1 a，把厚度不到基准值的平行平板l l称为平行平板l 1 b。该定义中， 厚度等于基准值的平行平板l l为平行平板l 1 a，但也可以归入平行平板l 1 b。也就是说，也可以把厚度大于基准值的平行平板1 l作为平行平板l 1 a，把厚度在基准值以下的平行平板l l作为平行平板l 1 b。 2 — 1 .具体例1
具体例l中对下述情况进行说明以根据厚度与基准值之差区分平行平板 1 1时的区分数(级别数)为4，从该4个级别中选择平行平板1 1 a 1 1 b 进行叠层。
具体例1中如图3所示，制造外形尺寸为4 mm方形的成品(棱镜14)时， 以所采用的平行平板l 1的厚度基准值为2 . 8 2 8 mm，以该基准值为界， 把各平行平板l l分成4个级别。以各级别的尺寸区分(各级别所容许的平行
13平板l1的厚度的最大值和最小值之差)为O. 0lmm，以所要求的接合面 21的位置偏离规格(精度)为O. 0 5mm。接合面21的位置偏离规格，对应 于光拾取装置中的光位移精度(该值表示入射到棱镜14入射面中心的光在接合 面21上形成的光学薄膜反射、射出时，射出光的位置偏离出射面中心的多少(绝 对值))。
于是具体例l中多个平行平板l1根据各厚度被分到厚度与基准值之差在 一 0 . 0 2以上一 0.01未满、一0 . 01以上0.00未满、0 . 0 0以 上+0. 0 1未满、+0. Ol以上十O. 0 2未满之4个级别的某个之中。 各级别中取厚度与基准值之差的最小值的平行平板11也可以放到下一个级 别中。也就是说，多个平行平板l l可以根据各厚度被分到厚度与基准值之差 大于一 0.02小于等于—0 . 01、大于一 0.01小于等于0 . 0 0 、大 于O. 0 0小于等于+0. 0 1 、大于+ 0 . Ol小于等于十O. 0 2之4个 级别的某个之中。上述表示厚度与基准值之差的数值单位都是mm，以下相同。
具体例1中，各级别是从各级别所容许的平行平板1 l厚度的最小值(或 最大值)大的一方起，依次被对应上为2、 1、 一i、 — 2的整数值。也就是 说，各级别是从各级别所容许的平行平板l l的厚度的最小值(或最大值)大 的一方起，依次被对应上单调减少、在平行平板l 1 a和平行平板l 1 b是符 号相反的整数值。
具体例1中，各级别也可以是从各级别所容许的平行平板ll的厚度的最 小值(或最大值)大的一方起，依次被对应上为一 2 、 一 1 、 1 、 2的整数值。 也就是说，各级别也可以是从各级别所容许的平行平板ll的厚度的最小值 (或最大值)大的一方起，依次被对应上单调增加、在平行平板l 1 a和平行 平板l1b是符号相反的整数值。
下面通过实施例1 5说明具体例1的实施例。实施例1 5 (实施例2例 外)中，通过模拟实验，评价从各级别共选择ll张平行平板ll进行叠层时接合 面21的位置偏离。实施例2中，以叠层平行平板11的张数为10张，进行相同的 模拟实验。
如图4所示，如果以从各级别选择的平行平板11的厚度为t 1、t 2、"*， 则本实施方式中以45度角度切断叠层体1形成多个叠层分割体12，然后将其堆 起再次垂直切断，所以叠层分割体12的切断面垂直方向上各光学元件的长度为 T 12 . t 1 、 T 2 =V" 2 ' t 2 、 . 。因此，如果以金属丝间距离 (金属丝的间距)为L，那么，通过计算每个金属丝切断位置的差分D 1 =T
141一L、差分02 = (Tl+T2) —2L、 ，便能够评价光学元件接 合面21的位置偏离。
在此为了简便计算，以不考虑例如第l粘结剂的厚度、金属丝的厚度(粗 细)、金属丝的切断部分、研磨部分。取而代之，对上述差分D 1 、 D 2 、 的绝对值在接合面21位置偏离规格(0 . 0 5 mm) 8 0%以内(绝对值0. 0 4mm以内)的评价为没有问题。
图5 图9分别出示了实施例1 5的模拟试验结果。图中的整数值累积2 A表示各平行平板11所属的级别所对应的整数值A的切断基准位置(金属丝切 入基准位置)开始的累积值。移动平均是指连续叠层的所定张数(作为例子这 里是本身和前后3张)的平行平板11所属的各级别所对应的整数值A的平均值。 表示平行平板ll厚度的板厚采用随机函数得到的值，以使在级别中是完全的随 机值。
图中的长度T表示在S 6叠层分割体12的切断面垂直方向上从切断基准 位置起的各平行平板ll的长度(上述T 1 、 T 2 、— )，积算2 T表示从 切断基准位置起的平行平板ll的n张分的长度(积算值)。积算金属丝距离2 L表示从切断基准位置到第n个切断位置的距离(n L)。实施例1 5中， 切断基准位置是金属丝切入的多个切断位置中最端部之位置。差分D表示各切 断位置上的积算2 T与积算S L之差，而AB S—MAX是指差分D的最大值 (D—MAX)和差分D的最小值(D—M IN)中绝对值大的一个值。
实施例1如图5所示，通过模拟实验，求得使整数值为「一 1 j 、— 「 1」交 替地、叠层属于相应级别的平行平板11时的AB S—MAX。实施例1中AB S —M A X为0 . Oil (mm)，足够达成接合面21的位置偏离规格的8 0 %以内之目标。改变平行平板ll厚度t的随机值进行同样的模拟实验，此时得 到如下结果AB S—MAX在接合面21位置偏离规格8 0%以内的概率近1 0 0%。因此可以说，如实施例l的平行平板ll的叠层方式，实际上(用金属 丝切断各叠层分割体12最终得到1个光学元件时)将每个光学元件的接合面21 的位置偏离抑制在规格内之效果极其良好。
实施例2如图6所示，通过模拟实验，求得使整数值为「一2」、「2」交 替地、叠层属于相应级别的平行平板11时的AB S—MAX。实施例2中AB S —M A X为0 . 0 2 2 (mm)，达成接合面21的位置偏离规格的8 0 %以 内之目标。改变平行平板ll厚度t的随机值进行同样的模拟实验，此时得到如 下结果A B S — M A X在接合面21位置偏离规格8 0 %以内的概率为9 3
15%。因此可以说，如实施例2的平行平板11的叠层方式，实际上将每个光学元件的接合面21的位置偏离抑制在规格内之效果良好。
实施例3如图7所示，通过模拟实验，求得使整数值「一1」连续5个、接着使整数值「1」连续6个地、叠层属于相应级别的平行平板11时的AB S —M A X 。实施例3中A BS—MAX为O. 0 2 6 (mm)，达成接合面21的位置偏离规格的8 0%以内之目标。改变平行平板ll厚度t的随机值进行同样的模拟实验，此时得到如下结果AB S—MAX在接合面21位置偏离规格80%以内的概率为9 1%。因此可以说，如实施例3的平行平板11的叠层方式，实际上将每个光学元件的接合面21的位置偏离抑制在规格内之效果良好。
实施例4如图8所示，通过模拟实验，求得使整数值为「2」、「一1」、
「一 1」交替地、叠层属于相应级别的平行平板11时的A B S—MAX。实施例4中A B S—M A X为0 . 0 1 9 (mm)，足够达成接合面21的位置偏离规格的8 0%以内之目标。改变平行平板ll厚度t的随机值进行词样的模拟实验，此时得到如下结果AB S—MAX在接合面21位置偏离规格8 0 %以内的概率为8 9%。因此可以说，如实施例4的平行平板11的叠层方式，实际上将每个光学元件的接合面21的位置偏离抑制在规格内之效果良好。
实施例5如图9所示，通过模拟实验，求得使整数值为「一 1」、「 2」、
「一2」、「1」交替地、叠层属于相应级别的平行平板11时的AB S—MAX。实施例5中A BS—MAX为O. 0 2 9 (mm)，达成接合面21的位置偏离规格的8 0 %以内之目标。改变平行平板ll厚度t的随机值进行同样的模拟实验，此时得到如下结果AB S—MAX在接合面21位置偏离规格8 0 %以内的概率为9 0%。因此可以说，如实施例5的平行平板11的叠层方式，实际上将每个光学元件的接合面21的位置偏离抑制在规格内之效果良好。2 — 2 .具体例2
具体例2中对下述情况进行说明以根据厚度与基准值之差区分平行平板1 l时的区分数(级别数)为5，从该5个级别中选择平行平板1 1 a 1 1 b
进行叠层。
具体例2中如图10所示，制造外形尺寸为4 mm方形的成品时，以所采用的平行平板ll的厚度基准值为2 . 8 2 8 mm，使存在该基准值为中心值之级别地、把各平行平板l l分成5个级别。以各级别的尺寸区分为O. 0 0 8 mm，以所要求的接合面21的位置偏离规格(精度)为0 . 0 5mm。
于是具体例2中多个平行平板1 1根据各厚度被分到厚度与基准值之差在
16一 0 . 0 2以上一 0.012未满、一0 . 012以上一 0.0 0 4未满、_0 . 0 0 4以上+ 0.0 0 4未满、+ 0 . 0 0 4以上+ 0.012未满、+0. 0 12以上+0. 0 2未满之5个级别的某个之中。各级别中取厚度与基准值之差的最小值的平行平板ll也可以放到下一个级别中。也就是说，多个平行平板ll可以根据各厚度被分到厚度与基准值之差大于一 0 . 0 2小于等于一0 . 0 12、大于一 0.012小于等于一 0 . 0 0 4 、大于一0 . 0 0 4小于等于+ 0 . 0 0 4 、大于+ 0.0 0 4小于等于十0 . 012、大于+ 0 . 012小于等于+0. 0 2之5个级别的某个之中。
具体例2中，各级别是从各级别所容许的平行平板ll的厚度的最小值(或最大值)大的一方起，依次被对应上为2 、 1 、 0 、 一1 、 一 2的整数值。也就是说，各级别是从各级别所容许的平行平板l1的厚度的最小值(或最大值)大的一方起，依次被对应上的整数值是单调减少。而且厚度在基准值到所定范围内(这里是士 0 . I) 0 4以内)的平行平板ll所属级别的上述整数值为O,该级别外侧的级别中，厚度大于基准值的平行平板1 1 a所属的级别，与厚度小于基准值的平行平板l 1 b所属的级别，是符号相反的整数值。
具体例2中，各级别也可以是从各级别所容许的平行平板ll的厚度的最小值(或最大值)大的一方起，依次被对应上为一2、 一l、 0、 1、 2的整数值。也就是说，也可以是从各级别所容许的平行平板l 1的厚度的最小值(或最大值)大的一方起，依次被对应上单调增加的整数值。其中，厚度在基准值到所定范围内的平行平板U所属的级别的上述整数值为O，该级别外侧的级别中，厚度大于基准值的平行平板l 1 a所属的级别，与厚度小于基准值的平行平板l 1 b所属的级别，是符号相反的整数值。
下面通过实施例6 1 3说明具体例2的实施例。实施例6 1 3 (实施例8例外)中，通过模拟实验，评价从各级别共选择ll张平行平板ll进行叠层时接合面21的位置偏离。实施例8中，以叠层平行平板11的张数为10张，进行相同的模拟实验。图11 图18分别表示实施例6 1 3的模拟实验结果。
实施例6如图11所示，通过模拟实验，求得使整数值连续为「0」地、叠层属于相应级别的平行平板11时的AB S—MAX。但此时(即使是选择属于同级别的平行平板1 1 )也会有厚度在基准值(2 . 8 2 8 mm)以上的平行平板l1a和小于基准值的平行平板11b被选择，这一点与其他实施例相同。实施例6中A B S—M A X为0 . 0 1 7 (mm)，足够达成接合面21的位置偏离规格的8 0%以内之目标。改变平行平板ll厚度t的随机值进行同样
17的模拟实验，此时得到如下结果AB S—MAX在接合面21位置偏离规格80%以内的概率近1 0 0。％。因此可以说，如实施例6的平行平板11的叠层方式，实际上将每个光学元件的接合面21的位置偏离抑制在规格内之效果极其良好。
实施例7如图12所示，通过模拟实验，求得使整数值为「一1」、「1」交替地、叠层属于相应级别的平行平板11时的AB S—MAX。实施例7中AB S —M A X为0 . 0 2 6 (mm)，达成接合面21的位置偏离规格的8 0 %以内之月标。改变平行平板ll厚度t的随机值进行同样的模拟实验，此时得到如下结果AB S—MAX在接合面21位置偏离规格8 0%以内的概率为9 9%。因此可以说，如实施例7的平行平板11的叠层方式，实际上将每个光学元件的接合面21的位置偏离抑制在规格内之效果极其良好。
实施例8如图13所示，通过模拟实验，求得使整数值为「一2」、「2」交替地、叠层属于相应级别的平行平板U时的AB S—MAX。实施例8中ABS—MAX为O. 034 (mm)，达成接合面21的位置偏离规格的8 0 %以内之目标。改变平行平板ll厚度t的随机值进行同样的模拟实验，此时得到如下结果AB S—MAX在接合面21位置偏离规格8 0 %以内的概率为9 5%。因此可以说，如实施例8的平行平板11的叠层方式，实际上将每个光学元件的接合面21的位置偏离抑制在规格内之效果极其良好。
实施例9如图14所示，通过模拟实验，求得使整数值为「2」、「一1J 、「一 1」交替地、叠层属于相应级别的平行平板11时的AB S—MAX。实施例9中A B S —M A X为0 . 0 2 2 (mm)，达成接合面21的位置偏离规格的8 0%以内之目标。改变平行平板ll厚度t的随机值进行同样的模拟实验，此时得到如下结果AB S—MAX在接合面21位置偏离规格8 0%以内的概率为9 9%。因此可以说，如实施例9的平行平板11的叠层方式，实际上将每个光学元件的接合面21的位置偏离抑制在规格内之效果极其良好。
实施例10如图15所示，通过模拟实验，求得使整数值为「一 1」、「 2」、「一 2」、「 1」交替地、叠层属于相应级别的平行平板11时的A B S—MAX 。实施例10中A B S—MAX为O. 021 (mm)，达成接合面21的位置偏离规格的8 0%以内之目标。改变平行平板ll厚度t的随机值进行同样的模拟实验，此时得到如下结果AB S—MAX在接合面21位置偏离规格8 0 %以内的概率为9 8%。因此可以说，如实施例10的平行平板11的叠层方式，实际上将每个光学元件的接合面21的位置偏离抑制在规格内之效果极其良好。
18实施例11如图16所示，通过模拟实验，求得使整数值为「一 2」、「 2 J 、
「一 1」、「 1」交替地、叠层属于相应级别的平行平板ll，且最外侧叠层属
于整数值「 0」所相应之级别的平行平板11时的A B S—MAX。实施例ll中ABS—MAX为O. 029 (mm),达成接合面21的位置偏离规格的8 0%以内之目标。改变平行平板ll厚度t的随机值进行同样的模拟实验，此时得到如下结果AB S—MAX在接合面21位置偏离规格8 0 %以内的概率为88%。因此可以说，如实施例ll的平行平板ll的叠层方式，实际上将每个光学元件的接合面21的位置偏离抑制在规格内之效果良好。
实施例12如图17所示，通过模拟实验，求得使整数值「一 1」、「 1」、
「一 1」、「 1」、「一 1」之级别的平行平板ll被对称于整数值「 0」之级别的平行平板ll叠层地、叠层各平行平板11时的AB S—MAX。实施例12中ABS—MAX为O. 0 14(mm)，达成接合面21的位置偏离规格的8 0%以内之目标。改变平行平板ll厚度t的随机值进行同样的模拟实验，此时得到如下结果AB S—MAX在接合面21位置偏离规格8 0 %以内的概率近10 0%。因此可以说，如实施例ll的平行平板ll的叠层方式，实际上将每个光学元件的接合面21的位置偏离抑制在规格内之效果极其良好。
实施例13如图18所示，通过模拟实验，求得使整数值「2」、「一2」、
「 2」、「一 1」、「一 1」之级别的平行平板ll被对称于整数值「 0」之级别的平行平板ll叠层地、叠层各平行平板U时的ABS—MAX。实施例13中A B S —M A X.为0 . 0 3 1 (mm)，达成接合面21的位置偏离规格的8 0%以内之目标。改变平行平板ll厚度t的随机值进行同样的模拟实验时，得知AB S—MAX超出接合面21位置偏离规格8 0 %的情况多于上述各实施例。但是可以说，如实施例13的平行平板11的叠层方式，通过恰当地选择平行平板ll的板厚t ，也有将每个光学元件的接合面21的位置偏离抑制在规格内之效果。
以上说明的情况，在S2的叠层工序时，已经根据厚度区分多张平行平板ll和对各级别对应上整数值，没有进行上述区分和对应的情况时，也可以在S2 (叠层工序)之前或S 1 (薄膜形成工序)之前，进行上述区分工序和对应工序。
3.效果
上述具体例l、 2的叠层方法中，从多个级别中选择平行平板l 1 a 1 1b进行叠层，使得不管n在所定区间内取什么值，积算ST (平行平板ll的n
19张分的长度)与积算金属丝距离SL (从切断基准位置到第n个切断位置的距离)之差D都在所定范围内。也就是说，选择平行平板l 1 a 1 1 b进行叠层，使叠层ll张平行平板ll时n取1 1 l中的任何值、叠层10张平行平板11时n取1 1 0中的任何值，差分D都在接合面21的位置偏离规格0 . 0 5mm以内。叠层ll张平行平板ll时，也可以使n可取的值的范围为2 1 0，两端的光学元件废弃。另外叠层m张平行平板ll的情况，使S 6的切断基准位置位于后述取切断间距之方向的正中时，n可取值的范围也可以是1 5 。
通过这种叠层方法，能够在S6的切断工序中，使各叠层分割体12必须切断的部位分别接近所定间距的各切断位置，在该状态切断各叠层分割体12。因此，能够抑制以所定间距切得的每个光学元件接合面21的位置偏离。其结果根据本发明制造方法制造的光学元件应用到光拾取装置中时，得到的每个光学元件都能够确保光位移精度。
尤其是因为从多个级别中选择厚度在基准值以上或大于基准值的平行平板l 1 a和厚度不到基准值或在基准值以下的平行平板l 1 b进行叠层，所以通过—这些平行平板l 1 a 1 1 b的叠层能够确实使接合面21的位置偏离的正方向或负方向的增大减少，能够确实得到上述抑制接合面21位置偏离之效果。
另外根据本发明能够利用各平行平板11的厚度参差抑制接合面21的位置偏离，所以采购平行平板ll的单品公差放宽，能够降低光学元件的制造成本。
另外上述具体例l中，各级别被对应上从各级别所容许的平行平板ll厚度的最大值或最小值的大的一方起依次单调减少或增加的整数值A ，且整数值A在厚度在基准值以上或大于基准值的平行平板11a所属的级别和厚度不到基准值或在基准值以下的平行平板l 1 b所属的级别是符号相反时，从各级别选择平行平板进行叠层，使得被叠层的各平行平板11所对应的整数值A的所定区间内(例如1 1 1 )的累积值(整数值累积2:A)不管取到什么平行平板ll为止的累积值都在所定范围内(例如一 5以上5以下的范围内)。上述所定范围只要根据例如被要求的接合面21的位置偏离规格和各级别的幅度(尺寸区分)等适当设定即可。
另外上述具体例2中，各级别被对应上从各级别所容许的平行平板U厚度的最大值或最小值的大的一方起依次单调减少或增加的整数值A，且有关厚度为基准值到所定范围内的平行平板ll所属的级别，整数值A为O，该级别外侧的级别中，当厚度大于基准值的平行平板l1a所属的级别与厚度小于基准值的平行平板l 1 b所属的级别是符号相反的整数值时，从各级别选择平行平板
20ll进行叠层，使得被叠层的各平行平板11所对应的整数值A在所定区间内(例 如1 1 1 )的累积值(整数值累积S A)不管取到什么平行平板为止的累积 值都在所定范围内(例如一 2以上2以下的范围内)。
通过采用上述具体例1或2的叠层方法，能够在S 6的切断工序中使各叠层 分割体12必须切断的部位分别接近所定间距的各切断位置，在该状态切断各叠 层分割体12。其结果能够确实地抑制以所定间距切得的每个光学元件接合面21 的位置偏离，得到的每个光学元件都能够确实地确保光位移精度。
另外上述具体例l中，由于整数值A的移动平均在所定范围内(例如一l
以上1以下的范围内)推移，所以具体例l的叠层方法也可以表现为如下。艮口， 各级别被对应上从各级别所容许的平行平板ll厚度的最大值或最小值的大的 一方起依次单调减少或增加的整数值A ，且整数值A在厚度在基准值以上或大 于基准值的平行平板l1a所属的级别与厚度不到基准值或在基准值以下的 平行平板l 1 b所属的级别是符号相反时，从各级别选择平行平板ll进行叠 层，使得在S 2的叠层工序中被连续叠层的所定张数(例如3张)的平行平板 ll所属的各级别所对应的整数值A的平均值，在被连续叠层的所定张数平行平 板ll的所定区间内(例如1 1 1)的各个不同组合，都在所定范围内。
另外上述具体例2中，由于整数值A的移动平均在所定范围内(例如一l 以上l以下的范围内)推移，所以具体例2的叠层方法也可以表现为如下。艮卩，
各级别被对应上从各级别所容许的平行平板ll厚度的最大值或最小值的大的 一方起依次单调减少或增加的整数值A，且有关厚度在基准值到所定范围内的 平行平板ll所属的级别，整数值A为O，该级别外侧的级别中，当厚度大于基 准值的平行平板l1a所属的级别与厚度小于基准值的平行平板11b所属 的级别是符号相反的整数值时，从各级别选择平行平板ll进行叠层，使得在S 2的叠层工序中被连续叠层的所定张数(例如3张)的平行平板ll所属的各级 别所对应的整数值A的平均值，在被连续叠层的所定张数平行平板ll的所定区 间内(例如1 1 1)的各个不同组合，都在所定范围内。
如上述具体例1或2的叠层方式，因为可以说，能够在使各叠层分割体12必 须切断的部位确实分别接近所定间距的各切断位置的状态下切断各叠层分割 体12，所以可以说，能够确实抑制接合面21的位置偏离，容易且确实确保光位 移精度。
另外上述具体例l中，厚度在基准值以上的平行平板l 1 a所属的2个级别 中，被容许的平行平板l 1 a厚度的最小值为最小的级别(厚度与基准值之差
21在0 . 0 0以上+ 0.01未满的级别)被对应上第l整数值(例如l)。其他 级别(厚度与基准值之差在十0 . Ol以上十O. 02未满的级别)被对应上 与第l整数值符号相同且其绝对值是从第l整数值的绝对值起仅增大所定值的 整数值(例如2)。区分数在4以上存在多个上述其他级别时，其他级别只要 是从各级别所容许的平行平板l 1 a厚度的最小值的小的一方起，依次被对应 上与第l整数值符号相同且其绝对值是从第l整数值的绝对值起各以所定值增 大的整数值即可。
同样，厚度小于基准值的平行平板l 1 b所属的2个级别中，被容许的平 行平板l 1 b厚度的最小值为最大的级别(厚度与基准值之差在一 0 . 0 l以 上+ 0.00未满的级别)被对应上与第1整数值绝对值不同的第2整数值(例 如一 1 )。其他级别(厚度与基准值之差在一 0.02以上一 0.01未满的 级别)被对应上与第2整数值符号相同且其绝对值是从第2整数值的绝对值起仅 增大所定值(例如l)的整数值(例如一2)。区分数在4以上存在多个上述其 他级别时，其他级别只要是从各级别所容许的平行平板l 1 b厚度的最小值的 大的一方起，依次被对应上与第2整数值符号相同且其绝对值是从第2整数值的 绝对值起各以所定值增大的整数值即可。
另外上述具体例2中，在整数值O之级别外侧的级别且厚度大于基准值的平 行平板l 1 a所属的多个级别中，被容许的平行平板l 1 a厚度最小值为最小 的级别(厚度与基准值之差在十0.0 0 4以上+ 0.012未满的级别)被 对应上第l整数值(例如l)，其他级别(厚度与基准值之差在+ 0 . 0 1 2以 上+0. 0 2未满的级别)被对应上与第l整数值符号相同且其绝对值是从第l 整数值的绝对值起仅增大所定值(例如l)的整数值(例如2)。区分数在5以 上存在多个上述其他级别时，其他级别只要是从各级别所容许的平行平板l 1 a厚度的最小值的小的一方起，依次被对应上与第l整数值符号相同且其绝对 值是从第l整数值的绝对值起各以所定值增大的整数值即可。
同样，在整数值O之级别外侧的级别、且厚度小于基准值的平行平板l 1 b所属的多个级别中，被容许的平行平板l 1 b厚度的最小值为最大的级别 (厚度与基准值之差在一0 . 0 12以上一 0. 0 0 4未满的级别)被对应上 与第1整数值绝对值不同的第2整数值(例如一l )，其他级别(厚度与基准值 之差在一O. 0 2以上一0. 0 1 2未满的级别)被对应上与第2整数值符号 相同且其绝对值是从第2整数值的绝对值起仅增大所定值(例如1)的整数值(例 如一2)。区分数在5以上存在多个上述其他级别时，其他级别只要是从各级
22别所容许的平行平板l 1 b厚度的最小值的大的一方起，依次被对应上与第2 整数值符号相同且其绝对值是从第2整数值的绝对值起各以所定值增大的整数 值即可。 ，
通过如此各级别上被对应上整数值，由此只要看整数值的排列顺序、整数
值的符号及绝对值，就能够容易地把握平行平板1 1 a 1 1 b的叠层状态。 另外通过上述整数值的对应，能够容易评价基于整数值累积SA、整数值的移 动平均的上述接合面21的位置偏离。
另外上述具体例l中，平行平板l 1 a所属的级别被对应上正的整数值， 平行平板l 1 b所属的级别被对应上负的整数值，所以，通过是否有正负整数 值，能够马上简单地判断是否采用平行平板1 1 a 1 1 b双方进行了叠层。 而具体例2中，在采用比如奇数张的平行平板ll得到光学元件时，通过使奇数 张中的l张是属于整数值O之级别的平行平板ll，由此，凑齐属于整数值为正的 级别的平行平板ll的张数与属于整数值为负的级别的平行平板ll的张数，能够 平衡性良好地抑制接合面21的位置偏离。
实施例l、 2、 5、 7、 8、 1 0中，属于整数值符号不同之级别的平行 平板ll交替叠层。这种叠层方式有趋向抵消接合面21位置偏离的作用，所以最 终得到的各个光学元件能够确实抑制接合面21的位置偏离。尤其如实施例l 、 2、 7、 8，通过交替叠层属于整数值的绝对值是相同之级别的平行平板ll， 能够确切地得到上述效果。
另外实施例2、 8中，以叠层平行平板11的张数为偶数的10张，叠层各相 同张数属于整数值符号为正的级别的平行平板11和属于整数值符号为负的 级别的平行平板l 1。这样在叠层的平行平板l l的张数为偶数张时，能够尽 量使接合面21的位置偏离的平均为小的值。另外，只要交替叠层例如属于整数 值符号为正的级别的平行平板11和属于整数值符号为负的级别的平行平板 1 1，就能够平衡性良好地抑制最终得到的每个光学元件中接合面21的位置偏离。
另外实施例l 1、 1 2中，以叠层平行平板ll的张数为偶奇数的ll张，叠 层各相同张数属于整数值符号为正的级别的平行平板11和属于整数值符号 为负的级别的平行平板l 1，同时叠层1张属于整数值为0之级别的平行平板。 这样在叠层的平行平板l l的张数为奇数张时，能够尽量使接合面21的位置偏 离的平均为小的值。另外通过使奇数张中的1张是属于整数值为0之级别的平行 平板l 1，这样可以凑齐属于整数值符号为正的级别的平行平板ll的张数和属
23于整数值符号为负的级别的平行平板ll的张数，通过例如将它们交替地叠层， 由此能够平衡性良好地抑制接合面21的位置偏离。叠层的平行平板l l的张数 为奇数张时，属于整数值为0级别的平行平板1 l的张数并不限于l张，也可以 是3张以上的奇数。
4.关于切断基准位置的其他例
上述各实施例1 1 3中，在S 6切断工序中以所定间距切断多个叠层分 割体12时的切断基准位置，是多个切断位置中各叠层分割体12上的切断间距方 向(切断面的垂直方向)的最端部之位置，但是，也可以是例如从端部起的第 2个位置，也可以是当中位置。
尤其在叠层平行平板l l的张数m为奇数时，优选是上述方向上的中央位 置，叠层平行平板l l的张数m为偶数时，优选是上述方向上的略中央位置。 只要使各叠层分割体-12在上述方向的长度为一定，在上述方向的中央位置或略 中央位置取切断基准位置时的情况，与在上述方向的一端部取切断基准位置时 的情况相比，能够将在最离开切断基准位置之端部的误差(接合面21的位置偏 离量)的累积抑制在一半(张数为奇数时)或略一半(张数为偶数时)。由此，-抑制最终得到的每个光学元件的接合面21位置偏离之效果提高。
5 .关于区分的其他例
把多个平行平板l 1根据其厚度分成多个区分时，可以把接合面21的位置 偏离量、光位移精度的顾客要求规格的例如士 1 / 5之值，作为厚度与基准值 之差的最大值(上限值)或最小值(下限值)，把最大值和最小值之间分成多 个区分。
例如图19是顾客要求规格为0 . 0 5mm、区分数为4个，图20是顾客要 求规格为0 . 0 5mm、区分数为5个时，多个平行平板1 l的区分例示意。 图19及图20中顾客要求规格为0 . 0 5 mm，以其± 1 / 5之值的士 0 . 0 1 0 (mm)为厚度与基准值之差的上限值及下限值，将其间分成多个区分。
另外图21是顾客要求规格为0 . 1 Omm、区分数为4个，图22是顾客要 求规格为O. 1 Omm、区分数为5个时，多个平行平板1 l的区分例示意。 图21及图22中顾客要求规格为0 . 10mm，以其±1/5之值的±0. 02 0 (mm)为厚度与基准值之差的上限值及下限值，将其间分成多个区分。
通过从被如上区分的各级别中选择平行平板l l进行叠层，相对金属丝锯 切断位置的接合面21的位置偏离量在顾客要求规格的6 0%左右或其以下，超 过顾客要求规格的现象非常少，这一事实从与上述实施例1 1 3相同的模拟
24实验可以有所了解。
区分数在4区分到6区分左右较为妥当，但没有特殊限定。另外，区分数可
以是奇数个也可以是多个，但奇数个时，平行平板ll叠层张数为奇数张时为 多张时，都能够容易地应付，这一点比较方便。也就是说，区分数为奇数个时，
如上述具体例2所示，通过放入或不放入l个当中的区分(整数值0的级别)的 平行平板l 1，能够灵活应付平行平板l 1的叠层张数为奇数张和多张的两种 情况。
2权利要求
1.一种光学元件的制造方法，包括下述各工序第1工序，以m为2以上的自然数、n为m以下的自然数，通过粘结剂叠层m张由透明介质构成的平行平板，形成叠层体；第2工序，以所定的倾斜角度且所定的间距切断叠层体，形成多个叠层分割体；第3工序，堆起多个叠层分割体以所定的间距进行切断，形成由透明介质贴合而成的多个光学元件；光学元件制造方法的特征在于，在相应所述平行平板的厚度与基准值之差把多个所述平行平板分为多个级别之前工序之后，选择属于厚度在所述基准值以上或大于所述基准值之级别的所述平行平板和属于厚度不到所述基准值或所述基准值以下之级别的所述平行平板，使所述第1工序中不管n在所定区间内取什么值，在第3工序的叠层分割体切断面的垂直方向上，从切断基准位置起的平行平板n张分的长度，与从所述切断基准位置到第n个切断位置的距离之差，都在所定范围内。
2. 如权利要求l中记载的光学元件的制造方法，其特征在于，各级别被对 应上整数值，该整数值是从各级别所容许的所述平行平板厚度的最大值或最小 值的大的一方起依次单调减少或增加的整数值，且上述整数值在厚度在所述基 准值以上或大于所述基准值的所述平行平板所属的级别、与厚度不到所述基准 值或在所述基准值以下的所述平行平板所属的级别是符号相反时，从所述多个级别选择所述平行平板进行叠层，使得在所述第l工序中被叠 层的各个所述平行平板所对应的整数值的所定区间内的累积值，不管取到哪个 所述平行平板为止的累积值，都在所定范围内。
3. 如权利要求l中记载的光学元件的制造方法，其特征在于，所述多个级 别分别被对应上整数值，该整数值是从各个级别所容许的所述平行平板厚度的 最大值或最小值的大的一方起依次单调减少或增加的整数值，且上述整数值在 厚度在基准值以上或大于基准值的所述平行平板所属的级别、与厚度不到基准 值或在基准值以下的所述平行平板所属的级别是符号相反时，从所述多个级别选择所述平行平板进行叠层，使得在所述第l工序中被连 续叠层的所定张数的所述平行平板所属的各级别所对应的整数值的平均值，在被连续叠层的所定张数的所述平行平板的所定区间内的各个不同组合，都在所 定范围内。
4. 如权利要求2或权利要求3中记载的光学元件的制造方法，其特征在于，如下进行整数值的对应在厚度在所述基准值以上或大于所述基准值的所述平行平板所属的多个级别中，被容许的所述平行平板的厚度的最小值为最小的级 别被对应上第l整数值，而其他级别是从各级别被容许的所述平行平板的厚度 的最小值的小的一方起依次，分别被对应上与第l整数值符号相同且其绝对值是从第l整数值的绝对值起各以所定值增大的整数值；在厚度不到所述基准值或在所述基准值以下的所述平行平板所属的多个 级别中，被容许的所述平行平板的厚度的最小值为最大的级别被对应上与第l 整数值绝对值不同的第2整数值，而其他级别是从各级别被容许的所述平行平 板的厚度的最小值的大的一方起依次，分别被对应上与第2整数值符号相同其 绝对值是从第2整数值的绝对值起各以所定值增大的整数值。
5. 如权利要求l中记载的光学元件的制造方法，其特征在于，所述多个级 别被对应上整数值，该整数值是从各个级别所容许的所述平行平板厚度的最大 值或最小值的大的一方起依次单调减少或增加的整数值，并且，有关厚度在基 准值到所定范围内的所述平行平板所属的级别，上述整数值为0，该级别以外 的级别中，当厚度大于基准值的所述平行平板所属的级别、与厚度小于基准值 的所述平行平板所属的级别是符号相反的整数值时，从所述多个级别选择所述平行平板进行叠层，使得在所述第l工序中被叠 层的各所述平行平板所对应的整数值的所定区间内的累积值，不管取到哪个所 述平行平板为止的累积值，都在所定范围内。
6. 如权利要求l中记载的光学元件的制造方法，其特征在于，所述多个级 别被对应上整数值，该整数值是从各个级别所容许的所述平行平板厚度的最大 值或最小值的大的一方起依次单调减少或增加的整数值，并且，有关厚度在基 准值至所定范围内的所述平行平板所属的级别，上述整数值为O,该级别以外 的级别中，当厚度大于基准值的所述平行平板所属的级别、与厚度小于基准值 的所述平行平板所属的级别是符号相反的整数值时，从所述多个级别选择所述平行平板进行叠层，使得在所述第l工序中被连 续叠层的所定张数的所述平行平板所属的各个级别所对应的整数值的平均值， 在被连续叠层的所定张数的所述平行平板的所定区间内的各个不同的组合，都 在所定范围内。
7. 如权利要求5或权利要求6中记载的光学元件的制造方法，其特征在于， 如下进行整数值的对应整数值0之级别以外的级别，其中，在厚度大于所述基准值的平行平板所属的多个级别中，被容许的所述平行平板厚度最小值为最 小的级别被对应上第l整数值，而其他级别是从各级别被容许的所述平行平板 的厚度的最小值的小的一方起依次，分别被对应上与第l整数值符号相同且其绝对值是从第l整数值的绝对值起各以所定值增大的整数值；整数值0之级别以外的级别，其中，在厚度小于基准值的所述平行平板所 属的多个级别中，被容许的所述平行平板的厚度的最小值为最大的级别被对应 上与第1整数值绝对值不同的第2整数值，而其他级别是从各级别被容许的所述 平行平板的厚度的最小值的大的一方起依次，分别被对应上与第2整数值符号 相同且其绝对值是从第2整数值的绝对值起各以所定值增大的整数值。
8. 如权利要求1至7的任何一项中记载的光学元件的制造方法，其特征在 于，所述第l工序中相互交替地叠层属于整数值符号不同之级别的所述平行平 板。
9. 如权利要求8记载的光学元件的制造方法，其特征在于，上述第l工序 中相互交替地叠层属于整数值绝对值相同之级别的所述平行平板。
10. 如权利要求2至9的任何一项中记载的光学元件的制造方法，其特征在 于，m为偶数时，所述第l工序中，叠层各相同张数的属于整数值符号为正的级 别的所述平行平板和属于整数值符号为负的级别的所述平行平板。
11. 如权利要求5至7的任何一项中记载的光学元件的制造方法，其特征在 于，m为奇数时，所述第l工序中，叠层各相同张数的属于整数值符号为正的级 别的所述平行平板和属于整数值符号为负的级别的所述平行平板，同时叠层奇 数张属于整数值为O的级别的所述平行平板。
12. 如权利要求1至U的任何一项中记载的光学元件的制造方法，其特征 在于，所述第3工序中以所定间距切断多个所述叠层分割体时的切断基准位置， 是在各个所述叠层分割体上取切断间距的方向的中央或略中央的位置。
13. 如权利要求1至12的任何一项中记载的光学元件的制造方法，其特征 在于，进一步备有在各个所述平行平板表面形成光学薄膜的第4工序，所述第4 工序在所述第l工序之前进行。
14. 如权利要求1至13的任何一项中记载的光学元件的制造方法，其特征 在于，进一步备有对各个所述叠层分割体上在所述第2工序切断时成为切断面 的至少一个面进行研磨的第5工序，所述第5工序在所述第3工序之前进行。
15.如权利要求1至14的任何一项中记载的光学元件的制造方法，其特征 在于，在所述第3工序堆起多个所述叠层分割体并以所定间距进行切断之后， 对切断时成为切断面的至少一个面进行研磨。
全文摘要
以m为2以上的自然数、n为m以下的自然数。叠层m张平行平板后进行切断，然后再叠起叠层分割体进行切断，由此形成多个光学元件。从多个级别中，选择厚度在基准值以上的平行平板和不到基准值的平行平板进行叠层，使得在平行平板的叠层工序中，不管n在所定区间内取哪个值，在叠层分割体切断面的垂直方向上，从切断基准位置起的平行平板n张分的长度，与从切断基准位置到第n个切断位置的距离之差，都在所定范围内。由此，在各叠层体的切断工序中，能够使必须切断的部位接近各切断位置，能够抑制每个所得光学元件中接合面的位置偏差。
文档编号G02B5/04GK101675363SQ20088001449
公开日2010年3月17日 申请日期2008年4月21日 优先权日2007年5月7日
发明者小川善行, 平冈洁 申请人:柯尼卡美能达精密光学株式会社