一种半自动双面曝光装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种半自动双面曝光装置，它包括监控装置、曝光箱（2）和装载箱（3），上层装载框架（1）和下层装载框架（19）均包括上框架（17）和下框架（18），下框架（18）内部设置有抽真空通道、抽真空气孔（11）和抽真空接头（12），监控装置包括光电传感器A、光电传感器B、计时器、蜂鸣器、真空泵、气压传感器和控制器。本实用新型的有益效果是：提高了曝光效率，方便装载，上层装载框架和下层装载框架交替进行曝光，同样提高了效率；确保真空气压数值，从而保证曝光质量，通过控制器自动控制装载框架的曝光操作和曝光时间，节省了人工，提高了工效。
【专利说明】一种半自动双面曝光装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种半自动双面曝光装置。
【背景技术】
[0002]在FPC板制造工艺中，主要有FPC板的清洗、印刷(烘烤)、曝光显影、图像电镀极大工序。其中，在曝光显影工序中有一道外层曝光的工序，该工序使用一种手动曝光机。该手动曝光机包括一个玻璃台面，用以放置待曝光的FPC板，以及一个贴膜层，用以贴敷定位所述FPC板。玻璃台面与贴敷膜层之间，还设有抽气口，工作时，先将FPC板放置于所述玻璃台面上，再将贴敷膜层贴敷在所述FPC板的表面，然后通过所述抽气口抽气，开启光源，对待曝光的FPC板的下表面进行曝光。此装置仅能完成FPC板的单面曝光，对于需要双面曝光的FPC板需要进行两次曝光操作，效率低，耗时长。
[0003]并且，目前使用的曝光机一般通过目测凭经验估计腔体内的的真空度，误差大，且无法控制腔体内的真空度，可能会引起真空度抽气过度而导致玻璃盖板爆裂，或者由于真空度太低，空气残留过多，造成曝光不良。
实用新型内容
[0004]本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种方便装载、提高曝光效率的半自动双面曝光装置。
[0005]本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:一种半自动双面曝光装置，它包括监控装置、上层装载框架、下层装载框架、以及依次连接为一体的曝光箱和装载箱，曝光箱和装载箱上均设置有用于安装上层装载框架的上层水平导轨，曝光箱和装载箱上均设置有用于安装下层装载框架的下层水平导轨，曝光箱位于上层水平导轨的上侧和下层水平导轨的下侧均设置有曝光光源，所述的上层装载框架和下层装载框架结构相同，上层装载框架和下层装载框架均包括上框架和下框架，上框架和下框架通过设置于后侧面上的合页连接为一体，上框架的底面上设置有上透光板，下框架的顶面上设置有容置上框架的凹槽，该凹槽的底面上设置有下透光板，下框架内部设置有抽真空通道，下框架位于上透光板和下透光板之间的部分上设置有抽真空气孔，下框架上还设置有用于连接抽真空管路的抽真空接头，抽真空接头通过抽真空通道与抽真空气孔连通，所述的下框架的左右两侧均设置有水平凸棱，上层装载框架的水平凸棱滑动安装于曝光箱和装载箱的上层水平导轨内，下层装载框架的水平凸棱滑动安装于曝光箱和装载箱的上层水平导轨内，曝光箱上还安装有驱动电机A和驱动电机B，驱动电机A的电机轴连接有与上层水平导轨平行的丝杆A，上层装载框架的下框架的底部设置有螺纹孔，丝杆A通过螺纹与上层装载框架的该螺纹孔连接，驱动电机B的电机轴连接有与下层水平导轨平行的丝杆B，下层装载框架的下框架的底部设置有螺纹孔，丝杆B通过螺纹与下层装载框架的该螺纹孔连接，所述的监控装置包括光电传感器A、光电传感器B、计时器、蜂鸣器、真空泵、气压传感器和控制器，抽真空接头通过气路与真空泵吸气口相连，气路上设置有控制气路通断的电磁阀，气压传感器安装于下框架的抽真空通道内，光电传感器A设置于上层装载框架的凹槽的侧壁上，用于监测上层装载框架的上框架是否扣合于下框架的凹槽内，光电传感器B设置于下层装载框架的凹槽的侧壁上，用于监测下层装载框架的上框架是否扣合于下框架的凹槽内，光电传感器A、光电传感器B、气压传感器、计时器、蜂鸣器、真空泵、电磁阀、驱动电机A和驱动电机B分别与控制器电连接。
[0006]所述的上层装载框架和下层装载框架的上框架的前端面上均安装有把手。
[0007]所述的上层装载框架和下层装载框架的上框架的前端面设置有凸块，下框架上设置有与凸块相配合的缺口，凸块的前端面与下框架的前端面相平齐，把手安装于凸块的前端面上。
[0008]本实用新型具有以下优点:本实用新型可以对薄板两个表面贴附的感光膜同时进行曝光，从而提高了曝光效率，装载框架的结构设计使得装载框架与曝光光源安装结构为分体结构，装载工作方便、容易进行。两个平行设置的上层装载框架和下层装载框架能够交替进行曝光，从而节省了取、装料操作对曝光效率的影响，同样提高了效率。通过设置监控装置，从而能够准确的检测下透光板和上透光板之间的真空气压数据，确保曝光过程中下透光板和上透光板之间的真空气压数值，从而保证曝光质量；当抽真空达到要求的真空气压数值时，控制器会控制电磁阀关闭、控制真空泵停止工作，从而延长真空泵的使用寿命。通过控制器自动控制装载框架的曝光操作和曝光时间，节省了人工，提高了工效。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型的结构示意图
[0010]图2为本实用新型的装载框架的俯视结构示意图
[0011]图3为图2沿A-A截面的剖视图
[0012]图4为本实用新型的下框架的剖视结构示意图
[0013]图5为本实用新型另一种工作状态的结构示意图
[0014]图6为本实用新型监控装置的框图
[0015]图中，1-上层装载框架，2-曝光箱，3-装载箱，4-上层水平导轨A，5_上层水平导轨B，6-曝光光源，7-合页，8-上透光板，9-凹槽，10-下透光板，11-抽真空气孔，12-抽真空接头，13-水平凸棱，14-把手，15-凸块，16-缺口，17-上框架，18-下框架，19-下层装载框架，20-下层水平导轨A，21-下层水平导轨B，22-驱动电机A，23-驱动电机B，24-丝杆A，25-丝杆B，26-光电传感器A。
【具体实施方式】
[0016]下面结合附图对本实用新型做进一步的描述，本实用新型的保护范围不局限于以下所述:
[0017]如图1所示，一种半自动双面曝光装置，它包括监控装置、上层装载框架1、下层装载框架19、以及依次连接为一体的曝光箱2和装载箱3，曝光箱2和装载箱3上均设置有用于安装上层装载框架I的上层水平导轨，曝光箱2和装载箱3上均设置有用于安装下层装载框架19的下层水平导轨，下层水平导轨位于上层水平导轨的正下方，曝光箱2内的上层水平导轨A4与装载箱3的上层水平导轨B5连接为连续的上层水平导轨，曝光箱2内的下层水平导轨A20与装载箱3的下层水平导轨B21连接为连续的下层水平导轨，曝光箱2位于上层水平导轨的上侧和下层水平导轨的下侧均设置有曝光光源6，所述的上层装载框架I和下层装载框架19结构相同，如图2、图3、图4所示，上层装载框架I和下层装载框架19均包括上框架17和下框架18，上框架17和下框架18通过设置于后侧面上的合页7连接为一体，上框架17的底面上设置有上透光板8，下框架18的顶面上设置有容置上框架17的凹槽9，该凹槽9的底面上设置有下透光板10，上框架17和下框架18均为由四个边框围成的矩形框架，透光板的四个边缘均与对应侧的边框紧密固定连接，下框架18内部设置有抽真空通道，下框架18位于上透光板8和下透光板10之间的部分上设置有抽真空气孔11，下框架18上还设置有用于连接抽真空管路的抽真空接头12，抽真空接头12通过抽真空通道与抽真空气孔11连通，所述的下框架18的左右两侧均设置有水平凸棱13，上层装载框架I的水平凸棱13滑动安装于曝光箱2和装载箱3的上层水平导轨内，下层装载框架19的水平凸棱13滑动安装于曝光箱2和装载箱3的上层水平导轨内，曝光箱2上还安装有驱动电机A22和驱动电机B23，驱动电机A22的电机轴连接有与上层水平导轨平行的丝杆A24，上层装载框架I的下框架18的底部设置有螺纹孔，丝杆A24通过螺纹与上层装载框架I的该螺纹孔连接，驱动电机B23的电机轴连接有与下层水平导轨平行的丝杆B25，下层装载框架19的下框架18的底部设置有螺纹孔，丝杆B25通过螺纹与下层装载框架19的该螺纹孔连接。
[0018]如图6所示，所述的监控装置包括光电传感器A26、光电传感器B、计时器、蜂鸣器、真空泵、气压传感器和控制器，抽真空接头12通过气路与真空泵吸气口相连，气路上设置有控制气路通断的电磁阀，气压传感器安装于下框架18的抽真空通道内，光电传感器A26设置于上层装载框架I的凹槽9的侧壁上，用于监测上层装载框架I的上框架17是否扣合于下框架18的凹槽9内，光电传感器B设置于下层装载框架19的凹槽9的侧壁上,用于监测下层装载框架19的上框架17是否扣合于下框架18的凹槽9内，光电传感器A26、光电传感器B、气压传感器、计时器、蜂鸣器、真空泵、电磁阀、驱动电机A22和驱动电机B23分别与控制器电连接。
[0019]所述的凹槽9仅设置于非安装合页7的边框上，为了提高气密性，上框架17在安装合页7的边框的下表面设置有密封条，上框架17在非安装合页7的边框的凹槽9的侧面设置有密封条；为了进一步提高气密性，下框架18在安装合页7的边框的上表面设置有密封条，下框架18在非安装合页7的边框的侧面设置有密封条，所述的抽真气孔设置于下框架18非安装合页7的边框上。
[0020]所述的上层装载框架I和下层装载框架19的上框架17的前端面上均安装有把手14。
[0021]所述的上层装载框架I和下层装载框架19的上框架17的前端面设置有凸块15，下框架18上设置有与凸块15相配合的缺口 16，凸块15的前端面与下框架18的前端面相平齐，把手14安装于凸块15的前端面上。
[0022]本实用新型的工作过程如下:上层装载框架I和下层装载框架19轮流交替进行上下料和曝光操作，当其中一个装载框架进行曝光时，另一个装载框架进行上下料操作。
[0023]所述的装载框架的上料操作为:通过把手14翻开上层装载框架I的上框架17，上框架17绕合页7旋转打开，将待曝光的贴有感光膜的薄板放置于下框架18的下透光板10上部，然后盖合上框架17,光电传感器A26监测到上层装载框架I的上框架17盖合后,传输信号至控制器，控制器控制真空泵通过抽真空气孔11对上层装载框架I的下透光板10和上透光板8之间进行抽真空，由上透光板8和下透光板10压紧薄板，此时，操作者可使用滚筒、压板等装置在上透光板8上滚压或推压，以将下透光板10、薄板、上透光板8之间的空气完全抽出，气压传感器实时监测抽真空通道内的气压变化，并将感应信号传输至控制器，当抽真空通道内的气压达到设定值时，控制器控制关闭电磁阀、真空泵停止工作，然后，控制器控制驱动电机A22转动，通过丝杠A24驱动完成上料的装载框架的下框架18沿导轨滑动，整个上层装载框架I进入曝光箱2，同时控制器控制驱动电机B23反向转动，通过丝杠B25驱动下层装载框架19退出曝光箱2，进入曝光箱2的装载框架由分别位于装载框架上部和下部的光源对装载于上透光板8和下透光板10之间的薄板的两个表面同时进行曝光，同时计时器开始计时，如图5所示，在此过程中，若气压传感器监测到抽真空通道内的气压变化至未达到设定值时，控制器控制真空泵开始工作、打开电磁阀，对下透光板10和上透光板8之间进行抽真空，保证下透光板10和上透光板8之间的真空气压数值，从而保证曝光质量。在上层装载框架I进行曝光的同时，向下层装载框架19内装载待曝光的贴有感光膜的薄板、对下层装载框架19进行抽真空，控制真空泵通过抽真空气孔11对下层装载框架19的下透光板10和上透光板8之间进行抽真空，由上透光板8和下透光板10压紧薄板，此时，操作者可使用滚筒、压板等装置在上透光板8上滚压或推压，以将下透光板10、薄板、上透光板8之间的空气完全抽出，下层装载框架19内的气压传感器实时监测下层装载框架19的抽真空通道内的气压变化，并将感应信号传输至控制器，当抽真空通道内的气压达到设定值时，控制器控制关闭下层装载框架19连接的电磁阀、真空泵停止工作；当上层装载框架I达到设定曝光时长后，计时器向控制器发送信号，控制器控制驱动电机A22反向旋转，通过丝杠A24驱动上层装载框架I的下框架18沿导轨滑动，使上层装载框架I退出曝光箱2，完全退出后，控制器控制驱动电机B23正向旋转，将下层装载框架19送入曝光箱开始曝光，同时计时器再次开始计时，同时控制器控制蜂鸣器工作，提醒人工更换上层装载框架I的贴有感光膜的薄板。
[0024]完成曝光的装载框架，解除真空状态，翻开上框架17即可取出完成曝光的薄板，然后再重新装载一个待曝光的薄片。
[0025]本实用新型可以对薄板两个表面贴附的感光膜同时进行曝光，从而提高了曝光效率，装载框架的结构设计使得装载框架与曝光光源6安装结构为分体结构，装载工作方便、容易进行，同时能够满足真空条件的工况需求。两个平行设置的上层装载框架I和下层装载框架19能够交替进行曝光，从而节省了取、装料操作对曝光效率的影响，同样提高了效率。本实用新型通过设置监控装置，从而能够准确的检测下透光板10和上透光板8之间的真空气压数据，确保曝光过程中下透光板10和上透光板8之间的真空气压数值，从而保证曝光质量；当抽真空达到要求的真空气压数值时，控制器会控制电磁阀关闭、控制真空泵停止工作，从而延长真空泵的使用寿命。通过控制器自动控制装载框架的曝光操作和曝光时间，节省了人工，提高了工效。
【权利要求】
1.一种半自动双面曝光装置，其特征在于:它包括监控装置、上层装载框架(I)、下层装载框架(19)、以及依次连接为一体的曝光箱(2)和装载箱(3)，曝光箱(2)和装载箱(3)上均设置有用于安装上层装载框架(I)的上层水平导轨，曝光箱(2 )和装载箱(3 )上均设置有用于安装下层装载框架(19)的下层水平导轨，曝光箱(2)位于上层水平导轨的上侧和下层水平导轨的下侧均设置有曝光光源(6)，所述的上层装载框架(I)和下层装载框架(19)结构相同，上层装载框架(I)和下层装载框架(19)均包括上框架(17)和下框架(18)，上框架(17)和下框架(18)通过设置于后侧面上的合页(7)连接为一体，上框架(17)的底面上设置有上透光板(8)，下框架(18)的顶面上设置有容置上框架(17)的凹槽(9)，该凹槽(9)的底面上设置有下透光板(10)，下框架(18)内部设置有抽真空通道，下框架(18)位于上透光板(8)和下透光板(10)之间的部分上设置有抽真空气孔(11)，下框架(18)上还设置有用于连接抽真空管路的抽真空接头(12)，抽真空接头(12)通过抽真空通道与抽真空气孔(11)连通，所述的下框架(18)的左右两侧均设置有水平凸棱(13)，上层装载框架(I)的水平凸棱(13)滑动安装于曝光箱(2)和装载箱(3)的上层水平导轨内，下层装载框架(19)的水平凸棱(13)滑动安装于曝光箱(2)和装载箱(3)的上层水平导轨内，曝光箱(2)上还安装有驱动电机A (22)和驱动电机B (23)， 驱动电机A (22)的电机轴连接有与上层水平导轨平行的丝杆A (24)，上层装载框架(I)的下框架(18)的底部设置有螺纹孔，丝杆A (24)通过螺纹与上层装载框架(I)的该螺纹孔连接， 驱动电机B (23)的电机轴连接有与下层水平导轨平行的丝杆B (25)，下层装载框架(19)的下框架(18)的底部设置有螺纹孔，丝杆B (25)通过螺纹与下层装载框架(19)的该螺纹孔连接， 所述的监控装置包括光电传感器A (26)、光电传感器B、计时器、蜂鸣器、真空泵、气压传感器和控制器，抽真空接头(12)通过气路与真空泵吸气口相连，气路上设置有控制气路通断的电磁阀，气压传感器安装于下框架(18 )的抽真空通道内，光电传感器A (26 )设置于上层装载框架(I)的凹槽(9)的侧壁上，用于监测上层装载框架(I)的上框架(17)是否扣合于下框架(18)的凹槽(9)内，光电传感器B设置于下层装载框架(19)的凹槽(9)的侧壁上，用于监测下层装载框架(19)的上框架(17)是否扣合于下框架(18)的凹槽(9)内，光电传感器A (26)、光电传感器B、气压传感器、计时器、蜂鸣器、真空泵、电磁阀、驱动电机A (22)和驱动电机B (23)分别与控制器电连接。
2.根据权利要求1所述的一种半自动双面曝光装置，其特征在于:所述的上层装载框架(I)和下层装载框架(19)的上框架(17)的前端面上均安装有把手(14)。
3.根据权利要求1所述的一种半自动双面曝光装置，其特征在于:所述的上层装载框架(I)和下层装载框架(19)的上框架(17)的前端面设置有凸块(15)，下框架(18)上设置有与凸块(15)相配合的缺口(16)，凸块(15)的前端面与下框架(18)的前端面相平齐，把手(14)安装于凸块(15)的前端面上。
【文档编号】G03F7/20GK203825363SQ201420218769
【公开日】2014年9月10日 申请日期:2014年4月30日 优先权日:2014年4月30日
【发明者】刘维军, 郭宝贵 申请人:遂宁市维海电子科技有限公司