一种运动体的测量和初始化装置的制作方法

文档序号:11152923阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种运动体的测量和初始化装置,用于测量运动体在X、Y及Rz方向的位移以及对运动体进行初始化复位,其特征在于,包括三组二维测量机构、设于每组所述二维测量机构上的解耦机构、以及四组初始复位机构,其中两组所述二维测量机构位于所述运动体的X方向上,另外一组二维测量机构位于所述运动体的Y方向上,每组所述二维测量机构包括与所述运动体连接的两个相互垂直的移动副以及一个转动副;所述解耦机构与所述转动副和其中一个移动副连接;两组所述初始复位机构位于运动体的X方向上,另外两组所述初始复位机构位于运动体的Y方向上。

2.根据权利要求1所述的运动体的测量和初始化装置,其特征在于,每组所述二维测量机构均包括安装基板、设于所述安装基板上的两组第一移动副、设于所述安装基板上且两端分别连接所述第一移动副的连接板、设于所述连接板上方的第二移动副、与所述运动体连接的Rz转动副、以及与第一移动副连接的位移测量组件,所述连接板中部与所述运动体连接,所述第二移动副和所述Rz转动副均与所述解耦机构连接。

3.根据权利要求2所述的运动体的测量和初始化装置,其特征在于,每组所述第一移动副均包括第一导轨和与所述第一导轨滑动连接的第一滑块。

4.根据权利要求3所述的运动体的测量和初始化装置,其特征在于,所述位移测量组件包括设于所述安装基板上的光栅尺读头安装板、与所述光栅尺读头安装板固定连接的光栅尺读头、以及一侧与其中一组第一移动副的第一滑块固定连接,另一侧与所述光栅尺读头滑动连接的光栅尺。

5.根据权利要求3所述的运动体的测量和初始化装置,其特征在于,每组所述第二移动副均包括第二导轨和与所述第二导轨滑动连接的第二滑块。

6.根据权利要求5所述的运动体的测量和初始化装置,其特征在于,所述解耦机构包括至少一块柔性解耦片,所述柔性解耦片的厚度小于0.1mm,且两 端分别与所述第二滑块连接。

7.根据权利要求6所述的运动体的测量和初始化装置,其特征在于,所述柔性解耦片设有一块,两端分别与第二滑块的位置相对应,且上方设有压板,所述压板上方设有螺母,所述压板、所述柔性解耦片和第二滑块均设有与所述螺母相适配的螺孔。

8.根据权利要求7所述的运动体的测量和初始化装置,其特征在于,所述Rz转动副包括与所述运动体连接的轴承组件安装支架、设于所述轴承组件安装支架上的轴承组件,所述轴承组件与所述柔性解耦片通过连接杆连接。

9.根据权利要求6所述的运动体的测量和初始化装置,其特征在于,所述柔性解耦片设有两块,其中部设有U型开口,两块所述柔性解耦片的所述U型开口沿X向相对设置,每块所述柔性解耦片左右两端上方设有螺母,所述柔性解耦片和第二滑块均设有与所述螺母相适配的螺孔。

10.根据权利要求9所述的运动体的测量和初始化装置,其特征在于,所述Rz转动副包括与所述运动体连接的轴承组件安装支架、设于所述轴承组件安装支架上的轴承组件,所述轴承组件下端穿过所述柔性解耦片的U型开口与连接板连接,所述轴承组件外圈与所述U型开口紧密贴合。

11.根据权利要求1所述的运动体的测量和初始化装置,其特征在于,每组所述初始复位机构均包括与所述运动体连接的磁铁安装板、设于所述磁铁安装板上的矩形磁铁组、与所述磁铁安装板相对设置的可调式磁铁安装架、设于可调式磁铁安装架上方的磁铁安装座、以及设于磁铁安装座上的矩形磁铁,所述矩形磁铁组和所述矩形磁铁相对一侧的极性相同。

12.根据权利要求1所述的运动体的测量和初始化装置,其特征在于,每组所述初始复位机构均包括与所述运动体连接的线圈组、与所述线圈组连接的接近开关、与所述线圈组相对设置的可调式磁铁安装架、设于可调式磁铁安装架上方的磁铁安装座、以及设于磁铁安装座上的矩形磁铁。

13.根据权利要求11或12任一项所述的运动体的测量和初始化装置,其 特征在于,所述磁铁安装板上设有与所述矩形磁铁组相适配的第一凹槽,所述矩形磁铁组设于所述第一凹槽内;所述磁铁安装座上设有与所述矩形磁铁相适配的第二凹槽,所述矩形磁铁设于所述第二凹槽内。

14.根据权利要求11或12任一项所述的运动体的测量和初始化装置,其特征在于,所述可调式磁铁安装架上设有若干腰型孔,所述腰型孔内设有定位柱。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1