感光性树脂组合物、光刻胶层叠体以及它们的固化物(11)的制作方法

技术特征：

1.感光性树脂组合物，含有(A)环氧树脂、(B)具有酚性羟基的化合物、和(C)光阳离子聚合引发剂，其中，

(A)环氧树脂的加权平均环氧当量为300g/eq.以上，

该(A)环氧树脂的20质量％以上是由下述式(1)表示、且环氧当量为500～4500g/eq.的环氧树脂，

式(1)中，m为平均值，表示3～35范围的实数，

该(B)具有酚性羟基的化合物含有选自下述式(2)、(4)、(5)和(6)表示的苯酚化合物中的一种以上的苯酚化合物，

式(2)中，n为平均值，表示1～10范围的实数，R各自独立地表示氢原子或碳数1～4的烷基，

式(4)中，q为平均值，表示1～10范围的实数，

式(5)中，z为平均值，表示1～10范围的实数，

式(6)中，y为平均值，表示1～10范围的实数，R₈和R₉各自独立地表示氢原子或碳数1～4的烷基。

2.权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，(A)环氧树脂含有下述式(3)表示的环氧树脂，

式(3)中，a为平均值，表示2～30范围的实数，X各自独立地表示氢原子或缩水甘油基，多个存在的X中的至少1个是缩水甘油基。

3.权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，相对于(A)环氧树脂1当量，含有0.1～0.9当量的(B)具有酚性羟基的化合物。

4.权利要求1至3任一项所述的感光性树脂组合物，其中(C)光阳离子聚合引发剂为配盐系的光阳离子聚合引发剂。

5.权利要求1至4任一项所述的感光性树脂组合物，其含有(D)含环氧基的硅烷化合物。

6.权利要求1至5任一项所述的感光性树脂组合物，其含有(E)溶剂。

7.权利要求1至6任一项所述的感光性树脂组合物的固化物。

8.光刻胶层叠体，其是用基材夹入权利要求1至6任一项所述的感光性树脂组合物而得到的。

9.干膜光刻胶的固化物，其是由权利要求8所述的光刻胶层叠体得到的。