1.一种压印装置,用于使模具与施加在基片上的树脂接触,以便执行在基片上形成图形,所述压印装置包括:
分配器,所述分配器构造成将树脂施加在基片上;以及
树脂供给单元,所述树脂供给单元构造成将树脂供给至分配器,其中,所述树脂供给单元包括:
树脂储存储罐,所述树脂储存储罐构造成储存树脂;
泵,所述泵构造成使树脂在所述树脂储存储罐和分配器之间连续循环;以及
过滤器,所述过滤器布置在被循环的树脂的流动通路处,并构造成除去异物或金属离子。
2.根据权利要求1所述的压印装置,其中:
所述过滤器构造成除去直径为10nm或更大的异物。
3.根据权利要求1所述的压印装置,其中:
所述过滤器包括在流动通路处平行布置的多个过滤器。
4.根据权利要求3所述的压印装置,其中:
所述泵布置在用于从树脂储存储罐向分配器供给树脂的供给管线处;以及
所述多个过滤器布置在供给管线处。
5.根据权利要求1所述的压印装置,其中:
所述泵布置在用于从树脂储存储罐向分配器供给树脂的供给管线处;
所述过滤器包括第一过滤器和第二过滤器;以及
所述第一过滤器布置在所述泵和分配器之间,所述第二过滤器布置在所述泵和树脂储存储罐之间。
6.根据权利要求1所述的压印装置,其中:
所述过滤器包括第一过滤器和第二过滤器;以及
所述第一过滤器布置在泵和分配器之间,所述第二过滤器布置在 用于将树脂从分配器回收至树脂储存储罐的回收管线处。
7.根据权利要求1所述的压印装置,还包括:
布置在补充通路中的构造成除去异物或金属离子的过滤器,所述补充通路用于将树脂补充给流动通路。
8.一种物品制造方法,包括:
使用根据权利要求1至7中任意一项所述的压印装置在基片上形成树脂图形;以及
处理基片,图形已经在形成步骤中形成于基片上。