技术总结
根据本发明的第一方面,提供了一种压印装置,用于使模具与施加在基片上的树脂接触,以便执行在基片上形成图形,所述压印装置包括:分配器,所述分配器构造成将树脂施加在基片上;以及树脂供给单元,所述树脂供给单元构造成将树脂供给至分配器,其中,所述树脂供给单元包括:树脂储存储罐,所述树脂储存储罐构造成储存树脂;泵,所述泵构造成使树脂在所述树脂储存储罐和分配器之间连续循环;以及过滤器,所述过滤器布置在被循环的树脂的流动通路处,并构造成除去异物或金属离子。还提供了一种物品制造方法。
技术研发人员:V·N·特拉斯凯特;宫岛义一;M·S·沙夫兰;李索尔
受保护的技术使用者:佳能株式会社
文档号码:201610325478
技术研发日:2016.05.17
技术公布日:2016.11.30