一种可移动式掩模载置台的制作方法

本发明属于液晶面板显示技术，涉及接近式曝光机，尤其是曝光机掩模板载置台设计。

背景技术：

在CF行业中广泛采用光刻技术，利用曝光机将掩模板上面的图案投影到基板上面，然后显影机在基板上面形成掩模板的图案。彩膜的工艺流程大致为BM→Red→Green→Blue→OC/ITO→PS。以BM为例，当空白基板从洗净机出来后，首先进行涂布机涂布，经过前烘之后涂满黑色光刻胶的基板进入曝光机进行曝光，再经过显影，烘烤工艺，最终BM图案形成。BM线的作用主要是在基板上面形成BM图案以及打上各种标记，包括用于RGB的对位标记。在RGB工艺中，因为存在BM先前打下的对位标记，此时的曝光机在进行每个Shot曝光前需要将掩模板上面的RGB目标标记和基板上面的RGB对位标记对齐保证对位位置精度，从而形成RGB三色。

曝光动作的最终目的是将掩模板上的图案曝光到基板上，因此掩模板至关重要，现阶段Red/Green/Blue采用近接式曝光装置，掩模板载置台采用4个固定的掩模架对掩模板进行吸附，然后进行夹取，由于采用固定的掩模架，对于掩模板的尺寸则要求相对固定，现阶段不同尺寸的近接式曝光机由于掩模板载置台设计限制，只能使用单一尺寸掩模板。

在进行曝光动作时，由于掩模板的尺寸有限，曝光到基板上的图案只能按照掩模板的尺寸来设计，对于某些产品而言，基板曝光之后，仍然存在不少区域的空白区，这样大大降低了基板的利用率。

在生产大尺寸产品时，由于掩模板的图案较小，曝光机必须分成多个步骤进行曝光，致使产线生产节拍较长，影响产能，例如98寸产品，在Red制程生产时，由于受掩模板尺寸的限制，必须采用拼接式曝光，对于我们采用的1400*1220尺寸的掩模板，近接式曝光机则必须采用12Shot的动作进行曝光，导致产线的生产节拍只能达到190S，如果采用的掩模板尺寸相对大一点，则完全可以采用6Shot的动作进行曝光，类似于BM制程的曝光动作，对应的生产节拍可以控制在60S，大大提升产能。

技术实现要素：

技术目的：提供一种可移动的掩模架装置，可以通过控制掩模架的位置来吸附固定不同尺寸的掩模板，根据不同的产品的要求，使用不同尺寸的掩模板。

技术方案：一种可移动式掩模载置台，包括掩模架、感应掩模板尺寸大小的感应器和报警器，所述的掩模架通过扭力螺丝可移动地固定在掩模板载置台上，感应器设置在掩模架上。

作为优选，所述的扭力螺丝的数目为大于4个，优选8个。

作为优选，所述的扭力螺丝平均分布在掩模架上，从而更能精确控制掩模板载置台的平坦度。

大小尺寸掩模板切换时，通过拆除掩模架上扭力螺丝来移动掩模架位置，如图3所示，分别采用8个扭力螺丝来控制，拆除扭力螺丝，手动移动至正确的位置，通过扭力螺丝来调整、固定掩模架位置，同时通过控制扭力来精确控制掩模板载置台的平坦度。

有益效果：本发明公开了一种可移动式掩模载置台，掩模架通过扭力螺丝可移动地固定在掩模载置台上，通过该设计减少了大尺寸掩模的曝光时间，有效提高了生产效率。

附图说明

图1本发明提供的掩模载置台示意图。

图2本发明提供的掩模载置台放置不同大小掩模板的示意图。

图3本发明提供的掩模载置台的示意图。

图4本发明提供的掩模载置台局部放大图。

图5本发明提供的掩模载置台局部放大图。

具体实施方式

根据下述实施例，可以更好地理解本发明。然而，本领域的技术人员容易理解，实施例所描述的内容仅用于说明本发明，而不应当也不会限制权利要求书中所详细描述的本发明。

图1中1为扭力螺丝，2为掩模架。

一种可移动式掩模载置台，包括掩模架、感应掩模板尺寸大小的感应器和报警器，所述的掩模架通过扭力螺丝可移动地固定在掩模板载置台上，感应器设置在掩模架上。所述的扭力螺丝的数目为大于4个，优选8个。所述的扭力螺丝平均分布在掩模架上，从而更能精确控制掩模板载置台的平坦度。

使用方法：

现阶段近接式曝光机的掩模板载置台设计如图1所示，载置掩模板的主要部件有掩模架以及掩膜夹具，机器人手臂从掩模板存放装置取出掩模板夹正、读取ID，基板载置台上特有的掩模销上升，机器人手臂将掩模板放在掩模销上，掩模销下降，基板载置台移动至掩模板载置台下方，掩模销上升，将掩模板顶起致使与掩模架接触，掩模架开始对掩模板进行吸附，达到设定的阈值时，掩模夹具对掩模板进行夹持，掩模板进行对位，基板载置台移出，掩模板上机完成。

如图2所示，本发明主要是将掩模架有固定式设计为可移动式，通过移动掩模架位置来固定不同尺寸掩模板，根据不同的产品的要求，使用不同尺寸的掩模板，如图2所示。

大小尺寸掩模板切换时，通过拆除掩模架上扭力螺丝来移动掩模架位置，如图3所示，分别采用8个扭力螺丝来控制，拆除扭力螺丝，手动移动至正确的位置，通过扭力螺丝来调整、固定掩模架位置，同时通过控制扭力来精确控制掩模板载置台的平坦度。

掩模板上机时，机器人手臂首先会将掩模板放置在对位层进行夹正、读取掩模板ID，当掩模板选择错误时，读取得ID与选定参数中ID不一致时，设备会报警，提醒人员去确认掩模板是否选择错误，以便将错误的掩模板上机；如若同一种产品不同尺寸掩模板的ID一样，当选择错误时，掩模板对位层，无法识别掩模板是否选择错误，而将错误尺寸的掩模板上机，在掩模架处设置感应器，来分别掩模板尺寸，与选定参数中尺寸进行比对，一旦检出错误，立刻报警，设备锁启动，停止任何操作。