掩膜板、曝光机和玻璃基板的曝光方法与流程

文档序号:12459093阅读:来源:国知局
技术总结
本公开涉及一种掩膜板、曝光机和玻璃基板的曝光方法。所述曝光机包括传送装置(3)、掩膜板(1)和光源(2),所述传送装置(3)传送玻璃基板(6)经过所述掩膜板(1),所述光源(2)通过开设在所述掩膜板(1)上的透光孔照射所述玻璃基板(6),其特征在于,所述掩膜板(1)形成为可绕轴线回转的筒状结构,该筒状结构的轴线沿所述玻璃基板(6)的宽度方向延伸,所述光源(2)固定地设置在所述掩膜板(1)的空腔内,所述曝光机还包括用于带动所述掩膜板(1)回转的驱动装置(4)。

技术研发人员:周波;李青;王丽红;郑权
受保护的技术使用者:东旭科技集团有限公司;东旭集团有限公司
文档号码:201611238151
技术研发日:2016.12.28
技术公布日:2017.05.31

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