技术总结
本发明公开了一种三维压电驱动微镜调节装置，包括粗动台、X方向位移调节平台、Y方向位移调节平台、Z方向位移调节机构、滑轮导轨机构、压电薄膜、柔性铰链。粗动台、X方向位移调节平台、Y方向位移调节平台通过滑轮导轨机构叠加在一起，Z方向位移调节机构位于X方向位移调节平台上。在粗动台定位后，对Y方向压电薄膜施加电压，压电薄膜在逆压电作用下使两端悬臂梁产生输出位移并通过位移放大机构推动Y方向位移调解平台进行Y方向位移调节；同理，X方向压电薄膜推动X方向位移调节平台进行X方向位移调节；Z方向压电薄膜推动Z方向位移调节机构进行Z方向位移调节。本发明的三维压电驱动微镜调节装置结构简单紧凑，可实现多自由度调节，响应速度快，适用于多种场合。
技术研发人员：王新杰;刘亚风;王炅
受保护的技术使用者：南京理工大学
文档号码：201710039976
技术研发日：2017.01.18
技术公布日：2017.06.13