技术特征：
技术总结
本发明公开了一种石墨烯铌酸锂多层结构混合集成光学调制器及其制备方法，涉及光学调制器领域。该光学调制器包括双层石墨烯铌酸锂光波导，双层石墨烯铌酸锂光波导包括第一石墨烯层、铌酸锂平板波导、第二石墨烯层、第一高折射率材料层；光输入端和光输出端沿平行于衬底的第一方向分布，第一方向上具有相对设置的两端，一端与光输入端连接，另一端与光输出端连接；在平行于衬底且垂直于第一方向的第二方向上，第一石墨烯层的一端延伸至衬底的边缘，镶嵌有第一电极；第二石墨烯层相对的一端延伸至衬底另一侧的边缘，镶嵌有第二电极。本发明制备的光学调制器调制效率高，响应速率高，工作带宽大，插入损耗小，器件尺寸小。
技术研发人员：胡晓;肖希;张宇光;陈代高;王磊;冯朋;李淼峰;余少华
受保护的技术使用者：武汉邮电科学研究院
技术研发日：2017.12.25
技术公布日：2018.04.10