曝边机及基板曝边方法与流程

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种曝边机及基板曝边方法。

背景技术：

薄膜晶体管(thinfilmtransistor，tft)是目前液晶显示装置(liquidcrystaldisplay，lcd)和有源矩阵驱动式有机电致发光显示装置(activematrixorganiclight-emittingdiode，amoled)中的主要驱动元件，直接关系平板显示装置的显示性能。

现有市场上的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器，其包括液晶显示面板及背光模组(backlightmodule)。液晶显示面板的工作原理是在薄膜晶体管阵列基板(thinfilmtransistorarraysubstrate，tftarraysubstrate)与彩色滤光片(colorfilter，cf)基板之间灌入液晶分子，并在两片基板上分别施加像素电压和公共电压，通过像素电压和公共电压之间形成的电场控制液晶分子的旋转方向，以将背光模组的光线透射出来产生画面。

在lcd显示面板与oled显示面板的制造过程中，会经常用到光刻制程，在光刻制程中，基板的四周边缘经常会有光刻胶残留，因此会通过曝边机对基板的四周边缘进行曝光，以去除残留的光刻胶(即洗边)。现有的曝边机的机台有定位传感器(alignmentsensor)，当基板从上游送入曝边机后，曝边机的气缸开始作动，然后将定位传感器的探头推送到基板边缘，通过定位传感器的反馈来感知基板位置，在一定的范围则正常进行洗边，但是定位传感器只能反馈位置，而不会进行位置的补偿及调节，导致洗边精度无法保证。并且基板位置一旦超过定位传感器的感知范围，机台无法识别基板导致直接宕机，宕机后需要作业人员进入机台内部，采用人工的方式拉取基板，使基板复位，基板容易在复位处理过程中破碎，且由于探头采用较松的弹簧和气缸相连接，定位传感器容易在板复位处理过程中，被作业人员触碰到导致定位传感器的位置偏差，进而导致洗边异常。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种曝边机，可以提高曝边精度，确保去除基板的四周边缘残留的光刻胶。

本发明的目的还在于提供一种基板曝边方法，可以提高曝边精度，确保去除基板的四周边缘残留的光刻胶。

为实现上述目的，本发明提供了一种曝边机，包括：机台、设于所述机台上的多个拍摄装置以及与所述机台和多个拍摄装置均连接的控制单元；

所述机台用于放置基板；

所述拍摄装置用于获得基板的位置并根据预设的曝光位置计算位置补偿值；

所述控制单元用于根据位置补偿值控制机台调节基板的位置至预设的曝光位置。

所述拍摄装置具有与预设的曝光位置对应的曝光坐标。

所述基板上设有与曝光坐标对应的对位标记；所述拍摄装置通过曝光坐标与对位标记进行对位，并计算得到位置补偿值。

所述拍摄装置的数量为三个，所述对位标记的数量为三个，三个拍摄装置对应的曝光坐标分别与三个对位标记一一对应。

所述控制单元控制机台通过旋转调节基板的位置至预设的曝光位置。

本发明还提供一种基板曝边方法，包括如下步骤：

步骤s1、提供曝边机；所述曝边机包括：机台、设于所述机台上的多个拍摄装置以及与所述机台和多个拍摄装置均连接的控制单元；

步骤s2、将基板放置于机台上，所述拍摄装置获得基板的位置并根据预设的曝光位置计算位置补偿值；

步骤s3、所述控制单元根据位置补偿值控制机台调节基板的位置至预设的曝光位置。

所述拍摄装置具有与预设的曝光位置对应的曝光坐标。

所述基板上设有与曝光坐标对应的对位标记；所述步骤s2中，所述拍摄装置通过曝光坐标与对位标记进行对位，并计算得到位置补偿值。

所述拍摄装置的数量为三个，所述对位标记的数量为三个，三个拍摄装置对应的曝光坐标分别与三个对位标记一一对应。

所述步骤s3中，所述控制单元控制机台通过旋转调节基板的位置至预设的曝光位置。

本发明的有益效果：本发明的曝边机包括机台、设于所述机台上的多个拍摄装置以及与所述机台和多个拍摄装置均连接的控制单元，当基板进入曝边机的时候，拍摄装置获得基板的位置，并根据基板的位置与预设的曝光位置计算位置补偿值，接着将该位置补偿值反馈给控制单元，控制单元根据位置补偿值控制机台调节基板的位置至预设的曝光位置，因此本发明的曝边机可以提高曝边精度，确保去除基板的四周边缘残留的光刻胶，且不需要作业人员进入曝边机内部人工调节基板的位置，避免基板破片以及损坏曝边机的风险，此外，拍摄装置安装在机台的上方，也不会出现人员触碰导致拍摄装置损坏或偏移。本发明的基板曝边方法，可以提高曝边精度，确保去除基板的四周边缘残留的光刻胶。

附图说明

为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。

附图中，

图1为本发明的曝边机的俯视示意图；

图2为本发明的曝边机的侧视示意图；

图3为本发明的基板曝边方法的流程图。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。

请参阅图1及图2，本发明提供一种曝边机，包括：机台10、设于所述机台10上的多个拍摄装置20以及与所述机台10和多个拍摄装置20均连接的控制单元30；

所述机台10用于放置基板40；

所述拍摄装置20用于获得基板40的位置并根据预设的曝光位置计算位置补偿值；

所述控制单元30用于根据位置补偿值控制机台10调节基板40的位置至预设的曝光位置。

需要说明的是，本发明通过在机台10上设置多个拍摄装置20，当基板40进入曝边机的时候，拍摄装置20获得基板40的位置，并根据基板40的位置与预设的曝光位置计算位置补偿值，接着将该位置补偿值反馈给控制单元30，控制单元30根据位置补偿值控制机台10调节基板40的位置至预设的曝光位置，因此本发明的曝边机可以提高曝边精度，确保去除基板的四周边缘残留的光刻胶，且不需要作业人员进入曝边机内部人工调节基板40的位置，避免基板40破片以及损坏曝边机的风险。此外，拍摄装置20安装在机台10的上方，也不会出现人员触碰导致拍摄装置20损坏或偏移。

具体的，所述拍摄装置20具有与预设的曝光位置对应的曝光坐标。

进一步的，所述基板40上设有与曝光坐标对应的对位标记，所述拍摄装置20通过曝光坐标与对位标记进行对位，并计算得到位置补偿值。

具体的，所述曝边机采用三点对位的方式使拍摄装置20与基板40进行对位，即拍摄装置20的数量为三个，基板40的对位标记的数量同样为三个，三个拍摄装置20对应的曝光坐标分别与三个对位标记一一对应。

进一步的，所述基板40的三个对位标记中的两个位于基板40的长边，剩余一个位于基板40的短边。

具体的，所述控制单元30控制机台10通过旋转调节基板40的位置至预设的曝光位置。

请参阅图3，基于上述曝边机，本发明还提供一种基板曝边方法，包括如下步骤：

步骤s1、提供曝边机；所述曝边机包括：机台10、设于所述机台10上的多个拍摄装置20以及与所述机台10和多个拍摄装置20均连接的控制单元30；

步骤s2、将基板40放置于机台10上，所述拍摄装置20获得基板40的位置并根据预设的曝光位置计算位置补偿值；

步骤s3、所述控制单元30根据位置补偿值控制机台10调节基板40的位置至预设的曝光位置。

需要说明的是，当基板40进入曝边机的时候，拍摄装置20获得基板40的位置，并根据基板40的位置与预设的曝光位置计算位置补偿值，接着将该位置补偿值反馈给控制单元30，控制单元30根据位置补偿值控制机台10调节基板40的位置至预设的曝光位置，因此本发明的曝边机可以提高曝边精度，确保去除基板的四周边缘残留的光刻胶，且不需要作业人员进入曝边机内部人工调节基板40的位置，避免基板40破片以及损坏曝边机的风险。此外，拍摄装置20安装在机台10的上方，也不会出现人员触碰导致拍摄装置20损坏或偏移。

具体的，所述拍摄装置20具有与预设的曝光位置对应的曝光坐标。

进一步的，所述基板40上设有与曝光坐标对应的对位标记，所述步骤s2中，所述拍摄装置20通过曝光坐标与对位标记进行对位，并计算得到位置补偿值。

具体的，所述曝边机采用三点对位的方式使拍摄装置20与基板40进行对位，即拍摄装置20的数量为三个，基板40的对位标记的数量同样为三个，三个拍摄装置20对应的曝光坐标分别与三个对位标记一一对应。

进一步的，所述基板40的三个对位标记中的两个位于基板40的长边，剩余一个位于基板40的短边。

具体的，所述步骤s3中，所述控制单元30控制机台10通过旋转调节基板40的位置至预设的曝光位置。

综上所述，本发明的曝边机包括机台、设于所述机台上的多个拍摄装置以及与所述机台和多个拍摄装置均连接的控制单元，当基板进入曝边机的时候，拍摄装置获得基板的位置，并根据基板的位置与预设的曝光位置计算位置补偿值，接着将该位置补偿值反馈给控制单元，控制单元根据位置补偿值控制机台调节基板的位置至预设的曝光位置，因此本发明的曝边机可以提高曝边精度，确保去除基板的四周边缘残留的光刻胶，且不需要作业人员进入曝边机内部人工调节基板的位置，避免基板破片以及损坏曝边机的风险，此外，拍摄装置安装在机台的上方，也不会出现人员触碰导致拍摄装置损坏或偏移。本发明的基板曝边方法，可以提高曝边精度，确保去除基板的四周边缘残留的光刻胶。

以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。