基（4-吗嘟基苯基）-1-下酬；2-甲基-2-甲氨基（4-吗嘟基 苯基）-1-丙酬；2-甲基-2-二甲氨基（4-吗嘟基苯基）-1-丙酬；2-甲基-2-二乙氨基 (4-吗嘟基苯基）-1-丙酬，或类似物。
[0111]所述联咪挫化合物可包括，例如：2, 2'-双（2-氯苯基）-4, 4'，5, 5'-四苯 基联咪挫；2, 2'-双化3-二氯苯基）-4,4'，5, 5'-四苯基联咪挫；2, 2'-双（2-氯苯 基）-4, 4'，5, 5'-四（烷氧基苯基）联咪挫；2, 2'-双（2-氯苯基）-4, 4'，5, 5'-四（S烧 氧基苯基）联咪挫；具有在4, 4'，5, 5'位置的苯基被烧氧幾基取代的咪挫化合物，或类似 物。其中，2, 2'-双（2-氯苯基）-4, 4'，5, 5'-四苯基联咪挫和/或2, 2'-双（2, 3-二氯苯 基）-4, 4'，5, 5'-四苯基联咪挫是优选的。
[0112] 所述朽化合物可包括0-乙氧幾基-a-氧亚氨基-1-苯基-1-丙酬，或由式5,6 和7表示的化合物，或类似物。
[0113]式5: 阳114]
[0117]式7: 阳11引
[0119] 此外，通常已知的相关技术领域中的其他光聚合引发剂可W附加地与上述引发剂 一起使用，只要它们不损害本发明的效果。运些附加的光聚合引发剂可W包括，例如，苯偶 姻化合物、二苯甲酬化合物、嚷吨酬化合物、蔥化合物，或类似物，它们可W单独使用或W其 两种或更多种的组合使用。
[0120] 所述苯偶姻化合物可包括，例如，苯偶姻、苯偶姻甲酸、苯偶姻乙酸、苯偶姻异丙 酸、苯偶姻异下酸，或类似物。 阳121] 所述二苯甲酬化合物可包括，例如，二苯甲酬、邻苯甲酯苯甲酸甲醋、4-苯基二苯 甲酬、4-苯甲酯基-4'-甲基二苯基硫酸、3, 3'，4, 4'-四（叔下基过氧幾基）二苯甲酬、 2, 4, 6-S甲基二苯甲酬，等等。 阳122] 所述嚷吨酬化合物可包括，例如，2-异丙基嚷吨酬、2, 4-二乙基嚷吨酬、2, 4-二氯 嚷吨酬、1-氯-4-丙氧基嚷吨酬，或类似物。 阳123] 所述蔥化合物可W包括，例如，9, 10-二甲氧基蔥、2-乙基-9, 10-二甲氧基蔥、 9, 10-二乙氧基蔥、2-乙基-9, 10-二乙氧基蔥，或类似物。 阳124] 除了上述化合物，2, 4, 6-S甲基苯甲酯联苯氧化麟、10-下基-2-氯日丫晚酬、2-乙 基蔥酿、9, 10-菲酿、精脑酿、苯基乙醒酸甲醋（methylphenylchlio巧late)、二茂铁化合物 等，也可W用作光聚合引发剂。
[01巧]另外，也可W使用具有能够发生链转移的基团的替代光聚合引发剂。运样的光聚 合引发剂可包括，例如，在申请公开号为2002-544205的日本专利中公开的化合物。
[0126] 具有能够发生链转移的基团的光聚合引发剂可包括，例如，由W下式8至13表示 的化合物。 阳127] 式8: 阳12引
[0131]式 10: 阳m]
[0139] 此外，根据本发明，所述光聚合引发剂可组合并与光聚合引发增强剂一起使用。当 将所述光聚合引发增强剂与所述光聚合引发剂一起使用时，包含它们两者的光敏树脂组合 物可具有更高的灵敏度，因此更好地在形成间隙子的过程中提高生产率。
[0140] 作为所述光聚合引发增强剂，胺化合物或簇酸化合物是优选使用的。 阳141] 在所述光聚合引发增强剂中所述胺化合物的具体实例可W包括，例如：脂肪族胺 化合物如S乙醇胺、甲基二乙醇胺、S异丙醇胺等；芳香胺化合物如4-二甲氨基苯甲酸甲 醋、4-二甲氨基苯甲酸乙醋、4-二甲氨基苯甲酸异戊醋、4-二甲氨基苯甲酸2-乙基己醋、苯 甲酸二基甲氨基乙醋、N，N-二甲基对甲苯胺、4, 4'-双（二甲氨基）二苯甲酬（通常称为米 蛋酬（Michler'sketone))、4, 4'-双（二乙氨基）二苯甲酬，或类似物。其中，芳香族胺化 合物优选被用作胺化合物。 阳142] 在所述光聚合引发增强剂中所述簇酸化合物的具体实例可包括芳香异乙酸如苯 基硫代乙酸、甲基苯基硫代乙酸、乙基苯基硫代乙酸、甲基乙基苯基硫代乙酸、二甲基苯基 硫代乙酸、甲氧基苯基硫代乙酸、二甲氧基苯基硫代乙酸、氯苯基硫代乙酸、二氯苯基硫代 乙酸、N-苯基甘氨酸、苯氧乙酸、糞基硫代乙酸、N-糞基甘氨酸、糞氧乙酸，等等。
[0143] 相对于所述碱可溶性树脂和光聚合性化合物的总量100重量份来说，所述光聚合 引发剂的含量可W为0. 1-40重量份的范围，并优选为1-30重量份。另外，参照上述相同的 标准，所述光聚合引发增强剂的含量可W为0. 1-50重量份的范围，并优选为1-40重量份。
[0144] 如果光聚合引发剂的含量在上述范围内，则所述光敏树脂组合物可W变得高度灵 敏，并且使用上述组合物形成的间隙子可W具有良好的强度或光滑度，因此是优选的。此 夕F，当所述光聚合引发增强剂的所述含量在上述范围内时，则所述光敏树脂组合物的灵敏 度可被进一步提高，并且使用运种组合物形成的间隙子随图案生产率的提高而变得更优 越，因此是优选的。 阳145] <溶剂值)〉 阳146] 运里所用的溶剂可W是通常使用在相关技术中的任何一种，没有特别限制。 阳147] 所述溶剂的具体实例可W包括乙二醇单烷基酸，如乙二醇单甲酸、乙二醇单乙酸、 乙二醇单丙酸、乙二醇单下酸等；二乙二醇二烷基酸，如二乙二醇二甲酸、二乙二醇二乙酸、 二乙二醇甲乙酸、二乙二醇二丙酸、二乙二醇下酸等；乙二醇烷基酸乙酸醋，如甲基溶纤剂 乙酸醋、乙基溶纤剂乙酸醋、乙二醇单下酸乙酸醋、乙二醇单乙酸乙酸醋等；亚烷基二醇烧 基酸乙酸醋，如丙二醇单甲酸乙酸醋、丙二醇单乙酸乙酸醋、丙二醇单丙酸乙酸醋、甲氧基 乙酸下醋、甲氧基乙酸戊醋等；丙二醇单烷基酸，例如丙二醇单甲酸、丙二醇单乙酸、丙二醇 单丙酸、丙二醇单下酸等；丙二醇二烷基酸，如丙二醇二甲酸、丙二醇二乙酸、丙二醇甲乙 酸、丙二醇二丙酸、丙二醇甲丙酸、丙二醇乙丙酸等；丙二醇烷基酸丙酸醋，如丙二醇甲酸丙 酸醋、丙二醇乙酸丙酸醋、丙二醇丙酸丙酸醋、丙二醇下酸丙酸醋等；下二醇单烷基酸，如甲 氧基下醇、乙氧基下醇、丙氧基下醇、下氧基下醇等；下二醇单烷基酸乙酸醋，如甲氧基乙酸 下醋、乙氧基乙酸下醋、丙氧基乙酸下醋、下氧基乙酸下醋等；下二醇单烷基酸丙酸醋，如甲 氧基丙酸下醋、乙氧基丙酸下醋、丙氧基丙酸下醋、下氧基下酸下醋等；二丙二醇二烷基酸， 如二丙二醇二甲酸、二丙二醇二乙酸、二丙二醇甲乙酸等；芳香控，如苯、甲苯、二甲苯、均= 甲苯等；酬，如甲乙酬、丙酬、甲戊酬、甲基异下基酬、环己酬等；醇，如乙醇、丙醇、下醇、己 醇、环己醇、乙二醇、甘油等；醋，如乙酸甲醋、乙酸乙醋、乙酸丙醋、乙酸下醋、2-径基丙酸 乙醋、2-径基-2-甲基丙酸甲醋、2-径基-2-甲基丙酸乙醋、径基乙酸甲醋、径基乙酸乙醋、 径基乙酸下醋、乳酸甲醋、乳酸乙醋、乳酸丙醋、乳酸下醋、3-径基丙酸甲醋、3-径基丙酸乙 醋、3-径基丙酸丙醋、3-径基丙酸下醋、2-径基-3-甲基下酸甲醋、甲氧基乙酸甲醋、甲氧 基乙酸乙醋、甲氧基乙酸丙醋、甲氧基乙酸下醋、乙氧基乙酸甲醋、乙氧基乙酸乙醋、乙氧基 乙酸丙醋、乙氧基乙酸下醋、丙氧基乙酸甲醋、丙氧基乙酸乙醋、丙氧基乙酸丙醋、丙氧基乙 酸下醋、下氧基乙酸甲醋、下氧基乙酸乙醋、下氧基乙酸丙醋、下氧基乙酸下醋、2-甲氧基丙 酸甲醋、2-甲氧基丙酸乙醋、2-甲氧基丙酸丙醋、2-甲氧基丙酸下醋、2-乙氧基丙酸甲醋、 2- 乙氧基丙酸乙醋、2-乙氧基丙酸丙醋，2-乙氧基丙酸下醋、2-下氧基丙酸甲醋、2-下氧 基丙酸乙醋、2-下氧基丙酸丙醋、2-下氧基丙酸下醋、3-甲氧基丙酸甲醋、3-甲氧基丙酸乙 醋、3-甲氧基丙酸丙醋、3-甲氧基丙酸下醋、3-乙氧基丙酸甲醋、3-乙氧基丙酸乙醋、3-乙 氧基丙酸丙醋、3-乙氧基丙酸下醋、3-丙氧基丙酸甲醋、3-丙氧基丙酸乙醋、3-丙氧基丙 酸丙醋、3-丙氧基丙酸下醋、3-下氧基丙酸甲醋、3-下氧基丙酸乙醋、3-下氧基丙酸丙醋、 3-下氧丙酸下醋等；环酸，如四氨巧喃、化喃等；环醋，如丫 -下内醋，或类似物。在上述例 示的化合物可单独使用或W两种或更多种的组合使用。
[0148] 考虑到应用性和干燥性，运里使用的溶剂可W是醋，包括，例如，亚烷基二醇烷基 酸乙酸醋、酬、下二醇烷基酸乙酸醋、下二醇单烷基酸、3-乙氧基丙酸乙醋、3-甲氧基丙酸 甲醋，或类似物。更优选地，丙二醇单甲酸乙酸醋、丙二醇单乙酸乙酸醋、环己酬、甲氧基乙 酸下醋、甲氧基下醇、3-乙氧基丙酸乙醋、3-甲氧基丙酸甲醋等，都可W使用。
[0149] 相对于包括所述溶剂的所述光敏树脂组合物的总重量而言，溶剂的含量可W为 60% -90wt. %的范围，并优选为70% -85wt. %。当所述溶剂的含量在上述范围内时，它是 有利的，因为当使用旋转涂布机、狭缝&旋转涂布机、狭缝涂布机（有时称为模涂布机或幕 涂流动涂料机）、喷墨机等涂覆该溶剂时可W达到良好的涂覆效果。 阳150] <添加剂巧)〉 阳151] 根据本发明的光敏树脂组合物可进一步包括添加剂，如填充剂、替代聚合物、固化 剂、均化剂、助粘剂、抗氧化剂、紫外线吸收剂、抗凝剂、链转移剂，或类似物。 阳152] 所述填料的具体实例可包括玻璃、二氧化娃、氧化侣，或类似物。
[0153] 所述替代聚合物的具体实例可包括可可固化树脂，如环氧树脂、马来酷亚胺树脂 等，热塑性树脂如聚乙締醇、聚丙締酸、聚乙二醇单烷基酸、聚氣烷基丙締酸醋、聚醋、聚氨 醋，或类似物。
[0154] 所述固化剂用于深部固化和提高机械强度，且该固化剂的具体实例可W包括环氧 化合物、多官能团异氯酸醋化合物、=聚氯胺化合物、氧杂环下烧化合物，或类似物。
[0K5] 所述固化剂中环氧化合物的具体实例可W包括双酪A型环氧树脂、氨化双酪A型 环氧树脂、双酪F型环氧树脂、氨化双酪F型环氧树脂、酪醒环氧树脂、其它芳香族环氧树 月旨、脂环族环氧树脂、缩水甘油醋树脂、缩水甘油胺树脂，或所述环氧树脂的漠化衍生物；除 了所述环氧树脂和其漠化衍生物W外的脂肪族、脂环族或芳香族环氧化合物，下二締（共） 聚合物环氧化物等；异戊二締（共）聚合物环氧化物；缩水甘油基（甲基）丙締酸醋（共） 聚合物；异氯脈酸=缩水甘油醋，或类似物。 阳156] 所述固化剂的氧杂环下烧化合物的具体实例没有特别限制，但可包括，例如，碳酸 双氧杂环下烧、二甲苯双氧杂环下烧、己二酸双氧杂环下烧、对苯二甲酸双氧杂环下烧、环 己烧二簇酸双氧杂环下烧，或类似物。
[0157] 所述固化剂可与固化助剂一起使用，该固化助剂可使所述环氧化合物的环氧基或 所述氧杂环下烧化合物的氧杂环下烧骨架与固化剂开环聚合。该固化助剂可W包括，例如， 多元簇酸、多元簇酸酢、产酸剂，或类似物。
[0158] 所述簇酸酢可W包括任何市售环氧树脂固化剂。所述市售环氧树脂固化剂可W包 括，例如，Adek址adonaEH-700(商品名，由AdekaElngineeringCo.Ltd.生产），Likashitdo 皿（商品名，由化wJapanQiemicals,Co.Ltd.生产），MH-700(商品名，由化wJapan 化emicals，Co.Ltd.生产），等等。上述例示的固化剂可W单独使用或W其两种或更多种的 组合使用。 阳159] 所述均化剂可W包括任何市售表面活性剂，例如，娃-、氣-、醋-、阳离子的、阴离 子的、非离子的或两性的表面活性剂，或类似物，其可W单独使用或W两种或更多种的组合 使用。所述表面活性剂可W包括，例如，聚氧乙締烷基酸、聚氧乙締烷基苯基酸、聚乙二醇二 醋、脱水山梨醇脂肪酸醋、脂肪酸改性聚醋、叔胺改性聚氨醋、聚乙締亚胺，或类似物。
[0160] 市售的所述表面活性剂可W包括，例如，KP(商品名，由化inetsu化emical IndustriesCo.Ltd.生产）、POLYFLOW