保管容器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及保管容器。
【背景技术】
[0002]对用于半导体等曝光的中间掩膜而言，在进行输送、保管时为了保护其远离尘、埃而需要保持为干净的状态。因此，在保管中间掩膜的保管容器中，向其内部供给吹扫气体(干净气体)(例如，参照专利文献1)。
[0003]专利文献1:日本专利4215079号公报
[0004]保管容器有将收纳中间掩膜的保管部上下重叠多层的结构。在这样的保管容器中，一般从一个位置的供给部向内部供给吹扫气体，经由遍及上下设置的流路向各保管部供给吹扫气体。在该情况下，在保管容器内中，在接近供给部的部分，吹扫气体的流速快，而在远离供给部的部分，吹扫气体的流速慢。因此，在保管容器中，吹扫气体的流速变得不均匀，其结果是，存在在保管部中的吹扫气体的气氛产生差异的顾虑。
【发明内容】
[0005]本发明的目的是提供一种实现吹扫气体的流速均匀化的保管容器。
[0006]本发明的一个方面的保管容器设有多层具有收纳物品的收纳区域的保管部，其特征在于，具备:供给部，其供给吹扫气体；管道部，其在多个保管部重叠的状态下遍及多个保管部地连通而成为从供给部供给的吹扫气体的流路；以及导入部，其将管道部与收纳区域连通并将吹扫气体向收纳区域导入，在管道部的吹扫气体的流路配置有扩散部件。
[0007]在该保管容器中，在管道部的吹扫气体的流路配置有扩散部件。由此，在保管容器中，吹扫气体通过扩散部件而被扩散。因此，在保管容器中，例如将扩散部件配置于流速快的部分，从而能够降低流速。因此，在保管容器中，能够实现吹扫气体的流速的均匀化。其结果是，在保管容器中，即使在通常流速快的部分，吹扫气体也能大范围地遍及，所以能够抑制各保管部的吹扫气体的气氛的差异。
[0008]在一实施方式中，扩散部件也可以是从管道部的内壁突出的板状的部件。由此，在保管容器中，能够通过简易的结构使吹扫气体扩散，所以能够通过简易的结构实现吹扫气体的流速的均匀化。
[0009]在一实施方式中，扩散部件可以配置于被从供给部供给的吹扫气体的流入方向的延长线上。吹扫气体在从供给部的流入方向流速变快。因此，将扩散部件配置于吹扫气体的流入方向的延长线上，由此能够有效地使吹扫气体扩散，能够有效能够实现流速的均匀化。
[0010]在一实施方式中，扩散部件可以设置于在供给部的附近配置的保管部。吹扫气体在接近供给部的部分的流速变快，在远离供给部的部分的流速变慢。因此，在保管容器中，将扩散部件设置于在供给部的附近配置的保管部。由此，在保管容器中，利用扩散部件使吹扫气体扩散，由此能够降低接近供给部的部分的吹扫气体的流速。因此，在保管容器中，能够很好地实现吹扫气体的流速的均匀化。
[0011]在一实施方式中，扩散部件的面积可以根据距供给部的距离而不同。如上述那样，吹扫气体在接近供给部的部分的流速变快，在远离供给部的部分的流速变慢。因此，在保管容器中，例如增大配置于接近供给部的位置的扩散部件的面积，由此能够更有效地使吹扫气体扩散。其结果是，在保管容器中，能够很好地实现吹扫气体的流速的均匀化。
[0012]根据本发明，能实现吹扫气体的流速的均匀化。
【附图说明】
[0013]图1是一实施方式的保管容器的主视图。
[0014]图2是图1所示的保管容器的侧视图。
[0015]图3是图1所示的保管容器的仰视图。
[0016]图4是图1所示的保管容器的俯视图。
[0017]图5是示出底部的立体图。
[0018]图6是示出保管部的立体图。
[0019]图7是示出底部与保管部重叠的状态的立体图。
[0020]图8是示出沿图7的VII1-VIII线处的剖面结构的图。
[0021]图9是示出沿图7的IX-1X线处的剖面结构的图。
[0022]图10是示出盖部的立体图。
[0023]图11是示出图10的X1-XI线处的剖面结构的图。
【具体实施方式】
[0024]以下，参照附图，详细说明本发明的优选实施方式。此外，在附图的说明中对相同或者相当的要素标注相同附图标记，并省略重复的说明。
[0025]图1是一实施方式的保管容器的主视图。图2是图1所示的保管容器的侧视图。图3是图1所示的保管容器的仰视图。图4是图1所示的保管容器的俯视图。各图所示的保管容器1例如是将中间掩膜(物品)保管在干净的气氛的容器。此外，保管于保管容器1的物品不限定于中间掩膜。
[0026]保管容器1具备底部3、保管部5、盖部7。保管部5上下层叠有多层(这里为11个)。在以下的说明中，将图1的左右作为“右”、“左”，将图2的左右作为“后”、“前”。
[0027]图5是不出底部的立体图。如图5所不，底部3是板状的部件。在底部3设置有向保管容器1内供给吹扫气体的供给部10。供给部10配置于底部3的后部且在左右方向的大致中央部。供给部10例如呈近似圆形，是贯通底部3的贯通孔。供给部10的形状没有特别限定，例如也可以是矩形、梯形。从未图示的供给源向供给部10供给吹扫气体。在底部3设置有与保管部5卡合的卡合部12a、12b。卡合部12a、12b是筒状的部件，在底部3的后部相互在左右方向分离而配置。
[0028]图6是示出保管部的立体图。如图6所示，保管部5具备侧部20a、20b、20c、20d、管道部22、导入部24。侧部20a?20d形成收纳中间掩膜的近似矩形的收纳区域S。在侧部20a?20d的内壁设置有支承中间掩膜的支承部26a、26b、26c、26d。在位于左右以及后部的侧部20a?20d的外侧设置有凸缘部28a、28b、28c。在凸缘部28c设置有与保管部5卡合的卡合部29a、29b。卡合部29a、29b是筒状的部件，在凸缘部28c上以相互在左右方向分离的方式配置。
[0029]管道部22形成吹扫气体的流路。管道部22配置于保管部5的后部，位于侧部20a与凸缘部28c之间。管道部22沿保管部5的左右方向设置。在管道部22设置有分隔部30a、30b、30c、30d。分隔部30a?30d在管道部22中沿左右方向空开规定的间隔而配置有多个(这里为4个)。管道部22在保管部5被层叠时与其它保管部5的管道部22连通。
[0030]图7是示出底部与保管部重叠的状态的立体图。在图7中，在底部3上层叠有2个保管部5。图8是示出图7的VII1-VIII线处的剖面结构的图。图9是示出图7的IX-1X线处的剖面结构的图。如图8所示，分隔部30a?30d沿上下方向延伸。分隔部30a?30d的下端部位于比保管部5的底面更靠上方。S卩，如图8所示，在保管部5被层叠的状态下，分隔部30a?30d与邻接的分隔部30a?30d之间形成空间。由此，在管道部22形成了沿左右方向流动吹扫气体的流路。
[0031]在本实施方式中，在上下层叠的多个保管部5中，在一部分的保管部5的管道部22设置有扩散部件32。具体而言，例如，在多个保管部5中，在配置于保管容器1的下部侧的保管部5的管道部22设置有扩散部件32。扩散部件32是从管道部22的内壁22a突