显示基板母板及其制造和检测方法以及显示面板母板的制作方法

显示基板母板及其制造和检测方法以及显示面板母板的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明至少一实施例涉及一种显示基板母板及其制造方法、显示面板母板、和检测显示基板母板的方法。
【背景技术】
[0002]通常，薄膜晶体管液晶显不器(ThinFilm Transistor Liquid Crystal Display,TFT-1XD)，其基本结构包括阵列基板(Array Substrate)、彩膜基板(Color FilterSubstrate)、以及夹设在两片基板之间的液晶(Liquid Crystal)层。显示器件中还包括用于控制液晶偏转的像素电极和公共电极。TFT-LCD中，通过控制液晶分子的偏转，从而实现对光线强弱的控制，然后通过彩膜基板的滤光作用，实现彩色图像显示。例如，彩膜基板包括黑矩阵和用于显示颜色的彩色树脂。阵列基板和/或彩膜基板即为显示基板。
[0003]通常，生产过程中，在一张母板基板上可以制作包括多个显示基板的显示基板母板，以提高生产效率。上下两个显示基板(例如，阵列基板和彩膜基板)对盒后经分割成为一个个小的液晶显示面板。
[0004]在显示基板的制作过程中，由于各层的厚度差异、各层制作顺序的不同会产生段差。在成盒工艺中，要求显示基板表面具有一定的平坦度，防止由于平坦度不足而造成的涂覆的取向膜在不平坦处配向效果不佳产生配向不良(Rubbing Mura)，从而降低了液晶显示面板的显示质量。因此，有必要在显示基板的生产过程中对各类段差进行测定和监控。

【发明内容】

[0005]本发明至少一实施例提供一种显示基板母板及其制造和检测方法以及显示面板母板。该显示基板母板可结合段差机对膜厚和段差进行准确测定，以解决因测量者对像素轮廓识别不同而造成的数据输出具有差异的问题，并且不需刮膜即可测定膜厚。
[0006]本发明至少一个实施例提供一种显示基板母板，包括衬底基板、位于所述衬底基板上的用以形成多个显示基板的多个显示基板区以及位于所述显示基板区之间的间隔区，
[0007]在所述间隔区内设置有至少一个检测区；
[0008]所述检测区包括至少一个膜层，所述显示基板区至少包括与所述检测区的至少一个膜层同层设置的膜层。
[0009]例如，在本发明一实施例提供的显示基板母板中，所述检测区的膜层和所述显示基板区与该膜层同层设置的膜层具有相同的厚度。
[0010]例如，在本发明一实施例提供的显示基板母板中，各所述显示基板区包括显示像素区，每个所述检测区包括虚设像素区，所述检测区包括的至少一个膜层位于所述虚设像素区内，所述显示基板区至少包括的与所述检测区的至少一个膜层同层设置的膜层位于所述显示像素区内。
[0011]例如，在本发明一实施例提供的显示基板母板中，所述虚设像素区包括的膜层个数小于或等于所述显示像素区包括的膜层个数。
[0012]例如，在本发明一实施例提供的显示基板母板中，所述检测区具有外围边框，所述外围边框围绕在所述虚设像素区外，所述外围边框与所述虚设像素区之间为裸露所述衬底基板的空白区。
[0013]例如，在本发明一实施例提供的显示基板母板中，所述显示像素区包括呈阵列排布的多个显示像素单元，每个显示像素单元包括多个子显示像素单元；
[0014]所述虚设像素区包括呈阵列排布的多个虚设像素单元，每个虚设像素单元包括多个子虚设像素单元；
[0015]每个所述虚设像素单元中子虚设像素单元的个数与每个所述显示像素单元中子显示像素单元的个数相等，并且所述虚设像素单元中多个子虚设像素单元的尺寸分别与所述显示像素单元中多个子显示像素单元的尺寸一一对应相等；
[0016]至少一个所述子虚设像素单元和所述显示像素单元中与该子虚设像素单元对应的子显示像素单元分别包括所述同层设置在所述虚设像素区和所述显示像素区的至少一个膜层的至少一部分。
[0017]例如，在本发明一实施例提供的显示基板母板中，所述检测区为多个，多个所述检测区内的所述虚设像素区相同或不同。
[0018]例如，在本发明一实施例提供的显示基板母板中，至少一个所述检测区内的所述虚设像素区内的各所述虚设像素单元与所述显示基板区的所述显示像素区内的各所述显示像素单元相同。
[0019]例如，在本发明一实施例提供的显示基板母板中，所述检测区包括的所述至少一个膜层包括黑矩阵层和彩膜层中的至少一个。
[0020]例如，在本发明一实施例提供的显示基板母板中，至少一个所述虚设像素单元中至少一个子虚设像素单元只含有黑矩阵层的至少一部分。
[0021]例如，在本发明一实施例提供的显示基板母板中，多个只含有黑矩阵层的至少一部分的子虚设像素单元在所述虚设像素区内规则分布。
[0022]例如，在本发明一实施例提供的显示基板母板中，多个只含有黑矩阵层的至少一部分的子虚设像素单元在所述虚设像素区内不规则分布。
[0023]例如，在本发明一实施例提供的显示基板母板中，所述显示像素单元包括红色子显示像素单元、绿色子显示像素单元和蓝色子显示像素单元中的至少之一。
[0024]例如，在本发明一实施例提供的显示基板母板中，所述显示基板母板包括阵列基板母板或彩膜基板母板。
[0025]例如，在本发明一实施例提供的显示基板母板中，所述显示基板母板为彩膜基板母板，所述外围边框与所述彩膜基板母板上的黑矩阵同层设置。
[0026]例如，在本发明一实施例提供的显示基板母板中，所述虚设像素区的面积小于所述显示像素区的面积。
[0027]例如，在本发明一实施例提供的显示基板母板中，所述虚设像素区的面积小于所述显示像素区的面积的十分之一。
[0028]本发明至少一个实施例还提供一种显示面板母板，包括上述任一显示基板母板。
[0029]本发明至少一个实施例还提供一种显示基板母板的制造方法，包括在衬底基板上形成多个显示基板区，位于所述显示基板区之间的区域为间隔区，在所述间隔区内形成有至少一个检测区，
[0030]所述检测区包括至少一个膜层，所述显示基板区至少包括与所述检测区的至少一个膜层同层形成的膜层。
[0031]例如，在本发明一实施例提供的显示基板母板的制造方法中，所述检测区与所述显示基板区同层形成的膜层通过一次构图工艺形成。
[0032]本发明至少一个实施例还提供一种检测上述任一显示基板母板的方法，包括如下步骤:
[0033](1)根据检测区设计的位置参数，找到所述检测区的位置；
[0034](2)检测所述检测区至少一个膜层的厚度。
[0035]例如，在本发明一实施例提供的检测显示基板母板的方法中，每个所述检测区内设置有虚设像素区，所述检测区具有外围边框，所述外围边框围绕在所述虚设像素区外，所述外围边框与所述虚设像素区之间为裸露所述衬底基板的空白区，
[0036]检测所述检测区至少一个膜层的厚度的方法包括将段差机探针从所述检测区的空白区向所述虚设像素区平移。
【附图说明】
[0037]为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本发明的一些实施例，而非对本发明的限制。
[0038]图1为一种段差机测量数据输出图；
[0039]图2为显不基板母板区域不意图；
[0040]图3为图2中虚线框A所示区域的示意图；
[0041]图4a和图4b分别为图3中B_B’和C_C’的截面示意图；
[0042]图5为检测区黑矩阵示意图或只含有黑矩阵的检测区内虚设像素区示意图；
[0043]图6为检测区的虚设像素区内设置有蓝色、绿色和红色子虚设像素单元的示意图；
[0044]图7为检测区的虚设像素区内只设置一种颜色的子虚设像素单元的示意图；
[0045]图8为检测区的虚设像素区内部分设置蓝色、绿色和红色子虚设像素单元的示意图；
[0046]图9为掩模板区域示意图；
[0047]图10为图9中虚线框A’所示区域的示意图；
[0048]图11为用于形成蓝色子显示像素单元和蓝色子虚设像素单元的图9中虚线框A’所示区域掩模板设计示意图；
[0049]图12为用于形成图8所示的蓝色子虚设像素单元的检测区掩模板设计示意图；
[0050]图13为段差机探针检测显示基板母板中的检测区的示意图。
[0051]附图标记:
[0052]100-显不基板母板；101-衬底基板；102-显不基板区；103-间隔区；104-检测区；105_黑矩阵；1051_黑矩阵；106_显示像素单元；107_子显示像素单元；108_显示像素区；109_虚设像素区；110_外围边框；111-空白区；112_虚设像素单元；113_子虚设像素单元；114_彩膜层；1141_彩膜层；115_蓝色子显示像素单元；116_绿色子显示像素单元；117-红色子显示像素单元；1151_蓝色子虚设像素单元；1161_绿色子虚设像素单元；11