辐射敏感树脂组合物及电子部件的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及辐射敏感树脂组合物、以及具备由该辐射敏感树脂组合物形成的树脂 膜的电子部件，更具体而言，涉及能够获得曝光灵敏度高、在氧化性气体氛围中进行烧制之 后也具有高透明性、且相对于金属的耐腐蚀性优异的树脂膜的辐射敏感树脂组合物、以及 具备由该辐射敏感树脂组合物形成的树脂膜的电子部件。
【背景技术】
[0002] 在集成电路元件、液晶显示元件、有机EL元件、固体摄像元件、LED (发光二极管)元 件、MEMS镜器件、印刷电路板等电子部件中，作为用于防止部件自身的劣化及损伤的保护 膜、用于使元件表面、布线实现平坦化的平坦化膜、用于保持电绝缘性的电绝缘膜等、用于 将发光部分离的像素分离膜、用于使光聚光、扩散的光学膜，设置有各种树脂膜。另外，在薄 膜晶体管型液晶用显示元件、集成电路元件等元件中，为了使配置成层状的布线之间绝缘， 设置有作为层间绝缘膜的树脂膜。而伴随布线、器件的高密度化，对于这些平坦化膜、绝缘 膜等树脂膜，要求开发出用以形成这样的树脂膜的电气特性、透明性优异的辐射敏感树脂 组合物。此外，最近，在有机EL元件中设置有像素分离膜、用于对元件进行平坦化的树脂膜， 而为了延长发光体的寿命，要求开发出绝缘性高、透明性优异、低气体排放性优异的辐射敏 感树脂组合物。
[0003] 以往，作为用于形成这些树脂膜的树脂材料，常用的是环氧树脂等热固性树脂材 料。但随着近年来布线、器件的高密度化，对于这些树脂材料，也要求开发出低介电性等电 气特性优异的新型的树脂材料。
[0004] 为了满足这些要求，例如，专利文献1中公开了一种辐射敏感树脂组合物，其含有： 具有酸性基团的脂环式烯烃聚合物、具有2个以上与上述酸性基团反应的官能团的化合物、 鑰盐、相对于上述聚合物1〇〇重量份为3~15重量份的抗氧化剂。需要说明的是，在该专利文 献1中，作为具有2个以上与酸性基团反应的官能团的化合物，公开了使用具有2个以上环氧 基或氧杂环丁基的化合物的例子。根据该专利文献1的辐射敏感树脂组合物，尽管能够得到 在长时间的高温加热条件下膜厚变化也少、可保持透明性的树脂膜，但所得树脂膜相对于 布线等所使用的金属材料的耐腐蚀性并不一定充分，因此，期待改善其相对于金属材料的 耐腐蚀性。
[0005] 现有技术文献
[0006] 专利文献
[0007] 专利文献1:日本特开2006-265322号公报
【发明内容】
[0008]发明要解决的问题
[0009]本发明的目的在于提供能够获得曝光灵敏度高、在氧化性气体氛围中进行烧制之 后也具有高透明性、并且相对于金属的耐腐蚀性优异的树脂膜的辐射敏感树脂组合物，以 及具备由这样的辐射敏感树脂组合物形成的树脂膜的电子部件。
[0010]解决问题的方法
[0011]本发明人等为达成上述目的而进行了深入研究，结果发现，利用包含具有酸性基 团的脂环式烯烃聚合物、特定的锍盐系光产酸剂、及交联剂的辐射敏感树脂组合物，可以达 成上述目的，进而完成了本发明。
[0012]即，根据本发明，可提供：
[0013] [1]-种辐射敏感树脂组合物，其含有:具有酸性基团的脂环式烯烃聚合物(A)、下 述通式(1)所示的锍盐系光产酸剂(B)、及交联剂(C);
[0016](上述通式⑴中，妒、妒、护各自独立地表示碳原子数6~30的芳基、碳原子数4~30 的杂环基、碳原子数1~30的烷基、碳原子数2~30的烯基或碳原子数2~30的炔基，且这些 基团任选具有取代基。a为1~5的整数。）
[0017] [2]上述[1]所述的辐射敏感树脂组合物，其中，上述通式（1)中，R\R2、R 3为碳原子 数6~30的芳基；
[0018] [3]上述[2]所述的辐射敏感树脂组合物，其中，上述通式（1)中，R\R2、R 3为苯基；
[0019] [4]上述[1]~[3]中任一项所述的辐射敏感树脂组合物，其中，上述通式（1)中，a 为3;
[0020] [5]上述[1]~[4]中任一项所述的辐射敏感树脂组合物，其还含有抗氧化剂(D);
[0021] [6]上述[1]~[5]中任一项所述的辐射敏感树脂组合物，其中，相对于上述具有酸 性基团的脂环式烯烃聚合物(A)100重量份，上述锍盐系光产酸剂(B)的含有比例为1~15重 量份；
[0022] [7]上述[1]~[6]中任一项所述的辐射敏感树脂组合物，其中，上述交联剂(C)为 具有2个以上环氧基的化合物；
[0023] [8]上述[1]~[7]中任一项所述的辐射敏感树脂组合物，其中，上述交联剂(C)为 具有2个以上氧杂环丁基的化合物；
[0024] [9]上述[7]或[8]所述的辐射敏感树脂组合物，其中，上述交联剂(C)为具有2个以 上环氧基的化合物及具有2个以上氧杂环丁基的化合物；以及
[0025] [10]-种电子部件，其具备由上述[1]~[9]中任一项所述的辐射敏感树脂组合物 形成的树脂膜。
[0026]发明的效果
[0027] 根据本发明，可提供能够获得曝光灵敏度高、在氧化性气体氛围中进行烧制之后 也具有高透明性、且相对于金属的耐腐蚀性优异的树脂膜的辐射敏感树脂组合物，以及具 备由该辐射敏感树脂组合物形成的树脂膜的电子部件。
【具体实施方式】
[0028] 本发明的辐射敏感树脂组合物含有:具有酸性基团的脂环式烯烃聚合物(A)、后述 的通式(1)所示的锍盐系光产酸剂(B)、及交联剂(C)。
[0029] (具有酸性基团的脂环式烯烃聚合物(A))
[0030] 作为具有酸性基团的脂环式烯烃聚合物（A)(以下简称为"脂环式烯烃聚合物 (A)"），可列举1种或2种以上环状烯烃单体的聚合物、或1种或2种以上环状烯烃单体和能够 与其共聚的单体的共聚物，在本发明中，作为用于形成脂环式烯烃聚合物(A)的单体，优选 至少使用具有酸性基团的环状烯烃单体(a)。
[0031] 作为具有酸性基团的环状烯烃单体(a)(以下，适当称为"单体(a)"）的具体例，可 列举:2-羟基羰基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-甲基-2-羟基羰基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-羧基 甲基-2-羟基羰基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-羟基羰基-2-甲氧基羰基甲基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-羟基羰基-2-乙氧基羰基甲基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-羟基羰基-2-丙氧基羰基甲基 双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-羟基羰基-2-丁氧基羰基甲基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-羟基羰基-2_戊氧基羰基甲基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-羟基羰基-2-己氧基羰基甲基双环[2.2.1 ]庚- 5-烯、2-羟基羰基-2-环己氧基羰基甲基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-羟基羰基-2-苯氧基羰基 甲基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-羟基羰基-2-萘氧基羰基甲基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-羟基羰 基-2-联苯氧基羰基甲基双环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-2-苄氧基羰基甲基双环 [2.2.1 ]庚-5-烯、2-羟基羰基-2-羟基乙氧基羰基甲基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2，3-二羟基羰 基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-甲氧基羰基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-乙氧基羰基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-丙氧基羰基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-羟基 羰基-3-丁氧基羰基双环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-戊氧基羰基双环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-己氧基羰基双环[2.2.1]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-环己氧基羰基双环 [2.2.1 ]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-苯氧基羰基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-萘氧基 羰基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-联苯氧基羰基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-羟基羰 基-3-苄氧基羰基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-羟基乙氧基羰基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-羟基羰基-3-羟基羰基甲基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、3-甲基-2-羟基羰基双环[2.2.1 ] 庚-5-烯、3-羟基甲基-2-羟基羰基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-羟基羰基三环[5.2.1.02，6 ]癸_ 3，8-二烯、4-羟基羰基四环[6.2.1.13,6.02, 7]十二碳-9-烯、4-甲基-4-羟基羰基四环 [6.2.1.13'6.0 2'7]十二碳-9-烯、4,5-二羟基羰基四环[6.2丄13'6.0 2'7]十二碳-9-烯、4-羧 基甲基-4-羟基羰基四环[6.2.1.13' 6.02'7]十二碳-9-烯、N-(羟基羰基甲基）双环[2.2.1] 庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(羟基羰基乙基）双环[2.2.1 ]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(羟基羰基戊基)双环[2.2.1 ]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(二羟基羰基乙基)双环[2.2.1 ] 庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(二羟基羰基丙基)双环[2.2.1 ]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(羟基羰基苯乙基)双环[2.2.1 ]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N- (2- (4-羟基苯基)-1 -(羟基羰 基）乙基)双环[2.2.1 ]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(羟基羰基苯基)双环[2.2.1 ]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺等含羧基的环状烯烃;2-(4-羟基苯基)双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-甲基-2-(4-羟基苯基)双环[2.2.1]庚-5-烯、4-(4-羟基苯基）四环[6.2.1 · 13'6.02'7]十二碳-9-烯、 4-甲基-4-(4-羟基苯基）四环[^."，^。十二碳-卜烯^-羟基双环^^庚-卜烯、 2-羟基甲基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-羟基乙基双环[2.2.1 ]庚-5-烯、2-甲基-2-羟基甲基双 环[2.2.1]庚-5-烯、2,3-二羟基甲基双环[2.2.1]庚-5-烯、2-(羟基乙氧基羰基）双环 [2.2.1 ]庚_5_稀、2_甲基_2_ (羟基乙氧基幾基)双环[2.2.1 ]庚_5_稀、2_ (1_羟基-1-二氣甲 基-2，2，2_二氣乙基)双环[2.2.1 ]庚_5_稀、2_(2_羟基_2_二氣甲基_3，3，3_二氣丙基)双环
[2.2.1]庚-5-烯、3-羟基三环[5.2.1.02'6]癸-4，8_二烯、3-羟基甲基三环[5.2.1.0 2'6]癸_ 4,8_二烯、4-羟基四环[6.2.1.13,6.02,7]十二碳-9-烯、4-羟基甲基四环[6.2.1.1 3,6.02,7]十 二碳-9-烯、4,5_二羟基甲基四环[6.2.1.1 3,6.02,7]十二碳-9-烯、4-(羟基乙氧基羰基）四环
[6.2.1.13,6.02,7]十二碳-9-烯、4-甲基-4-(羟基乙氧基羰基）四环[6.2.1.1 3,6.02,7]十二 碳-9-烯、N-(羟基乙基)双环[2.2.1]庚-5-烯-2，3-二羧酰亚胺、N-(羟基苯基)双环[2.2.1 ] 庚-5-烯-2,3-二羧酰亚胺等含羟基的环状烯烃等。这些中，从所得树脂膜的密合性提高的 观点出发，优选含羧基的环状烯烃，特别优选4-羟基羰基四环[6.2.1.1 3,6.02,7]十二碳-9-烯。这些单体(a)可以分别单独使用，也可以将2种以上组合使用。
[0032] 脂环式烯烃聚合物(A)中，相对于全部单体单元，单体(a)的单元的含有比例优选 为10~90摩尔％。通过使单体(a)的单元的含有比例在上述范围，能够使本发明的福射敏感 树脂组合物的辐射敏感性、显影时溶解残渣的产生、在极性溶剂中的溶解性以更好的平衡 得到改善。
[0033] 另外，本发明中使用的脂环式烯烃聚合物(A)也可以是使具有酸性基团的环状烯 烃单体(a)和能够与其共聚的单体(b)共聚而得到的共聚物。作为这样的能够共聚的单体， 可列举:具有酸性基团以外的极性基团的环状烯烃单体(bl)、不具有极性基团的环状烯烃 单体(b2)、及环状烯烃以外的单体(b3)(以下，适当称为"单体(bl)"、"单体(b2)"、"单体 (b3)，，）。
[0034] 作为具有酸性基团以外的极性基团的环状烯烃单体(bl)，可列举例如:具有N-取 代酰亚胺基、酯基、氰基、酸酐基或卤原子的环状烯烃。
[0035]作为具有N-取代酰亚胺基的环状烯烃，可列举例如：下述通式(2)所示的单体、或 下述通式(3)所示的单体。
[0038](上述通式（2)中，R4表示氢原子或碳原子数1~16的烷基或芳基。η表示整数1或 2〇)
[0039][化学式3]
[0041] (上述通式⑶中，R5表示碳原子数1~3的2价亚烷基，R6表示碳原子数1~10的1价 烷基、或碳原子数1~10的1价卤代烷基。）
[0042] 上述式(2)中，R5为碳原子数1~16的烷基或芳基时，作为烷基的具体例，可列举： 甲基、乙基、正丙基、正丁基、正戊基、正己基、正庚基、正辛基、正壬基、正癸基、正十一烷基、