感光性树脂组合物、感光性元件、分隔壁的形成方法、图像显示装置及制造方法和应用_3

文档序号:9843448阅读:来源:国知局
存在的R 5可以相同也可不同。-(0-A)-表示氧化乙烯基和/或氧化丙烯基,-(0-A)-的重复总数a表示1~4的整数。]
[0095] 作为由上述通式(8)表示的化合物,例如列举出γ-氯-β-羟基丙基_β'_(甲基)丙 烯酰氧基乙基-邻苯二甲酸酯、羟乙基_β'_(甲基)丙烯酰氧基乙基-邻苯二甲酸酯、以及 羟基丙基_β'_(甲基)丙烯酰氧基乙基-邻苯二甲酸酯,其中优选γ-氯-β-羟基丙基_β'_ (甲基)丙烯酰氧基乙基-邻苯二甲酸酯。γ-氯-β-羟基丙基_β'_甲基丙烯酰氧基乙基-邻苯 二甲酸酯可在商业上获取FA-MECH(日立化成工业株式会社制,制品名)。
[0096] 上述(Β)成分可单独使用,或组合二种以上而使用。
[0097] 从分辨率及密接性,以及成膜性的观点考虑,感光性树脂组合物中的(Β)成分的含 量相对于(Α)成分以及(Β)成分的总量100质量份优选为30~60质量份的范围,更优选为40 ~55质量份。
[0098] 然而,感光性树脂组合物的固化物的交联密度主要地可通过上述的(Α)成分以及 (Β)成分的组合而调整。通过将它们调整,使感光性树脂组合物进行光固化后,将在空气下 在120 °C加热1小时而成的宽度10mm、厚度45μπι的片材状的固化物在25 °C的伸长率调整为 40%以上,从而可使分隔壁在不发生破损的状态下跟随于图像显示装置的弯曲时的伸长, 可充分抑制分隔壁的破损。根据本发明的感光性树脂组合物,即使在以曲率半径5~15_左 右将图像显示装置弯曲了的情况下,也可形成能够充分抑制破损产生的分隔壁。
[00"] (C)成分:光聚合引发剂
[0100]作为本发明中可以使用的(C)成分,如果是适合于所使用的曝光机的光波长的光 聚合引发剂则没有特别限制,具体列举出例如二苯甲酮、N,N'_四甲基-4,4'-二氨基二苯甲 酮(米蚩酮)、N,N'_四乙基_4,4'_二氨基二苯甲酮、4-甲氧基-4'-二甲基氨基二苯甲酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代-1-丙酮等芳香族酮,2-乙基蒽醌、菲醌、2-叔丁基蒽醌、八甲基蒽醌、1,2_苯并蒽醌、2,3_苯 并蒽醌、2-苯基蒽醌、2,3_二苯基蒽醌、1-氯蒽醌、2-甲基蒽醌、1,4_萘醌、9,10-菲醌、2-甲 基-1,4-萘醌、2,3_二甲基蒽醌等醌类,苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻苯醚等苯偶姻醚化 合物,苯偶姻、甲基苯偶姻、乙基苯偶姻等苯偶姻化合物,1-(4-甲氧基苯基)-2,2_二甲氧 基-2-苯基乙烷-1-酮、1-(4-甲氧基苯基)-2-甲氧基-2-乙氧基-2-苯基乙烷-1-酮、1-(4-甲 氧基苯基)-2-甲氧基_2_丙氧基_2_苯基乙烧-1-酬、2,2_二甲氧基_1,2_二苯基乙烧-1-酬 (通称苯偶酰二甲基缩酮)等苯偶酰缩酮等苯偶酰衍生物,9-苯基吖啶、1,7_双(9,9'_吖啶 基)庚烷等吖啶衍生物,N-苯基甘氨酸、N-苯基甘氨酸衍生物,香豆素系化合物,2-(邻氯苯 基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(邻氯苯基)-4,5-二(甲氧基苯基)咪唑二聚物、2-(邻氟苯 基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(邻甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物、2-(对甲氧基苯 基)-4,5-二苯基咪唑二聚物等咪唑二聚物。另外,2,4,5-三芳基咪唑二聚物中,2个2,4,5-三芳基咪唑的芳基的取代基可以相同而产生对称的化合物,也可不同而产生不对称的化合 物。另外,如二乙基噻吨酮与二甲基氨基苯甲酸的组合那样,也可组合噻吨酮系化合物与叔 胺化合物。它们可单独使用、或组合二种以上而使用。
[0101] 其中,作为(C)成分,从感光性树脂组合物的固化后的抗蚀剂底部的固化性优异的 观点考虑优选包含苯偶酰缩酮等苯偶酰衍生物,从感光性树脂组合物的固化后的抗蚀剂上 部的固化性优异的观点考虑优选包含吖啶衍生物,从上部底部的固化性优异的观点考虑优 选包含苯偶酰缩酮等苯偶酰衍生物以及吖啶衍生物这两者。特别是由感光性树脂组合物形 成的层的膜厚越变厚,则越需要平衡良好地调整抗蚀剂底部的固化性以及抗蚀剂上部的固 化性。
[0102] 其中,作为(C)成分,从使分辨率良好、抑制固化后的抗蚀剂的拖尾(裾引含)的观 点考虑优选包含吖啶衍生物以及苯偶酰衍生物,特别优选包含1,7-双(9,9 吖啶基)庚烷 以及2,2_二甲氧基-1,2_二苯基乙烧-1-酮这两者。
[0103] 感光性树脂组合物中的(C)成分的含量相对于(A)成分以及(B)成分的总量100质 量份,从感光度优异的观点考虑优选为0.1质量份以上,更优选为0.2质量份以上。另外,相 对于(A)成分以及(B)成分的总量100质量份,从感光性树脂组合物的内部的光固化性优异 的观点考虑优选为20质量份以下,更优选为10质量份以下。
[0104] 其中,包含1,7_双(9,9'_吖啶基)庚烷作为上述(C)成分的情况下,其含量相对于 上述(A)成分和(B)成分的总量100质量份,从感光度优异的观点考虑优选为0.05~1质量 份,更优选为0.1~0.5质量份。
[0105] 另外,包含2,2_二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮作为上述(C)成分的情况下,其含 量相对于上述(A)成分和(B)成分的总量100质量份,从感光度以及密接性优异的观点考虑 优选为1质量份以上,更优选为2质量份以上。另外,从在加热处理的工序中抑制脱气的观点 考虑,优选为10质量份以下,更优选为5质量份以下。
[0106] (D)成分:在分子内具有环氧基的化合物
[0107] 作为本发明中可以使用的(D)成分,列举出在分子内具有环氧基(环氧乙烷环 (oxirane ring))的化合物。
[0108] 作为在分子内具有环氧基的化合物,例如列举出:双酚A二缩水甘油醚等双酚A型 环氧树脂、双酚F二缩水甘油醚等双酚F型环氧树脂、双酚S二缩水甘油醚等双酚S型环氧树 月旨、联苯酚二缩水甘油醚等联苯酚型环氧树脂、联二甲苯酚二缩水甘油醚等联二甲苯酚型 环氧树脂、加氢双酚A缩水甘油醚等加氢双酚A型环氧树脂、双环戊二烯型环氧树脂、甲酚酚 醛清漆型环氧树脂、以及它们的二元酸改性二缩水甘油醚型环氧树脂。
[0109] 作为这些化合物可使用市售品。例如,作为双酚A二缩水甘油醚,可列举出Epikote 828、Epikote 1001 以及 Epikote 1002(均为 Japan Epoxy Resins Co·, Ltd.制,商品名)、以 及EPICL0N 1055 (DIC株式会社制,商品名)。
[0110] 作为双酸F二缩水甘油酿,可列举出Epikote 807(Japan Epoxy Resins Co.,Ltd. 制,商品名)等,作为双酚S二缩水甘油醚,可列举出EBPS-200(日本化药株式会社制,商品 名)、EPICLON EXA-1514 (DIC株式会社制,商品名)等。
[0111] 另外,作为联苯酸二缩水甘油醚,可列举出YL-6121 (Japan Epoxy Resins Co ·, Ltd ·制,商品名)等,作为联二甲苯酸二缩水甘油醚,可列举出YX-4000( Japan Epoxy Res ins Co ·,Ltd.制,商品名)等。
[0112] 进一步,作为加氢双酚A缩水甘油醚,可列举出ST-2004以及ST-2007(均为东都化 成株式会社制,商品名)等,作为双环戊二烯型环氧树脂,可列举出EPICLON HP-7200L(DIC 株式会社制,商品名)等,作为甲酚酚醛清漆型环氧树脂,可列举出EPICLON N-665-EXP、 EPICLON N-670-EXP-S(DIC株式会社制,商品名)等。另外,作为上述的二元酸改性二缩水甘 油醚型环氧树脂,可列举出ST-5100以及ST-5080(均为东都化成株式会社制,商品名)等。
[0113] 它们之中,从抑制电极的熔解的观点考虑优选为双环戊二烯型环氧树脂以及甲酚 酚醛清漆型环氧树脂,更优选为甲酚酚醛清漆型环氧树脂。另外,上述(D)成分可单独使用, 或组合二种以上而使用。
[0114] 感光性树脂组合物中的(D)成分的含量相对于上述(A)成分和(B)成分的总量100 质量份,从抑制电极的熔解的观点考虑优选为5质量份以上,更优选为10质量份以上。另外, 从感光性树脂组合物的成膜性优异的观点考虑优选为30质量份以下,更优选为20质量份以 下。
[0115] (E)成分:无机系黑色颜料
[0116] 作为本发明中可以使用的(E)成分,例如列举出钛黑、炭黑、钴黑,从波长360nm和 405nm的光的透射性良好的观点考虑优选钛黑。
[0117] 感光性树脂组合物中的(E)成分的含量相对于(A)成分以及(B)成分的总量100质 量份,从遮光性优异的观点考虑优选为0.1质量份以上,更优选为0.2质量份以上。另外,从 密接性以及分辨率优异的观点考虑优选为10质量份以下,更优选为5质量份以下。
[0118] 关于包含以上那样的成分的感光性树脂组合物,可进一步根据需要,将孔雀绿等 染料、三溴苯砜、隐色结晶紫等光发色剂、热显色防止剂、对甲苯磺酰胺等增塑剂、除了黑色 以外的颜料、填充剂、消泡剂、阻燃剂、稳定剂、密接性赋予剂、流平剂、剥离促进剂、抗氧化 剂、香料、成像剂、热交联剂等,相对于(A)成分以及(B)成分的总量100质量份分别含有0.01 ~20质量份左右。它们可单独使用,或组合二种以上而使用。
[0119] 包含以上那样的成分的本发明的感光性树脂组合物例如可通过用辊磨机、珠磨机 等将含有成分均匀地混炼、混合而获得。另外,根据需要,溶解于甲醇、乙醇、丙酮、甲乙酮、 甲基溶纤剂、乙基溶纤剂、甲苯、N,N_二甲基甲酰胺、丙二醇单甲醚等溶剂或它们的混合溶 剂,从而可用作固形物30~60质量%左右的溶液。
[0120] 使用所获得的感光性树脂组合物而在图像显示装置用基板上形成感光物树脂组 合物层的方法没有特别限制,可使用将感光性树脂组合物作为液状抗蚀剂涂布在上述基板 上而干燥的方法。另外,可根据需要在感光性树脂组合物层上被覆保护薄膜。进一步,如在 后面详细地叙述,优选以感光性元件的形态而使用感光性树脂组合物层。以液状抗蚀剂的 方式使用、涂布后被覆保护薄膜而使用的情况下,例如列举出聚乙烯、聚丙烯等聚合物薄膜 作为保护薄膜。
[0121] 关于感光性树脂组合物,使该感光性树脂组合物进行光固化后,在空气下在120°C 加热1小时而成的宽度l〇mm、厚度45μπι的片材状的固化物在25°C的伸长率为40%以上。从抑 制弯曲时的破损的观点考虑,该伸长率为40%以上,更优选为60%以上。固化物的伸长率可 通过基于(A)成分以及(B)成分的组合来降低固化物的交联密度从而调整。
[0122] 此处,感光性树脂组合物的光固化可通过以使用该感光性树脂组合物形成分隔壁 时所必需的能量的量进行曝光,根据需要进行显影来实施。上述能量的量优选为41格曝光 尺的显影后的残存格数成为29.0的能量的量。
[0123] 固化物的伸长率的具体的测定方法可使用如下方法,即,将固化物形成为宽度 10mm、厚度45μηι的片材状,在温度25°C、以卡盘间距50mm、以速度2cm/min的固定速度拉长到 固化物断裂为止的情况下的伸长率(% )通过下述式来求出的方法。
[0124] 伸长率(% ) = {(断裂时的长度-初期的长度)/初期的长度} X 100
[0125] 另外,关于感光性树脂组合物,优选的是在透明电极上形成由该感光性树脂组合 物形成的感光性树脂组合物层,使该感光性树脂组合物层进行光固化后,在空气下在120°C 加热1小时,在60°C、90%RH的条件下,对透明电极施加80V的直流电压100小时时,不发生断 线的情况。
[0126] 此处,感光性树脂组合物层的光固化可通过以使用该感光性树脂组合物层而形成 分隔壁时所必需的能量的量进行曝光,根据需要进行显影从而实施。上述能量的量优选为 41格曝光尺的显影后的残存格数成为29.0的能量的量。
[0127] 作为关于透明电极的熔解的具体的判断方法,由测试器测定阳极的电阻值,将可 测定的情况判断为没有基于熔解的断线,将不能测定的情况判断为存在基于熔解的断线。 另外,关于
当前第3页1 2 3 4 5 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1