高温电封离装置的制作方法

文档序号:2969282阅读:1017来源:国知局
专利名称:高温电封离装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种电真空、半导体行业中真空器件的排气封接装置,特别是涉及一种生产等离子显示器使用的高温电封离装置。
技术背景自动电封离装置广泛应用于电真空、半导体显示及太阳能等行业中真空器件的排气封接工艺,如彩色显示器件、液晶显示器件、太阳能集热管、大功率发射管等;在上述产品的大规模制造过程中,排气封接工艺均为关键工艺,制约着生产线的效率。目前国内上述产品的制造过程中,自动化程度较高的生产线均采用自动电封离,电封离装置均为进口产品,价格昂贵;自动化程度低的产品为人工火焰封离,劳动强度高,生产效率低。上述封离工艺均在低温环境下,封离时间长,封离炉功率较小,不能适用荫罩型PDP显示器的排气封接工艺。
实用新型内容本实用新型的目的是为了解决荫罩型PDP显示器的排气封接工艺自动化问题,制造生产效率高、性价比高的进口设备的替代产品。
本实用新型是按如下技术方案来实现的高温电封离装置包括封离炉座、封离炉盘、炉丝、排气管、和冷却水管;同时,设置有排气管密封装置,所述排气管密封装置由排气管、紧密套接在排气管外部的螺旋压座以及设置在排气管顶部与与封离炉座之间的密封圈组成;所述螺旋压座与封离炉座下部通过螺纹活动连接。
所述炉丝系用高合金电阻丝采用螺旋密绕方式绕制。
所述密封圈为氟橡胶圈。
在所述排气管的下沿与螺旋压座顶部之间设置有精密滚针推力轴承。
本实用新型的优点在于,自动电封离装置的炉丝采用高合金电阻丝增大封离炉加热功率,便于快速加热;排气管通过氟橡胶圈及螺旋压紧装置可实现良好密封;采用精密滚针推力轴承可防止氟橡胶密封圈在受挤压过程中磨损变形、减少磨损,延长其使用寿命。


下面,结合附图对本实用新型及其实施例作进一步说明图1为高温电封离装置俯视图;图2为图1中A-A向视图;图中1封离炉盘、2封离炉座、3炉丝、4排气管、5精密滚针推力轴、6冷却水管、7螺旋压座、8密封圈。
具体实施方式
如图1-2所示,高温电封离装置是一种移动式隧道窑炉设备,包括封离炉盘1、封离炉座2、炉丝3、排气管4和冷却水管6;所述封离炉盘1、封离炉座2通过螺栓实现可拆卸连接;封离炉固定在陶瓷炉盘里,并与周围金属绝缘、隔热。所述炉丝3系用高合金电阻丝采用螺旋密绕方式绕制,以增加电阻值,加大功率。
所述高温电封离装置内安装有排气管密封装置,所述排气管密封装置由排气管4、紧密套接在排气管4外部的螺旋压座7以及设置在排气管4顶部与与封离炉座2之间的密封圈8组成,所述螺旋压座7与封离炉座2下部通过螺纹活动连接,调整螺旋压座7与封离炉座2的相对位置,可使排气管上下自由移动,同时将氟橡胶密封圈8挤压变形与排气管隔热套5贴合,从而实现排气管4的真空密封。在所述排气管4端部的下沿与螺旋压座7顶部之间设置有精密滚针推力轴承5,可防止氟橡胶密封圈8在受挤压过程中磨损变形,减少密封圈8的磨损,延长其使用寿命。
PDP等离子显示屏在炉内经升温、恒温、降温过程完成退火、排气、充入等离子气体、排气管封接等工艺目的。为避免PDP等离子显示屏在变形,炉内还采用强制热风循环搅拌,炉温曲线也可自动控制。
权利要求1.一种高温电封离装置,包括封离炉座、封离炉盘、炉丝、排气管、和冷却水管,其特征是设置有排气管密封装置,所述排气管密封装置由排气管、紧密套接在排气管外部的螺旋压座以及设置在排气顶部与与封离炉座之间的密封圈组成;所述螺旋压座与封离炉座下部通过螺纹活动连接。
2.如权利要求1所述的高温电封离装置,其特征是所述炉丝系用高合金电阻丝采用螺旋密绕方式绕制。
3.如权利要求1所述的高温电封离装置,其特征是在所述密封圈为氟橡胶圈。
4.如权利要求1所述的高温电封离装置,其特征是所述排气管端部的下沿与螺旋压座顶部之间设置有精密滚针推力轴承。
专利摘要本实用新型涉及一种生产等离子显示器使用的高温电封离装置,包括封离炉座、封离炉盘、炉丝、排气管、和冷却水管,同时设置有排气管密封装置,所述排气管密封装置由排气管、紧密套接在排气管外部的螺旋压座以及设置在排气管顶部与与封离炉座之间的氟橡胶密封圈组成;所述螺旋压座与封离炉座下部通过螺纹活动连接;所述炉丝系用高合金电阻丝采用螺旋密绕方式绕制;优点是加热迅速;排气管通过氟橡胶圈及螺旋压紧装置可实现良好密封,在所述排气管隔热套端部的下沿与螺旋压座顶部之间设置的精密滚针推力轴承可防止密封圈磨损变形。
文档编号H01J9/38GK2852377SQ20052012980
公开日2006年12月27日 申请日期2005年10月18日 优先权日2005年10月18日
发明者李旭刚 申请人:北京七星华创电子股份有限公司
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