专利名称：一种等离子显示屏下基板的制作方法
技术领域：
本发明属于平板显示技术领域，具体涉及一种等离子显示屏下基板的制作方法。
背景技术：
彩色等离子显示器是通过气体放电产生的真空紫外线激发红、绿、蓝荧光粉发光的一种平板显示器，具有重量轻、体积小、宽视角等特点，在目前的显示技术领域里具有很强的竞争力。
等离子显示屏通常包括有前基板和后基板，在前基板上分别制作有透明电极、Bus电极、透明介质和氧化镁保护层，在后基板上通常制作有寻址电极、介质层、障壁和荧光粉。目前障壁的制作方法多采用效率高、制作图形精细的喷砂法，此方法是通过砂粒的冲击将多余的障壁料去掉，从而形成所需的障壁图形。但在上述喷砂法形成障壁时，因为砂粒的冲击力较大，在喷砂的时候很容易破坏障壁下面的寻址电极，寻址电极一旦在此工序被破坏，将无法再修复，造成整张下基板的报废，因此在喷砂时要对寻址电极进行保护。目前多采用在寻址电极上印刷一介质层，再将介质层烧结形成玻璃层来达到保护电极的目的。此方法的缺点是在整个下基板制作过程中多了一次高温烧结的处理过程，经烧结易造成玻璃的变形使各个图形间的对位出现偏差，造成对位不准，同时也浪费了烧结炉的能源。
发明内容
本发明的目的在于克服上述现有技术的缺点，提供了一种等离子显示屏下基板的制作方法，此下板障壁的制作是通过刻蚀法形成的，介质层则直接以底层的障壁层来代替，减少了一层制作介质的工序，即减少了介质层的印刷和烧结，减少了一次热处理的步骤，有效的减少了玻璃的变形。
为达到上述目的本发明采用的技术方案是首先，在带有寻址电极图形的玻璃基板上印刷厚度为180um-220um的白色障壁浆料及厚度为20um-50um的黑色障壁浆料，然后在130℃-160℃下干燥形成白色障壁层和黑色障壁层，且白色障壁层和黑色障壁层的总厚度等于介质层和障壁层的高度；其次，对白色障壁浆料层和黑色障壁浆料层在550℃-570℃烧结；然后，在烧结后的黑色障壁层上粘贴一层耐酸不耐碱的感光性抗蚀干膜或直接印刷或涂敷一层感光性的抗蚀膜形成抗蚀层，再通过常规工艺用障壁母版对抗蚀层进行曝光和显影，形成障壁图形；再以抗蚀层上的障壁图形作为刻蚀的掩膜版根据所要求得到的障壁的高度用质量浓度为1.0-10％的盐酸溶液对白色障壁层和黑色障壁层进行刻蚀并控制刻蚀速度为0.5m/min-3.0m/min，根据所要求得到的障壁的高度控制刻蚀的时间从而形成障壁材料介质层和障壁；最后，用碱溶液剥掉障壁顶部的抗蚀层，再通过丝网印刷法在障壁间涂敷红、绿、蓝荧光粉即可。
由于本发明采用刻蚀法制备障壁，且以障壁底层代替介质层来保护下面的寻址电极，从而减少了一次印刷介质和烧结介质的工序，降低了制作成本，减少了高温热处理的次数，也就减少了玻璃的变形，保证了精细图形的制作精度和不同图形间的对位精度，使得等离子显示的图象画面更加精细。
图1至图8是本发明的制作工艺流程图。
具体实施例方式
下面结合附图对本发明作进一步详细说明。
参见图1，2，3，首先，在带有寻址电极图形2的玻璃基板1上印刷厚度为180um-220um的白色障壁浆料及厚度为20um-50um的黑色障壁浆料，然后在130℃-160℃下干燥形成白色障壁层3和黑色障壁层4，且白色障壁层3和黑色障壁层4的总厚度等于介质层和障壁层的高度；参见图4，5，其次，对白色障壁浆料层3和黑色障壁浆料层4在550℃-570℃烧结；然后，在烧结后的黑色障壁层4上粘贴一层耐酸不耐碱的感光性抗蚀干膜或直接印刷或涂敷一层感光性的抗蚀膜形成抗蚀层5，再通过常规工艺用障壁母版对抗蚀层5进行曝光和显影，形成障壁图形6；参见图6，7，再以抗蚀层5上的障壁图形6作为刻蚀的掩膜版根据所要求得到的障壁的高度用质量浓度为1.0-10％的盐酸溶液对白色障壁层3和黑色障壁层4进行刻蚀并控制刻蚀速度为0.5m/min-3.0m/min，根据所要求得到的障壁的高度和介质层的厚度控制刻蚀的时间从而形成障壁材料介质层7和障壁8；参见图8，最后，用碱溶液剥掉障壁顶部的抗蚀层5，再通过丝网印刷法在障壁间涂敷红、绿、蓝荧光粉即可。这样就可以通过障壁的一次烧结完成介质和障壁的制作，减少了玻璃的变形，使图形的制作更加的精细。也使下基板的制作工艺更加简单，节约了成本。
权利要求
1.一种等离子显示屏下基板的制作方法，其特征在于1)首先，在带有寻址电极图形[2]的玻璃基板[1]上印刷厚度为180um-220um的白色障壁浆料及厚度为20um-50um的黑色障壁浆料，然后在130℃-160℃下干燥形成白色障壁层[3]和黑色障壁层[4]，且白色障壁层[3]和黑色障壁层[4]的总厚度等于介质层和障壁层的高度；2)其次，对白色障壁浆料层[3]和黑色障壁浆料层[4]在550℃-570℃烧结；3)然后，在烧结后的黑色障壁层[4]上粘贴一层耐酸不耐碱的感光性抗蚀干膜或直接印刷或涂敷一层感光性的抗蚀膜形成抗蚀层[5]，再通过常规工艺用障壁母版对抗蚀层[5]进行曝光和显影，形成障壁图形[6]；4)再以抗蚀层[5]上的障壁图形[6]作为刻蚀的掩膜版根据所要求得到的障壁的高度用质量浓度为1.0-10％的盐酸溶液对白色障壁层[3]和黑色障壁层[4]进行刻蚀并控制刻蚀速度为0.5m/min-3.0m/min，根据所要求得到的障壁的高度控制刻蚀的时间从而形成障壁材料介质层[7]和障壁[8]；5)最后，用碱溶液剥掉障壁顶部的抗蚀层[5]，再通过丝网印刷法在障壁间涂敷红、绿、蓝荧光粉即可。
全文摘要
一种等离子显示屏下基板的制作方法，首先，在带有寻址电极图形的玻璃基板上印刷障壁浆料并干燥，然后对其进行烧结；在烧结后的障壁层上粘贴一层耐酸不耐碱的感光性抗蚀干膜或直接印刷或涂敷一层感光性的抗蚀膜形成抗蚀层，再通过障壁母版对抗蚀层进行曝光和显影，形成障壁图形；以抗蚀层上的障壁图形作为刻蚀的掩膜版根据所要求得到的障壁的高度用盐酸溶液其进行刻蚀，根据所要求得到的障壁的高度控制刻蚀的时间从而形成障壁材料介质层和障壁；用碱溶液剥掉障壁顶部的抗蚀层5，再通过丝网印刷法在障壁间涂敷红、绿、蓝荧光粉即可。本发明以障壁底层代替介质层来保护下面的寻址电极，从而减少了一次印刷介质和烧结介质的工序，降低了制作成本。
文档编号H01J9/02GK1801431SQ200610041638
公开日2006年7月12日 申请日期2006年1月11日 优先权日2006年1月11日
发明者罗向辉 申请人:彩虹集团电子股份有限公司