专利名称：一种pecvd的石英管锁紧装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域，特别涉及一种PECVD的石英管锁紧装置。
背景技术：
众所周知，太阳能电池在进行光电转换的过程中，除了吸收一部分的太阳光以实现光电转换外，不可避免的会反射一部分阳光，造成了太阳能的浪费，所以为了减少太阳能电池对阳光的反射，在太阳能电池生产过程中，一般会在太阳能电池的表面设置氮化硅减反射膜，以减少太阳能电池对阳光的反射，使其吸收更多的阳光。目前，氮化娃减反射膜米用PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition的缩写，等离子体增强化学气相沉积法)在链式PECVD工艺腔室内进行沉积，工艺反应时间(或沉积反应时间)过后，在特气槽和石英管表面会生长一层1_2_的氮化硅层，而氮化硅层会改变石英管的耦合条件和沉积性能，降低其沉积率，导致必须更换新的石英管。为了解决上述问题，现有技术中将锁套和密封组件紧密接触，通过旋转锁套挤压密封组件，密封组件挤压石英管达到密封固定石英管的效果。但是使用一段时间后，石英管和锁紧装置会被氮化硅覆盖，导致无法将石英管完整取下。通常是先将石英管打碎，然后旋转并取下锁紧装置，更换新的石英管，最后用专用工具旋转锁套将其锁紧。但是将石英管打碎再进行拆卸，无疑增加了工作负担，而且影响工人的安全。同时，对于可再利用的石英管造成了浪费，增加了生产成本。因此，如何保证石英管的完整性，以提高石英管的重复利用率，降低劳动强度和生产成本，成为本领域技术人员亟待解决的重要技术问题。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型提供了一种PECVD的石英管锁紧装置，以提高石英管的重复利用率，降低劳动强度和生产成本。为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案一种PECVD的石英管锁紧装置，包括设有卡槽的法兰和套设在石英管上的密封组件，所述卡槽包括相连通的轴向段和周向段，该石英管锁紧装置还包括套设在所述石英管上的第一锁件，所述第一锁件包括连接段和可套设在所述密封组件上的锁紧段，所述锁紧段上设有可沿所述卡槽移动的锁柱；套设在所述石英管上且能够卡设在所述第一锁件内被限制沿远离所述密封组件的方向运动的第二锁件，所述第二锁件能够与所述密封组件相抵。优选地，上述的PECVD的石英管锁紧装置中，所述连接段的内径上设有内卡柱，所述第二锁件的靠近所述第一锁件的一端设有用于限制所述内卡柱沿轴线方向运动的凸台，且所述凸台上设有供所述内卡柱穿过所述凸台的开口。优选地，上述的PECVD的石英管锁紧装置中，所述内卡柱和所述锁柱的连线与所述石英管的轴线方向平行。优选地，上述的PECVD的石英管锁紧装置中，所述内卡柱的个数为3个，所述开口的个数为3个，且所述内卡柱和所述开口相对布置。优选地，上述的PECVD的石英管锁紧装置中，所述内卡柱和所述开口分别均匀分布在所述连接段的内径和所述凸台上。优选地，上述的PECVD的石英管锁紧装置中，所述凸台的所述开口处设有向远离所述第一锁件的方向延伸的用于限制所述内卡柱沿周向运动的卡头。优选地，上述的PECVD的石英管锁紧装置中，所述第一锁件的外壁上设有工具定位孔。优选地，上述的PECVD的石英管锁紧装置中，所述第二锁件远离所述第一锁件的一端设有可与六角扳手配合的六角端。优选地，上述的PECVD的石英管锁紧装置中，所述连接段的内径大于所述锁紧段的内径。优选地，上述的PECVD的石英管锁紧装置中，所述第二锁件的外径大于所述锁紧段的内径。从上述的技术方案可以看出，本实用新型提供了一种PECVD的石英管的锁紧装置，包括设有卡槽的法兰和套设在石英管上的密封组件，卡槽包括相连通的轴向段和周向段，该装置还包括套设在石英管上的第一锁件，且第一锁件包括连接段和可套设在密封组件上的锁紧段，锁紧段上设有可沿卡槽移动的锁柱；套设在石英管上且能够卡设在第一锁件内被限制沿远离密封组件的方向运动的第二锁件，且第二锁件能够与密封组件相抵。锁紧时，操作人员将第二锁件内伸于第一锁件的连接段，移动第一锁件和第二锁件并使锁紧段套设在密封组件上，同时第二锁件与密封组件相抵，实现第二锁件与密封组件的限位 ’然后操作人员旋转第一锁件使锁紧段上的锁柱滑动到法兰的卡槽的周向段内，实现第一锁件与法兰的锁紧，即实现了石英管与法兰的锁紧。该装置在拆卸石英管时，只需要将卡槽内的锁柱旋出即可实现对石英管的拆卸，保证了石英管的完整性，从而有效降低了操作人员的劳动强度，提高了石英管的再利用率，节省了成本。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为本实用新型实施例提供的PECVD的石英管锁紧装置的装配图；图2为本实用新型实施例提供的PECVD的石英管锁紧装置中的第一锁件的结构示意图；图3为本实用新型实施例提供的PECVD的石英管锁紧装置中的第二锁件的结构示意图。
具体实施方式
[0025]本实用新型提供了一种PECVD的石英管锁紧装置，以提高石英管的重复利用率，降低劳动强度和生产降低成本。下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。请参阅图I-图3，其中，图I为本实用新型实施例提供的PECVD的石英管锁紧装置的装配图；图2为本实用新型实施例提供的PECVD的石英管锁紧装置中的第一锁件的结构示意图；图3为本实用新型实施例提供的PECVD的石英管锁紧装置中的第二锁件的结构示意图。本实用新型实施例提供了一种PECVD的石英管锁紧装置，包括设有卡槽11的法兰I和套设在石英管5上的密封组件2，且卡槽11包括相连通的轴向段和周向段，为了实现石英管5和法兰I的密封锁紧，还包括套设在石英管5上的第一锁件，第一锁件分为连接段31 和可套设在密封组件2上的锁紧段32，为了使锁紧段32与法兰I相锁紧，在锁紧段32上设置了可沿卡槽11移动的锁柱33。在将石英管5与法兰I相锁紧的时候，锁柱33沿卡槽11的轴向段的入口端进入到卡槽11的沿法兰I周向延伸的周向段，并停在周向段，因此限制了石英管5轴线方向的运动，实现了石英管5轴线方向的限位；在对石英管5拆卸时，只需要旋转第一锁件使锁柱33从卡槽11的周向段内旋出即可。为了使密封组件2与法兰I紧密接触，该石英管锁紧装置还包括套设在石英管5上且能够卡设在第一锁件内被限制沿远离密封组件2的方向运动的第二锁件4，为了实现该装置对石英管5的密封锁紧，在锁紧时，第二锁件4与密封组件2相抵。在对石英管5锁紧时，将第二锁件4内伸于第一锁件的连接段31，而且第一锁件限制第二锁件4沿远离密封组件2的方向运动，将密封组件2内伸于第一锁件的锁紧段32，使得第二锁件4与密封组件2相抵，操作人员将第二锁件4的周向固定，然后旋转第一锁件使锁柱33沿卡槽11的周向段滑动，实现第一锁件的轴线方向锁紧。由于第一锁件通过第二锁件4使密封组件2与法兰I相挤压，最终实现了石英管5与法兰I的密封锁紧。在拆卸石英管5时，操作人员取消施加在第二锁件4上的外力，然后旋转第一锁件使锁柱33从卡槽11滑出，此时，第一锁件与法兰I分离，密封组件2和法兰I之间的挤压力也消失，操作人员即可将石英管5取出。本实用新型采用分体锁套的形式，利用第二锁件4与密封组件2相抵，利用第一锁件将与密封组件2相抵的第二锁件4与法兰I锁紧，同时，第一锁件为第二锁件4提供沿轴线方向的力，使得密封组件2与法兰I之间的接触更紧密。锁紧过程中只需要操作人员卡住第二锁件4，并旋转第一锁件将锁柱33旋入卡槽11，即可实现锁紧；在拆卸过程中，操作人员取消施加在第二锁件4上的外力，然后将锁柱33从卡槽11内旋出即可实现石英管5与法兰I的分离，有效保证了石英管5的完整性，降低了操作人员的劳动强度，提高了石英管5的再利用率。本实用新型实施例中提供了一种第一锁件限制第二锁件4沿远离密封组件2运动的装置。在第一锁件的连接段31的内径上设置内卡柱34，在第二锁件4的靠近第一锁件的一端设置用于限制内卡柱34沿石英管5的轴线方向运动的凸台41，且凸台41上开设供内卡柱34穿过凸台41的开口 42。锁紧过程中，调整第一锁件的位置使内卡柱34从凸台41的开口 42处穿过凸台41，然后旋转第一锁件，使内卡柱34与开口 42错开，实现用内卡柱34限制第二锁件4的轴线方向的运动。本领域的技术人员可以理解的是，内卡柱34和凸台41还可以分别分布在第二锁件4和第一锁件上，其工作过程与上述的过程相同，再此
不再一一赘述。为了便于操作，本实用新型实施例中将内卡柱34与锁柱33的连线设置为与石英管5的轴线方向相平行。将内卡柱34穿过开口 42，然后旋转第一锁件，其连接段31的内卡柱34与开口 42错开，其锁紧段32的锁柱33滑进卡槽11。该技术方案具有较强的操作性。本实用新型实施例中，为了使第一锁件对第二锁件4轴线方向的限制更稳定，将内卡柱34的个数设为3个，相应的开口 42的个数也设为3个，且开口 42和内卡柱34是相对布置的，即每一个内卡柱34对应一个开口 42。 优选地，内卡柱34和开口 42分别均匀的分布在连接段31的内径上和凸台41上。工作时，内卡柱34穿过相应的开口 42。这一结构增加了第一锁件和第二锁件4之间的对应关系，使得第一锁件和第二锁件4的相互限制更稳定。在将锁柱33滑进卡槽11时，为了对第一锁件的周向进行限位，在凸台41的远离第一锁件的一侧设置了用于限制内卡柱34沿第二锁件4的周向运动的卡头44。优选地，在凸台41的开口 42处的一侧设有向远离第一锁件的方向延伸的卡头44。内卡柱34从开口42处穿过凸台41，然后旋转第一锁件使内卡柱34与凸台41的远离第一锁件的一侧接触。该锁紧装置为操作人员提供了方便，避免了操作人员在将锁柱33向卡槽11内滑动时，还需考虑保证内卡柱34不从凸台41脱离，限定了该装置的锁紧过程中在周向的位置。为了便于操作第一锁件的旋转，在第一锁件的外壁上设置了工具定位孔35，操作人员将专用工具插入到工具定位孔35，然后用手操作专用工具，从而实现第一锁件的旋转。第一锁件旋转时，如果第二锁件4不固定，其会带动第二锁件4旋转，在第二锁件4旋转过程中可能会对石英管5造成磨损，为了降低石英管5磨损的风险，在将内卡柱34旋进凸台41后，操作人员首先需要将第二锁件4固定，然后再旋转第一锁件，将锁柱33旋进卡槽U。为了降低操作人员的劳动强度，本实用新型实施例中将第二锁件4的远离第一锁件的一端设置为可与六角扳手配合的六角端43。在需要对第二锁件4固定的时候，操作人员利用六角扳手卡在第二锁件4的六角端43，然后再旋转第一锁件；拆卸时，操作人员将六角扳手取下即可。本实用新型实施例中提供了一种第一锁件，且第一锁件的连接段31的内径大于锁紧段32的内径。由于密封组件2和第二锁件4均需要伸入到第一锁件内部，且第一锁件和连接段31之间通过凸台41和内卡柱34限制轴线方向的自由度，为了节省材料，同时又为加工和装配提供方便，将连接段31的内径设置的大于锁紧段32的内径。通过调整第二锁件4、第一锁件和密封组件2之间的长度关系，为了便于确定第一锁件的长度方向的尺寸，将第二锁件4的外径设置的大于锁紧段32的内径，即第二锁件4只能伸入到连接段31，不能伸入到锁紧段32。密封组件2伸入到锁紧段32后与第二锁件4相抵，这样将第一锁件分为两部分，操作人员可分别设置连接段31和锁紧段32的长度。本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因 此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求1.一种PECVD的石英管锁紧装置，包括设有卡槽(11)的法兰(I)和套设在石英管(5)上的密封组件(2)，所述卡槽(11)包括相连通的轴向段和周向段，其特征在于，该石英管锁紧装置还包括 套设在所述石英管(5)上的第一锁件，所述第一锁件包括连接段(31)和可套设在所述密封组件(2)上的锁紧段(32)，所述锁紧段(32)上设有可沿所述卡槽(11)移动的锁柱(33)； 套设在所述石英管(5)上且能够卡设在所述第一锁件内被限制沿远离所述密封组件(2)的方向运动的第二锁件(4)，所述第二锁件(4)能够与所述密封组件(2)相抵。
2.根据权利要求I所述的PECVD的石英管锁紧装置，其特征在于，所述连接段(31)的内径上设有内卡柱(34)，所述第二锁件(4)的靠近所述第一锁件的一端设有用于限制所述内卡柱(34)沿轴线方向运动的凸台(41)，且所述凸台(41)上设有供所述内卡柱(34)穿过所述凸台(41)的开口(42)。
3.根据权利要求2所述的PECVD的石英管锁紧装置，其特征在于，所述内卡柱(34)和所述锁柱(33)的连线与所述石英管(5)的轴线方向平行。
4.根据权利要求2所述的PECVD的石英管锁紧装置，其特征在于，所述内卡柱(34)的个数为3个，所述开口(42)的个数为3个，且所述内卡柱(34)和所述开口(42)相对布置。
5.根据权利要求4所述的PECVD的石英管锁紧装置，其特征在于，所述内卡柱(34)和所述开口(42)分别均匀分布在所述连接段(31)的内径和所述凸台(41)上。
6.根据权利要求2所述的PECVD的石英管锁紧装置，其特征在于，所述凸台(41)的所述开口(42)处设有向远离所述第一锁件的方向延伸的用于限制所述内卡柱(34)沿周向运动的卡头(44)。
7.根据权利要求I所述的PECVD的石英管锁紧装置，其特征在于，所述第一锁件的外壁上设有工具定位孔(35)。
8.根据权利要求I所述的PECVD的石英管锁紧装置，其特征在于，所述第二锁件(4)远离所述第一锁件的一端设有可与六角扳手配合的六角端(43)。
9.根据权利要求1-8任一项所述的PECVD的石英管锁紧装置，其特征在于，所述连接段(31)的内径大于所述锁紧段(32)的内径。
10.根据权利要求9所述的PECVD的石英管锁紧装置，其特征在于，所述第二锁件(4)的外径大于所述锁紧段(32)的内径。
专利摘要本实用新型公开了一种PECVD的石英管锁紧装置，包括设有卡槽的法兰和套设在石英管上的密封组件，卡槽包括相连通的轴向段和周向段，该装置还包括套设在石英管上的第一锁件，第一锁件包括连接段和可套设在密封组件上的锁紧段，锁紧段上设有可沿卡槽移动的锁柱；套设在石英管上且能够卡设在第一锁件内被限制沿远离密封组件的方向运动的第二锁件，第二锁件能够与密封组件相抵。通过第一锁件的锁柱伸入到卡槽的周向段，实现与第二锁件相抵的密封组件与法兰的锁紧；在拆卸石英管时，只需要将卡槽内的锁柱旋出即可实现对石英管的拆卸，有效降低了操作人员的劳动强度，同时保证了石英管的完整性，提高了石英管的再利用率，节省了成本。
文档编号H01J37/32GK202651057SQ201220157698
公开日2013年1月2日 申请日期2012年4月13日 优先权日2012年4月13日
发明者孙双庆, 李海良, 史周兴 申请人:英利能源(中国)有限公司