一种多磁极束流聚焦调节装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种多磁极束流聚焦调节装置，包括腔体、上磁极组、下磁极组、程控数字电流源，腔体、上磁极组、下磁极组处设有风筒，风筒出风口对着腔体、上磁极组、下磁极组，进风口位于出风口另一端，程控数字电流源用设有一些通风孔的外壳罩住并固定其内部，腔体、上磁极组、下磁极组用外罩罩住。该装置能够使装置工作中产生的热量及时散失，避免烧坏机器设备，保证工作顺利进行。
【专利说明】一种多磁极束流聚焦调节装置
【技术领域】
[0001]本实用新型属于磁产品应用领域，具体来说，涉及一种多磁极束流聚焦调节装置。【背景技术】
[0002]钕磁铁(Neodymium magnet)也称为钕铁硼磁铁,是强力磁铁的统称,其化学式为Nd2Fel4B,是一种人造的永久磁铁，为至目前为止具有最强磁力的永久磁铁。钕铁硼磁铁的优点是性价比高，具良好的机械特性；不足之处在于居里温度点低，温度特性差，且易于粉化腐蚀，必须通过调整其化学成分和采取表面处理方法使之得以改进，才能达到实际应用的要求。钕铁硼属于第三代稀土永磁材料，具有体积小、重量轻和磁性强的特点，是目前性能价格比最佳的磁体，在磁学界被誉为磁王。高能量密度的优点使钕铁硼永磁材料在现代工业和电子技术中获得了广泛的应用。在裸磁的状态下，磁力可达到3500高斯左右。
[0003]随着社会的进步，人们生活的现代化水平越来越高，钕磁铁的应用也随着现代化水平的提高越来越广泛。多磁极束流聚焦调节装置就是钕磁铁应用的一种装置。
[0004]多磁极束流聚焦调节装置是在半导体制造工艺设备离子注入机中，离子束从离子源引出后，由于离子间相互电荷力的作用及离子初始运动方向的不同，导致离子束在传输过程中会发生发散，为了使最终打在靶上的离子束流满足注入均匀性和角度的要求，需要对离子束进行聚焦和调节的装置，这种装置在工作中会产生大量热量，过热就会使装置工作性能受到影响。
【发明内容】
[0005]为解决上述问题，本实用新型公开了一种多磁极束流聚焦调节装置，能够使装置工作中产生的热量及时散失。
[0006]为达到上述目的，本发明提供如下技术方案:提供一种多磁极束流聚焦调节装置，包括腔体、上磁极组、下磁极组、程控数字电流源，所述腔体、上磁极组、下磁极组处设有风筒，风筒出风口对着腔体、上磁极组、下磁极组，进风口位于出风口另一端，所述程控数字电流源用设有一些通风孔的外壳罩住并固定其内部，所述腔体、上磁极组、下磁极组用外罩罩住，所述风筒进风口可以与出风口方向可以是在一个平面，也可以相互垂直，所述程控数字电流源的有一些通风孔的外壳内部设有风扇。
[0007]本实用新型提供的一种多磁极束流聚焦调节装置，能够使装置工作中产生的热量及时散失，避免烧坏机器设备，保证工作顺利进行。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]图1为本实用新型的结构示意图。
[0009]【具体实施方式】
[0010]以下将结合具体实施例对本发明提供的技术方案进行详细的说明，应理解下述【具体实施方式】仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。[0011]提供如图1所示的一种多磁极束流聚焦调节装置，包括腔体1、上磁极组2、下磁极组3、程控数字电流源4，所述腔体1、上磁极组2、下磁极组3处设有风筒12，风筒12出风口9对着腔体、上磁极组、下磁极组，进风口位于出风口另一端，所述程控数字电流源4用设有一些通风孔6的外壳罩7住并固定其内部，所述腔体1、上磁极组2、下磁极组3用外罩7罩住，所述风筒进风口 8可以与出风口 9方向可以是在一个平面，也可以相互垂直，所述程控数字电流源4的有一些通风孔5的外壳10内部设有风扇11，所述腔体1、上磁极组2、下磁极组3的外罩7用非磁性材料制成。
[0012]以上所述是本实用新型的【具体实施方式】，应当指出，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种多磁极束流聚焦调节装置，包括腔体、上磁极组、下磁极组、程控数字电流源，其特征在于:所述腔体、上磁极组、下磁极组处设有风筒，风筒出风口对着腔体、上磁极组、下磁极组，进风口位于出风口另一端，所述程控数字电流源用设有一些通风孔的外壳罩住并固定其内部，所述腔体、上磁极组、下磁极组用外罩罩住。
2.如权利要求1所述的多磁极束流聚焦调节装置，其特征在于:所述风筒进风口可以与出风口方向可以是在一个平面，也可以相互垂直。
3.如权利要求1所述的多磁极束流聚焦调节装置，其特征在于:所述程控数字电流源的有一些通风孔的外壳内部设有风扇。
【文档编号】H01J37/21GK203434122SQ201320473420
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2013年8月5日 优先权日:2013年8月5日
【发明者】王海涛 申请人:宁波尼兰德磁业有限公司