石英晶圆切割机的带锯调整装置的制作方法

文档序号:3034343阅读:303来源:国知局
专利名称:石英晶圆切割机的带锯调整装置的制作方法
技术领域
本实用新型有关于一种石英晶圆切割机的带锯调整装置,尤指一种可将带锯调整至最佳的切割角度及张力,而达到高平整度、偏摆幅度小、不易扭曲、增加切割速度、延长带锯寿命及迅速更换带锯功效的带锯调整装置。
背景技术
一般现有的石英晶圆切割机,由一机台、二分别设置于机台内部二端的传动轮及飞轮、以及一环设于传动轮及飞轮上的环形带锯所构成,而该机台具有一工作区间,且该工作区间的一面具有一平台,而该环形带锯由工作区间穿过于平台上,可将石英晶圆放置于平台上,通过该环形带锯的锯齿达到进行石英晶圆切割的功效。
虽然上述现有的石英晶圆切割机,可将石英晶圆放置于平台上,通过该带锯进行石英晶圆的切割,但是由于该石英切割属重切削,因此,进行切割时须调整该环形带锯的张力,使该环形带锯与飞轮之间无间隙产生,且该环形带锯于使用一段时间之后也必须将其卸除更换,而以目前的石英晶圆切割机而言,其必须以手摇动的方式将飞轮往上或往下移动,达到调整环形带锯的张力或将飞轮下移作环形带锯的卸除更换,而虽然以手摇动的方式可调整环形带锯的张力并做环形带锯的卸除更换,但在调整时不但较为费时、费力,且必须相当具有经验的人才能将环形带锯的张力调整至最佳状态,所以一般以手摇式调整之后通常导致环形带锯与飞轮之间产生较大的间隙,使该带锯于切割时造成偏摆较大,使切割时较不稳定也不平整,且易扭曲,进而缩短带锯的使用寿命,而使带锯的切割速度较慢;况且以现有的石英晶圆切割机而言,其仅能调整飞轮往上或往下移动,并无法调整飞轮往左或往右偏移的角度,故于实际使用时无法完全符合使用者的需要。
实用新型内容本实用新型的主要目的在于为解决上述缺点、避免缺点存在而提供一种石英晶圆切割机的带锯调整装置,可通过座体、轴座、轨道及致动元件的配合,而将带锯调整至最佳的切割角度及张力,而于切割时具有高平整度、偏摆幅度小以及不易扭曲的功效,并可同时达到增加切割速度、延长带锯寿命及迅速更换带锯的效果。
为达上述目的,本实用新型提供的一种石英晶圆切割机的带锯调整装置,其包含一具有中空部且一端具有套接孔的座体;一活动设置于座体中空部中的轴座,该轴座具有一轴套,该轴套延伸有一柄部,该柄部具有一顶掣于套接孔外侧面的调整元件;二分别活动接合于座体二侧的导轨;一具有传动杆可活动设置于套接孔中的致动元件。
根据上述方案,本实用新型的石英晶圆切割机的带锯调整装置可有效改善现有结构的种种缺点,可通过座体、轴座、轨道及致动元件的配合,而将带锯调整至最佳的切割角度及张力,而于切割时具有高平整度、偏摆幅度小以及不易扭曲的功效,并可同时达到增加切割速度、延长带锯寿命及迅速更换带锯的效果。


图1为本实用新型的立体外观示意图。
图2为本实用新型的立体分解示意图。
图3为本实用新型的侧视状态示意图。
图4为本实用新型的组装状态示意图。
图5为本实用新型调整张力的示意图。
图6为本实用新型调整角度的示意图。
元件标号对照1 ……座体11 ……中空部12 ……套接孔 121……内螺纹部13 ……枢接部 2 ……轴座21 ……轴杆22 ……轴套23 ……柄部24 ……调整元件241……螺杆242……螺接套3 ……导轨31 ……固定孔4 ……致动元件41 ……固定座42 ……传动杆 421……外螺纹部5 ……切割机 51 ……工作区间52 ……平台6 ……传动轮组7 ……轴杆71 ……飞轮8 ……环形带锯具体实施方式
参阅图1、2、3所示,本实用新型为一种石英晶圆切割机的带锯调整装置,其由一座体1、一轴座2、二导轨3及一致动元件4所构成,可通过座体1、轴座2、轨道3及致动元件4的配合,而将带锯调整至最佳的切割角度及张力,而于切割时具有高平整度、偏摆幅度小以及不易扭曲的功效,并可同时达到增加切割速度、延长带锯寿命及迅速更换带锯的效果。
上述座体1具有一中空部11,且该座体1的一端具有一套接孔12,该套接孔12具有一内螺纹部121,且该座体1的一端且位于中空部11的二侧分别具有一枢接部13。
该轴座2设置于上述座体1的中空部11中,且该轴座2的二侧分别以一轴杆21与座体的枢接部13活动套接,而该轴座2具有一轴套22,该轴套22延伸有一柄部23,该柄部23具有一顶掣于套接孔12外侧面的调整元件24,该调整元件24由一端顶掣于套接孔12外侧面的螺杆241以及分别螺合于螺杆241上的螺接套242所构成。
该导轨3分别活动接合且紧配于上述座体1的二侧,并于各导轨3上具有一个以上的固定孔31。
该致动元件4具有一可供设置于切割机内部预定处的固定座41,且该致动元件4具有一活动设置于上述座体1套接孔12中的传动杆42,而该传动杆42环设有一与套接孔12的内螺纹部121对应的外螺纹部421,如图5所示,并于该致动元件4上连接有一可供撷取外部电源的导线以及控制致动元件4正、反转的控制器(图未示)。因此,通过上述结构构成一全新的石英晶圆切割机的带锯调整装置。
参阅图4、5所示,当本实用新型于运用时,可设置于一切割机5内部,而该切割机5具有一工作区间51,且该工作区间51的一面具有一平台52,并于该切割机5内的底部设置有一传动轮组6,而将本实用新型的导轨3通过固定孔31配合固定元件设置于切割机5内部的一端预定位置处,且使该座体1活动设置于二导轨3间,之后再以致动元件4的固定座41将其设置于切割机5内部预定处,再将一轴杆7的一端活动设置于该轴座2的轴套22中,且该轴杆7的另一端设置有一飞轮71,而当该环形带锯8于设置时,跨设于该传动轮组6及飞轮71上,由于石英切割属重切削,因此欲进行切割须调整该环形带锯8的张力,使该环形带锯8与飞轮71之间无间隙产生,当调整时可利用控制器启动该致动元件4正转,使该致动元件4的运转带动其传动杆42转动,而使该传动杆42于转动时通过其外螺纹部421对应座体1套接孔12的内螺纹部121,而将座体1连同其上的轴座2于二导轨3间往上推动,进而带动轴杆7及其飞轮71往上移动,此时,该环形带锯8则会产生有被往外顶推、拉撑的情形,待将该环形带锯8调整至所需的最佳切割张力时即关闭该致动元件4。
当环形带锯8使用一段时间之后需做更换时,可利用控制器启动该致动元件4反转,使该致动元件4的运转带动其传动杆42转动,而使该传动杆42于转动时通过其外螺纹部421对应座体1套接孔12的内螺纹部121,而将座体1连同其上的轴座2于二导轨3间往下拉引,进而带动轴杆7及其飞轮71往下移动,此时,该环形带锯8则会与飞轮71间产生间隙,待将该环形带锯8与飞轮71间产生适当的间隙时即关闭该致动元件4,而让使用者进行更换环形带锯8的动作。
另外,参阅图6所示,本实用新型除可通过座体1上升、下降调整环形带锯8的张力外,也可通过调整轴套22柄部23的调整元件24达到调整飞轮71往左或往右偏移的角度,当调整时,以正转或反转的方式转动该螺杆241,使该螺杆241顶掣推动该座体1一端套接孔12外侧面,使该轴座2通过轴杆21于座体1的枢接部13上往一侧(飞轮71的方向)移动,进而带动轴套22上的轴杆7及其飞轮71移动,或转动该螺杆241,使该螺杆241离开座体1一端套接孔12外侧面,使该轴座2通过轴杆21于座体1的枢接部13上往另一侧(螺杆241的方向)移动,进而带动轴套22上的轴杆7及其飞轮71移动,如此,即可达到调整环形带锯8的切割角度。
但以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,当不能以此限定本实用新型实施的范围;凡依本实用新型所作的简单的等效变化与修饰,皆应仍属本实用新型专利涵盖的范围内。
权利要求1.一种石英晶圆切割机的带锯调整装置,其特征在于,包括有一座体,该座体具有一中空部,且该座体的一端具有一套接孔;一轴座,该轴座活动设置于上述座体的中空部中,且该轴座具有一轴套,该轴套延伸有一柄部,该柄部具有一顶掣于套接孔外侧面的调整元件;二导轨,该导轨分别活动接合于上述座体的二侧;以及一致动元件,该致动元件具有一活动设置于上述座体套接孔中的传动杆。
2.如权利要求1所述的石英晶圆切割机的带锯调整装置,其特征在于,该座体的一端且位于中空部的二侧分别具有一与轴座活动接合的枢接部。
3.如权利要求1所述的石英晶圆切割机的带锯调整装置,其特征在于,该套接孔具有一内螺纹部。
4.如权利要求1所述的石英晶圆切割机的带锯调整装置,其特征在于,该轴座的二侧分别以一轴杆与座体活动套接。
5.如权利要求1所述的石英晶圆切割机的带锯调整装置,其特征在于,该调整元件由一端顶掣于套接孔外侧面的螺杆以及分别螺合于螺杆上的螺接套所构成。
6.如权利要求1所述的石英晶圆切割机的带锯调整装置,其特征在于,各导轨上具有一个以上的固定孔。
7.如权利要求1所述的石英晶圆切割机的带锯调整装置,其特征在于,该致动元件具有一供设置于切割机内部预定处的固定座。
8.如权利要求1所述的石英晶圆切割机的带锯调整装置,其特征在于,该传动杆环设有一外螺纹部。
专利摘要本实用新型公开了一种石英晶圆切割机的带锯调整装置,其包含一具有中空部且一端具有套接孔的座体;一活动设置于座体中空部中的轴座,该轴座具有一轴套,该轴套延伸有一柄部,该柄部具有一顶掣于套接孔外侧面的调整元件;二分别活动接合于座体二侧的导轨;一具有传动杆可活动设置于套接孔中的致动元件。根据上述方案,可将带锯调整至最佳的切割角度及张力,而于切割时具有高平整度、偏摆幅度小以及不易扭曲的功效,并可同时达到增加切割速度、延长带锯寿命及迅速更换带锯的效果。
文档编号B23D53/04GK2848520SQ20052013277
公开日2006年12月20日 申请日期2005年11月18日 优先权日2005年11月18日
发明者杨嘉丰 申请人:熔晶股份有限公司
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