一种精密直驱气体静压转台的制作方法

文档序号:11075424阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种精密直驱气体静压转台,其特征在于:包括转台台面,与转台台面连接的径向主轴体,与径向主轴体连接的转台下静压盘;与所述转台台面连接的电机转子安装轴,与电机转子安装轴连接的电机转子压板,被电机转子压板压紧连接的电机转子,与电机转子压板连接的角位移传感器动子;轴承支承座,与轴承支承座通过树脂胶粘接的径向多孔质材料块、第一轴向多孔质材料块、第二轴向多孔质材料块;与所述轴承支承座连接的电机定子和电机定子压环;与所述轴承支承座连接的转台底座,与转台底座连接的角位移读数头安装座,与角位移读数头安装座连接的角位移传感器读数头;与所述转台底座连接的气管接头和防护外罩;

所述的转台台面与径向主轴体和转台下静压盘连接构成转台的转子;

所述的转台台面与电机转子安装轴和电机转子连接,电机转子为内藏式安装,降低了转台的高度;

所述气管接头通过直管螺纹与转台底座连接,并通过转台底座和轴承支承座的气道为径向多孔质材料块、第一轴向多孔材料块和第二多孔质材料块提供压力气源。

2.根据权利要求1所述的精密直驱气体静压转台,其特征在于:所述的第一轴向多孔质材料块和第二轴向多孔质材料块嵌入轴承支撑座并与所述轴承支承座的上下端面共面,轴承支承座与径向主轴体的高度差为0.03~0.04mm,径向多孔质材料块外径与径向主轴体内孔的直径差为0.03~0.04mm。

3.根据权利要求1所述的精密直驱气体静压转台,其特征在于:所述的防护外罩为六边形结构,所述的转台底座为四边形。

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