技术总结
本发明提出一种精密直驱气体静压转台，解决了现有技术中转台径高比较小、传递误差和精度较大的问题。本发明包括：转台台面，与转台台面连接的径向主轴体，与径向主轴体连接的转台下静压盘；与转台台面连接的电机转子安装轴，与电机转子安装轴连接的电机转子压板，被电机转子压板连接的电机转子，与电机转子压板连接的角位移传感器动子；轴承支承座，与轴承支承座粘接的径向多孔质材料块、第一轴向多孔质材料块、第二轴向多孔质材料块；与轴承支承座连接的电机定子和电机定子压环；与轴承支承座连接的转台底座，与转台底座连接的角位移读数头安装座，与角位移读数头安装座连接的角位移传感器读数头；与转台底座连接的气管接头和防护外罩。
技术研发人员：李彬;吴媛媛;席建普;任东旭;赵则祥
受保护的技术使用者：中原工学院
文档号码：201611213977
技术研发日：2016.12.26
技术公布日：2017.05.10