专利名称：一种表面金属镀膜设备用靶极系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种靶极系统，特别涉及一种表面金属镀膜设备用靶极系统。
背景技术：
各类表面金属镀膜产品及柔性带状物金属产品在现代工业当中用途广泛，例如利用泡沫镍、镀镍钢带制作高性能的蓄电池的电极板，由于泡沫镍本身为多孔状，形成的表面积大，所以可以与蓄电池液充分接触，从而使得蓄电池的性能大大提高。再如包装用铝箔纸、屏蔽用镀膜布，均在日常生活和电子电工等方面有着广泛的应用。还有平板玻璃、塑料装饰件以及一些工具的表面处理。如此等等，都是采用的真空镀膜工艺，靶极系统则是其关键部件，必不可少。
各类表面金属镀膜产品及柔性带状物金属产品在镀膜生产当中，最关键的步骤是使柔性带状物表面的均匀牢固成膜，而在各类镀膜设备中，要求具有镀膜温度低、效率高、成本低等特点。这些镀膜设备，采用的均是平板固定式靶极，靶材利用率一般在10％左右。
发明内容本实用新型为了弥补现有技术的不足，提供了一种表面金属镀膜设备用靶极系统，适合于镀制各类表面金属膜产品及柔性带状物金属产品，并且具有镀膜温度低、生产效率高，生产成本低廉等特点。
本实用新型是通过如下技术方案实现的一种表面金属镀膜设备用靶极系统，包括固定轴、与固定轴连接的导磁芯轴，固定轴外为密封室、固定架，固定架的一侧固定有靶极门及防护罩，其特殊之处在于所述固定轴上固定有传动链轮，传动链轮依次连接转动轴、靶极连接法兰、靶材连接法兰及靶材。
本实用新型的表面金属镀膜设备用靶极系统，所述固定轴的顶端中心位置开有进水口，进水口经固定轴和芯轴中心孔到靶材尾端，再从芯轴表面经固定轴外水套到出水口，形成一循环通道。
所述固定轴、转动轴套、导磁芯轴、磁铁、管状靶材与防护罩、绝缘部件和传动部件的一体化设计，使该设备具备了优越的实用性。，靶极系统具有完整的冷却系统，保证了靶极系统在工作过程中具有良好的冷却效果。
本实用新型用旋转式组合靶极替代现有的平板固定式靶极，在镀膜生产过程中电机带动链轮经转动轴、靶极连接法兰、靶材连接法兰使靶材绕芯轴转动，达到靶材表面均匀溅射之目的。
本实用新型由于靶材产生旋转，表面均匀溅射，彻底改变了平板固定式靶极靶材表面局部环状溅射，靶材利用率极低的状况。利用率由原来的10％提高到60％以上。组成了一整套可旋转的真空镀膜靶极，不仅提高了靶材利用率，而且提高了设备效率，延长了设备维护周期，降低了镀膜成本。
以下结合附图对本实用新型作进一步的说明。
附图为本实用新型的结构示意图。
图中，1固定架，2固定轴，3传动链轮，4密封室，5靶极门，6防护罩，7转动轴，8靶极连接法兰，9靶材连接法兰，10靶材，11芯轴，12进水口，13出水口。
具体实施方式
附图为本实用新型的一种具体实施例。该实施例包括固定轴2、与固定轴2连接的导磁芯轴11，固定轴2外为密封室4、固定架1，固定架1的一侧固定有靶极门5及防护罩6，其特征在于所述固定轴2上固定有传动链轮3，传动链轮3依次连接转动轴7、靶极连接法兰8、靶材连接法兰9及靶材10。在镀膜生产过程中电机带动传动链轮3经转动轴7、靶极连接法兰8、靶材连接法兰9使靶材10绕芯轴11转动，由上述部件的紧密组合实现了靶材10的旋转，达到了表面均匀溅射，提高了靶材10的利用率。
本实用新型为了保证靶极的正常运转，采用了内置式冷却系统。冷却水从进水口12进入，经固定轴2和芯轴11中心孔到靶材10尾端，再从芯轴11表面经固定轴2外水套到出水口13，形成循环。
权利要求1.一种表面金属镀膜设备用靶极系统，包括固定轴(2)、与固定轴(2)连接的导磁芯轴(11)，固定轴(2)外为密封室(4)、固定架(1)，固定架(1)的一侧固定有靶极门(5)及防护罩(6)，其特征在于所述固定轴(2)上固定有传动链轮(3)，传动链轮(3)依次连接转动轴(7)、靶极连接法兰(8)、靶材连接法兰(9)及靶材(10)。
2.根据权利要求1所述的表面金属镀膜设备用靶极系统，其特征在于所述固定轴(2)的顶端中心位置开有进水口(12)，进水口(12)经固定轴(2)和芯轴(11)中心孔到靶材(10)尾端，再从芯轴(11)表面经固定轴(2)外水套到出水口(13)，形成一循环通道。
专利摘要本实用新型公开了一种靶极系统，特别公开了一种表面金属镀膜设备用靶极系统。该表面金属镀膜设备用靶极系统，包括固定轴、与固定轴连接的导磁芯轴，固定轴外为密封室、固定架，固定架的一侧固定有靶极门及防护罩，其特殊之处在于所述固定轴上固定有传动链轮，传动链轮依次连接转动轴、靶极连接法兰、靶材连接法兰及靶材。本实用新型由于靶材产生旋转，表面均匀溅射，利用率由原来的10％提高到60％以上。组成了一整套可旋转的真空镀膜靶极，不仅提高了靶材利用率，而且提高了设备效率，延长了设备维护周期，降低了镀膜成本。
文档编号C23C14/14GK2923740SQ20062008553
公开日2007年7月18日 申请日期2006年6月14日 优先权日2006年6月14日
发明者毕研文, 王乃用, 宋小斌, 张强, 江衍勤 申请人:菏泽天宇科技开发有限责任公司