用于蒸发器体的初始润湿辅助材料的制作方法

专利名称：用于蒸发器体的初始润湿辅助材料的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种初始润湿辅助材料，所述辅助材料用于施加到可电加热的陶瓷蒸发器体的蒸发器表面上，所述蒸发器体用于在PVD敷金 属装置中运行以蒸发铝。本发明还涉及一种可电加热的陶瓷蒸发器体， 所述蒸发器体具有施加到蒸发器体的蒸发器表面上的根据本发明的初 始润湿辅助材料。本发明还涉及一种用于制备可电加热的陶瓷蒸发器体 的方法，其中在加热所述蒸发器体之前将根据本发明的初始润湿辅助材 料施加到蒸发器体的蒸发器表面上。
背景技术：
根据PVD (物理气相沉积)技术，用优选为铝的金属涂覆柔性基底 的常规方法为所谓的真空带敷金属法。合适的柔性基底为例如纸、塑料 箔和织物，而主要将铝用作金属。这种涂覆基底广泛用于包装和装饰目 的、电容器的生产和环境技术(绝缘)。在所谓的敷金属装置中涂覆柔性基底。在敷金属装置中，在冷却的 辊上引导待涂覆的基底，同时使其暴露于金属蒸气，所述金属蒸气在基 底的表面上冷凝为薄金属层。为了产生所需的恒定蒸气流，使用优选为 所谓的蒸发器船形式的可电加热的蒸发器体，该蒸发器体被加热到约1450~ 1600。C。金属丝以连续方式提供，并在蒸发器船的表面上熔化， 并且在约10"毫巴的真空下蒸发。主要使用的金属是铝。根据PVD技术，在非连续方法中优选通过闪蒸间歇地涂覆非柔性 基底。所述非柔性基底例如为电视屏幕和塑料零件。用在连续法和非连续法中的蒸发器体通常由热压陶瓷材料组成，其 主要成分是二硼化钛和氮化硼。二硼化钛是导电性组分，而氮化硼是电 绝缘组分，当二者混合在一起时产生一定的比电阻。在实践中，在敷金属过程开始时待蒸发的金属在蒸发器体上的润湿 是不完全的。因此，在敷金属过程开始时由于较小的润湿表面仅仅可实现降低的蒸发速率(千克金属/单位时间)。 发明内容本发明提供一种初始润湿辅助材料， 一种具有根据本发明的初始润 湿辅助材料的蒸发器体和一种最初提到的类型的方法，由此得到通过待 蒸发的铝获得蒸发器体的初始润湿性，从而提高蒸发器开始运行时的蒸 发速率。本发明提供一种初始润湿辅助材料，所述辅助材料用于施加到可电加热的陶瓷蒸发器体的蒸发器表面上，所述蒸发器体用于在PVD敷金 属装置中运行以蒸发铝并且含有作为材料成分的优选为氮化硼形式的材料，所述层状材料包含也可形成为板材或箔状材料的至少一层，所述 初始润湿辅助材料包含至少两种组分作为第一组分的铝，条件是，一 旦蒸发器体开始运行其就在所述蒸发器体的蒸发器表面上熔化并与蒸 发器体中的氮反应，由此在蒸发器表面上产生氮化铝层，以及作为第二 组分的润湿剂(润湿介质)，通过所述润湿剂有助于熔融的铝在所述蒸 发器表面上形成均匀的、大的表面分布。蒸发器体是直接地电阻加热的，即在直接的电流通路中加热。蒸发器启动后初始润湿辅助材料中的熔化的铝通过润湿剂迅速、广 泛地分布在蒸发器体的蒸发器表面上，使得在加热过程开始时蒸发器表 面就已经几乎完全被铝润湿。润湿剂优选减小熔融铝的润湿角。通过这 种方式良好分布的铝然后与蒸发器体的氮化硼反应以形成氮化铝。与蒸 发器体的氮化硼相比，由此在蒸发器表面上形成的氮化铝更好地被铝润 湿。如果蒸发器体以适当的方式运行，则在蒸发器体的整个寿命期间 保持由初始润湿辅助材料形成的活性润湿表面(=在蒸发器体的蒸发器 表面上产生的氮化铝层)。通过在蒸发器体启动(-加热开始步骤)时借助初始润湿辅助材料 可非常快速地被提供到蒸发器体的蒸发器表面上的氮化铝层，其中待蒸 发的铝材料连续地施加到该氮化铝层上，蒸发器表面的润湿/涂覆得到 明显的改善，因为与例如氮化硼相比，氮化铝层极大地减小铝相对蒸发器体的蒸发器表面的润湿角(降低表面张力)，使得更快速地润湿氮化 铝层和蒸发器表面。初始润湿辅助材料中的铝在蒸发器体开始运行时熔 化，即，例如当电流流过蒸发器体以便由于蒸发器体的欧姆电阻而将该蒸发器体电加热到1450 ~ 1600。C的示例性工作温度时，其中初始润湿辅发器表面上，其中通过初始润湿辅助材料中的熔融的铝润湿的相应的蒸 发器体上的表面表示初始润湿表面。因此在提供初始润湿辅助材料的整 个蒸发器表面(=随后的初始润湿表面)上，在蒸发器体的加热阶段中， 实现蒸发器体中的铝与氮的原位反应，由此快速并可靠地形成有利的氮 化铝层。因此，在蒸发器体的加热过程结束时，氮化铝层已经存在于几乎整 个蒸发器表面上，其中同时铝的蒸气压达到或超过气相的压力，使得初 始润湿辅助材料中的过量的铝蒸发。因此以在蒸发过程开始就已经以相 对加快的蒸发速率从相对较大的活性铝浴表面(-通过连续地提供的熔 融铝覆盖的蒸发器体的蒸发器表面)进行随后的待蒸发的铝的连续蒸 发。通过恰好在加热过程开始时由初始润湿辅助材料中的铝实现的大表 面初始润湿，还可降低蒸发器体的初始热应力，由此延长其使用寿命并 有利于对其进行电控制。此外，均匀、广泛的初始润湿还明显地减少了所谓的飞溅形成。飞 溅尤其是由铝的突然蒸发引起并在所涂覆的基底上形成缺陷。由于蒸发 器表面润湿/涂覆不完全并且由于铝浴的脉动运动，铝从蒸发器表面的 较冷的润湿部分不断地供给到蒸发器表面的较热的未润湿部分，从而产 生许多小的飞溅。通过根据本发明的初始润湿辅助材料在蒸发器表面上 形成的均匀的广泛的润湿层防止铝由于温度梯度而在蒸发器表面上的 突然蒸发，由此明显地降低飞溅形成。除了将初始润湿辅助材料用于蒸发器体的连续运行或将铝连续供 给到蒸发器表面之外，根据本发明的初始润湿辅助材料还可用于制备用 在铝的非连续蒸发中的蒸发器体和用于通过闪蒸器涂覆非柔性基底。蒸发器体优选由作为绝缘组分并用于产生氮化铝层的氮供给物的 氮化硼和作为导电组分的二硼化钛制成。优选地，氮化硼和二硼化钛各 自以50wt。/。的比率包含在蒸发器体材料中。此外，初始润湿辅助材料可容易地制备并固定到蒸发器体上。例如， 初始润湿辅助材料优选简单地包含粘合剂，例如丙烯酸酯粘合剂，通过 所述粘合剂可将初始润湿辅助材料粘结固定到蒸发器表面上。但是，也 可形成初始润湿辅助材料，以便例如当形成为箔/板或块时可将其简单 地放置到蒸发器体上，或者例如当形成为粉末时可撒到蒸发器体上。初 始润湿辅助材料还可包括箔/板材料和粉末材料的组合。蒸发器体优选 具有空腔，箔和/或粉末以松散方式牢固地嵌入到所述空腔中。或者， 将粉末形式的润湿剂简单地撒到或辊压到蒸发器体的蒸发器表面上，然 后通过松散地施加的铝箔或借助粘合剂固定的铝荡或者通过铝片覆盖。此外，初始润湿辅助材料优选包含作为附加材料成分的锡，其中锡 可以以其单质形式或键合形式存在。优选以粉末形式提供的最大粒径为0.02 ~ 0.06mm、优选为0.045mm的锡在高于230。C的温度下通过形成熔 融相而呈现粘合剂的粘合特性，由此确保初始润湿辅助材料在粘合剂已 分解或粘合剂已蒸发后在较高温度下也粘合/固定在蒸发器体的蒸发器 表面上。重要的是，为了确保初始润湿辅助材料在整个温度范围的粘合， 甚至在粘合剂蒸发之前，锡就呈现粘合特性。由于锡的熔融温度和蒸气 压，锡非常适合于该目的，因为与其熔融温度相比，锡具有与铝近似相 等的相对低的蒸气压，使得通过锡与粘合剂的组合，确保初始润湿辅助 材料在所述过程的整个温度范围粘合在蒸发器表面上。此外，由于锡的 蒸气压近似等于铝的蒸气压，所以到加热过程结束达到最高加热温度 时，锡全部蒸发而没有留下任何残余物。可将锡直接加到粘合剂和/或 润湿剂中，和/或可将锡与铝合金化。应该指出，对于提高的温度范围， 本发明不限于将用锡作为粘合剂，而且还可以使用其它具有类似熔点和 沸点温度范围的材料成分。首要的是，所选择的材料成分在粘合剂分解 /蒸发之前起到所需的粘合作用，并且其蒸气压近似等于铝的蒸气压， 使得不形成残余物。虽然锡和粘合剂的组合在整个温度范围提供近似理 想的粘合效果，但是锡或粘合剂也可以各自存在于初始润湿辅助材料 中，而没有相应的另一种材料成分。优选地，初始润湿辅助材料中的润湿剂包含至少30wt%、优选为 40wt。/。的作为材料成分的锆、钼、钛或其组合。所述成分可以以其单质 形式存在、作为金属合金或以键合形式存在。在键合形式中，所述成分 优选作为硼化物和/或硅化物和/或氮化物和/或碳化物和/或碳氮化物存在，优选作为硼化物和/或硅化物存在，但不以氧化形式存在。重要的 是，当与液态铝接触时，在加热条件下存在于敷金属装置中的化合物形 成游离钛金属/钼金属/锆金属。优选地，润湿剂是二硼化钛、金属钛、 二硼化锆、金属锆、二硅化钛、二硅化锆、二珪化钼、金属钼、二钬化硅亚铁(FeSiTi2)或其组合。润湿剂例如可以形成为优选包含粒径小于或等于0.2mm的粉末，或 者可以作为铝合金以合金组分的形式与初始润湿辅助材料中的铝一起 提供。初始润湿辅助材料中的铝例如可以形成为厚度为0.01 ~4mm的 铝箔或铝片，优选厚度为0.01~0.1mm的铝箔或厚度为0.2~0.3mm， 优选为0.024~0.26mm的铝片；才艮据优选实施方案，将润湿剂施加到铝 箔或铝片上，优选辊压到其上。根据本发明的另一个实施方案，将包含 锡和润湿剂的粉末混合物施加到铝箔或铝片上，优选将粉末混合物辊压 或喷射到其上。铝也可以以粉末形式提供，所述粉末的粒径优选为小于 或等于0.5mm。根据本发明的另一个实施方案，初始润湿辅助材料中的铝可形成为 铝合金的箔或片，所述铝合金除了含有铝之外，还含有作为合金成分的 润湿剂。作为另外的合金成分，可将锡与铝合金化。根据可替代的实施 方案，将初始润湿辅助材料中的铝和润湿剂和优选的锡混合在一起，以 形成粉末混合物。在铝层例如通过丙烯酸酯粘合剂胶粘到蒸发器体上的 情况下，根据上面提供的解释，锡防止铝箔或铝片由于在操作过程中粘 合剂熔化并蒸发或分解而与蒸发器剥离，原因是熔融状态的锡具有足够 的粘合性。可替代地，可提供多孔铝箔或多孔铝片，粘合剂蒸气可通过 其逸出，而不使箔或片剥离。根据本发明的再一个实施方案，初始润湿辅助材料形成为液体粘合 剂的悬浮体，所述液体粘合剂优选为有机粘合剂或蜡，铝、润湿剂和优 选的锡的粉末混合物分散于其中。这使得所述初始润湿辅助材料能够通 过简单地放置到蒸发器体上形成为层。液体粘合剂形成基体，优选为有 机基体，粉末混合物结合到其中。根据优选实施方案，悬浮体例如包含 链烷烃硬脂酸酯蜡(paraffin stearate wax )、最大粒径为0.015mm的欲 和/或二硼化钬粉末、最大粒径为0.5mm的铝粉末和优选的最大粒径为 0.02~0.06mm、优选为0.045mm的锡粉末。例如可将蜡加热到约150。C的温度，将铝、润湿剂和锡(如果使用的话)拌入热蜡中，由此产生悬 浮体。然后可在该加热的状态下，将蜡悬浮体施加到蒸发器上，优选施 加到蒸发器的空腔中。随后通过冷却固化蜡悬浮物，使得通过这种方式制备的蒸发器体可递送/运送。优选地，悬浮物由此具有高于7(TC的熔 点。此外，为了传递信息，例如操作说明书或广告，可以为固化的蜡悬 浮物提供浮凸装饰。当加热蒸发器体时，蜡熔化并蒸发或分解，使得起 初形成氮化铝层的铝和润湿剂以及锡(如果使用的话)在此残留，其中 锡最终与残留的铝一起蒸发。根据另一个优选的实施方案，悬浮物例如 包含铝粉末、钛和/或二硼化钛粉末、糖、二醇和优选的锡。在使用室 温下不固化的悬浮物的情况下，或者如果将松散粉末用作初始润湿辅助 材料的情况下，则用其制备的蒸发器体例如可配置有自粘合箔或另外的 覆盖物，以防止悬浮物或粉末在运输过程中离开蒸发器体中的空腔。所 述覆盖物例如可以是热敏的，使得其在蒸发器体操作过程中自动毁坏， 或者其可以是可分离的，例如是可剥离的箔的形式。初始润湿辅助材料自身可以是例如铝层、广泛地施加到铝层上的润 湿剂层、优选的施加到润湿剂层的锡粉末层和施加到润湿剂层或锡粉末 层的粘合剂层的多层结构，通过所述粘合剂层，初始润湿辅助层像粘胶 标签(adhesive label)—样施加到蒸发器体上。优选选择粘合剂层的粘合 剂，使得在加热蒸发器体过程中其在250。C或以上的温度下分解并完全 蒸发，即几乎没有留下任何残余物。所述粘合剂例如为丙烯酸酯粘合剂。 如上所述，锡粉末通过在高于230'C的温度下形成熔体而呈现粘合特性， 其中以顺接或重叠方式发生粘合特性的转变，即在约230。C到约260'C 的温度范围内，通过粘合剂和锡熔体使初始润湿辅助材料粘合/固定到 蒸发器表面上。锡粉末优选简单地与粘合剂混合，使得不需要单独的锡 层。根据本发明的一个实施方案，初始润湿辅助材料形成为包含第一层 和第二层的双层，所述第一层包含有机丙烯酸酯粘合剂和润湿剂和优选 的锡粉末的混合物，所述第二层包含铝或铝合金，其中第二层的厚度优 选比第一层的厚度厚。在该实施方案中，第一层的厚度优选为0.02 ~ 0.06mm、更优选为0.050mm,其中润湿剂是粒径为0.01 ~ 0.02mm,优 选为0.015mm的钛或二硼化钛粉末，并且以15~40wtD/。、优选为30wt %的重量百分含量包含在第一层中，并且其中锡粉末以5~30wt%、优选为30wt。/。的重量百分含量包含在第一层中。第二层的厚度为0.045 ~ 4mm、优选为0.045 ~0.1mm、更优选为0.055mm，或者为0.2~0.3mm、 更优选为0.24 ~ 0.26mm。根据本发明的另一个实施方案，初始润湿辅助材料中的铝形成为铝 件，优选为铝丝件、铝方块或透镜状的形式。铝件除了包含铝之外，优 选还包含润湿剂成分，其中所述润湿剂是不能与铝合金化的物质。丝件 例如可以弯成波浪状并可以粘到或放置到蒸发器体上。可替代地，根据本发明，铝也可以形成为铝合金的材料件，优选为 丝材料件，方石体或透镜状的形式，除了铝之外，铝合金还含有润湿剂 和锡(如果使用的话)作为合金成分。铝合金优选包含卯~ 97wt%的含有杂质的金属铝和3 ~ 10wt%的作 为润湿剂的钛。根据本发明的另一个实施方案，初始润湿辅助材料形成为三层或三 个涂层，包含由铝箔或铝片形成的第一层、沉积到第一层上的润湿剂的 第二层和沉积到润湿剂层上的粘合剂(优选为丙烯酸酯粘合剂)的第三 层。此处，将所述第二层固定到所述第一层的表面上，所述固定例如将 0.05g钬和/或二硼化钬与0.03 ~ 0.05g、优选0.05g锡的混合物辊压到所 述第一层的表面上，其中粘合剂层的厚度为0.02~0.06mm、优选为 0.03mm,并且其中粘胶标签的总厚度为0.1~4mm、优选为0.10 ~ 0.16mm、更优选为0.13mm,或者为0.25 ~ 0.35mm。优选地，将最大 粒径优选为0.02 ~ 0.06mm、更优选为0.045mm的锡粉末加到润湿剂和 /或粘合剂中。根据本发明的一个实施方案，粘合剂是厚度为0.02~0.06mm、优选 为0.03 ~ 0.05mm的粘合剂层，优选为丙烯酸酯粘合剂，并且初始润湿 辅助材料的总厚度为0.07~4mm、优选为0.07~0.16mm、更优选为 0.10 ~ 0.13mm，或者为0.2 ~ 0.35mm。已经证实，这些厚度尺寸对于所 希望的分布是足够的并足以形成氮化铝层，其中直到液态锡的粘合特性 开始呈现时粘合剂才以足够的速度分解和蒸发，并且其中在锡的粘合特 性开始生效之前粘合剂起到足够强的粘合作用。优选地，根据本发明，初始润湿辅助材料还用作信息载体，为此目 的其可配置有浮凸装饰或印记。因此，例如可将诸如广告和商标的特征 或其它标记，置于初始润湿辅助材料上。为了应用浮凸装饰，优选地，固化的蜡悬浮体以及铝箔或铝片是合适的；后者也优选适合应用印记。本发明还提供一种可通过直接的电流通路电加热的蒸发器体，优选 为陶瓷蒸发器体，所述蒸发器体包含蒸发器表面并用于在pvd敷金属 装置中运行以蒸发铝。蒸发器体含有作为材料成分的氮，优选为氮化硼 形式，并提供有施加到蒸发器表面、优选为施加到整个蒸发器表面的根 据本发明的初始润湿辅助材料。如上简述，蒸发器体优选为混合陶瓷，所述混合陶瓷包含二硼化钛和氮化硼作为主要成分，各自的混合比率为50wt。/。加/减10wt%。根据 本发明，蒸发器体可包含空腔，可将悬浮体状、粉末状或箔形式的初始 润湿辅助材料嵌入到所述空腔中，所述初始润湿辅助材料优选被可移去 的或热敏的覆盖物覆盖。蒸发器体包含蒸发器表面。蒸发器表面优选可被根据本发明的初始 润湿辅助材料全部或部分地占据。根据一个优选实施方案，相对于蒸发器体的蒸发器表面，所用的润 湿剂的质量为0.3 ~ 400mg/cm2 蒸发器表面， ^i^力1 ~ 6mg/cm蒸发器表面， 并且 紹的质量为0,1 ~ 100mg/cm2蒸发器表面,优选为10 ~ 60mg/cm 蒸发器表面。本发明还提供一种用于制备蒸发器体的方法，优选为可在直接的电 流通路中加热的陶瓷蒸发器体，所述蒸发器体用于在pvd敷金属装置 中运行以蒸发铝并含有作为材料成分的氮，优选为氮化硼形式。在加热 蒸发器体之前，将根据本发明的初始润湿辅助材料至少部分地施加到蒸 发器体的蒸发器表面上，优选施加到基本整个表面上。在使用时，利用电流使根据本发明的蒸发器体运行，以熔化初始润湿辅助材料中的铝并 通过润湿剂将其广泛地分布到蒸发器表面上，由此熔融的初始润湿辅助 材料中的铝与蒸发器体的氮成分反应，从而形成氮化铝层，然后将实际上要蒸发的铝材料施加到所述氮化铝层上。根据上述方法，优选将悬浮物形式的初始润湿辅助材料嵌入到蒸发器体的空腔中。并且，所述悬浮物可以0.05 2.0mm、优选为0.1 ~ 0.2mm 的厚度施加到蒸发器体的蒸发器表面上。优选地，使用熔点超过70'C温 度的悬浮体，以便在将悬浮体施加到蒸发器体的蒸发器表面之后或将悬 浮物嵌入到蒸发器体的空腔中之后，可通过冷却使悬浮体固化。这可以 在用于传递信息的蜡层的表面上提供浮凸装饰，并可以使得具有初始润 湿辅助材料的蒸发器体的递送/运送不成问题。


下面将参照附图基于优选实施方案解释本发明。在图中图1是具有根据本发明第一实施方案的初始润湿辅助材料的蒸发器 体的透视图，图2是具有根据本发明第一实施方案的初始润湿辅助材料的蒸发器 体的横剖面图，图3是具有根据本发明另一实施方案的初始润湿辅助材料的蒸发器 体的透视图，图4是具有根据本发明实施方案的初始润湿辅助材料的如图3所示蒸 发器体的横剖面图，图5是具有根据本发明再一实施方案的初始润湿辅助材料的蒸发器 体的透视图，图6是具有根据本发明实施方案的初始润湿辅助材料的如图5所示 蒸发器体的横剖面图，和图7是具有根据本发明又一实施方案的初始润湿辅助材料的蒸发器 体的透视图。
具体实施方式
图l和图2显示具有根据本发明第一实施方案的初始润湿辅助材料 的蒸发器体l。蒸发器体1以所谓的蒸发器船的形式设计并由含有作为 主要成分的二硼化钛和氮化硼的热压陶瓷材料构成，其中二硼化钛是导 电性组分，氮化硼是电绝缘组分。导电组分与绝缘组分的混合比为50wt%分别(+/-10wt°/。)，这产生约600 ~ 6000微欧姆*厘米的比电阻。例如， 蒸发器体的长度L为约130mm，宽度B为约30mm，高度H为约10mm。蒸发器体优选是直接电阻加热的，即在直接的电流通路中加热。然 而，其也可以是非直接加热的，即通过外部加热源加热。根据本发明第一实施方案的初始润湿辅助材料形成为多层结构并 沉积在构成蒸发器表面的蒸发器体1的上表面上。初始润湿辅助材料的 长度l为约100mm，宽度b为约28mm，高度h为约0.105 ~ 0.4mm。 如图l和图2所示的多层结构为包括第一层I和第二层II的双层2。双层2的第一层I形成为粘附层并由厚度为0.02 ~ 0.06mm、优选为 0.03~0.05mm的粘合剂层构成，将重量百分含量为15~40wt%、优选 为30wt。/。的钛和/或二硼化钛粉末加到所述粘附层中。钛和/或二硼化钛 粉末的最大粒径为0.01~0.02mm，优选为0.015mm。优选地，额外地 将重量百分含量为5~30wt%、优选为30wt。/。的锡粉末加到粘附层中， 其中锡粉末的最大粒径为0.06mm，示例性地为0.045mm。钬和/或二硼 化钛粉末作为润湿剂，其中或者可将二硼化锆、锆、二硅化钛、二硅化 锆、二硅化钼、钼或二钛化硅亚铁(FeSiTi2)用作润湿剂并加到粘合剂 层中。使用有机丙烯酸酯粘合剂作为粘合剂，但本发明不限于使用有机 丙烯酸酯粘合剂作为粘合剂。在高于230。C的温度下，锡通过形成熔体 起到"粘合剂"的作用，由此在较高温度下代替粘合剂，粘合剂在约250'C 下蒸发。锡和铝的蒸气压近似相等，使得锡完全蒸发，即不留下任何残 余物。双层2的第二层II的厚度为0.045 ~ 4mm、优选为0.045 ~ O.lmm、 更优选为0.055mm，或者为0.2 ~ 0.3mm、更优选为0.24 ~ 0.26mm,并 含有作为主要成分的铝。铝优选以长度为100mm、宽度为28mm的铝 箔或铝片的形式提供，但是也可以形成为铝合金的箔或片，所述铝合金 除了含有比率为约90 97wt。/。的铝外还含有约3 10wt。/。的润湿剂例 如钛。锡也可以作为合金组分加到合金中。通过形成为粘附层的第一层I ,将根据本发明第一实施方案的初始 润湿辅助材料像粘胶标签一样胶粘到形成蒸发器表面的蒸发器体1的表 面上。为了防止熔融的铝或润湿剂从侧面流下或者降低这样的流动，优选将初始润湿辅助材料广泛地并中心性地施加到蒸发器体1的表面。通 过第一层I的粘合剂将初始润湿辅助材料像粘胶标签一样施加到蒸发 器体1上，优选选择第一层I的粘合剂，使得在加热蒸发器体1的过程 中其分解并完全蒸发，即几乎不留下任何残余物，其中粘合剂的分解温度优选为约250。C或更高。在粘合剂分解之前不久，锡开始熔化并呈现 粘合剂的粘合特性。首先，这在双层2的第二层II形成为箔/片或粉末的 情况下是重要的。在这种情况下，锡铸件防止箔、片或单一的粉末颗粒 被上升的分解的粘合剂的气泡提升或带走。在粘合剂已达到其分解温度 之前锡就已经发挥其完全的粘合特性是关键的。附加地或可替代地，可 提供穿孔的箔或穿孔的片，以便蒸发的粘合剂可逸出，而不使箔上升。然后优选在高真空下在敷金属装置中电阻加热蒸发器体l并加热到 约1450 ~ 1600'C的温度，所述蒸发器体1包含沉积到其表面或蒸发器表 面上的双层2。在加热过程开始时，初始润湿辅助材料的第一层I的丙烯酸酯粘合剂分解，然后初始润湿辅助材料的第二层n的铝开始熔化。由于相对于蒸发器体l的蒸发器表面的润湿角小，所以通过润湿剂(此 处为钛和/或二硼化钛)使液态铝均匀地分布在蒸发器表面上，因此液 态铝可以与蒸发器体1的氮化硼在之前层合的整个蒸发器表面上原位反 应，以形成氮化铝。在加热过程中形成氮化铝是有利的，因为与蒸发器 体l的氮化硼相比，氮化铝可被铝更好地润湿。此外，在加热过程结束 时产生铝的蒸气压，即铝的蒸气压等于或大于气相的蒸气压从而铝蒸 发。最初施加到蒸发器体1的蒸发器表面上的初始润湿辅助材料的所有 残余物是钬/硼化钛。然后将例如铝丝形式的铝连续地供给到加热过程中产生的氮化铝 层和初始润湿辅助材料的钛/硼化钛残余物。由于氮化铝层，使连续地 供给的铝均匀地分布在蒸发器体l的蒸发器表面上，其中蒸发器体l的 表面中约80%被铝润湿，形成为双层的初始润湿辅助材料，胶粘到所述 表面上。这导致在一开始就已经产生高初始蒸发速率，并且所述初始蒸 发速率不必被设置低于所希望的目标蒸发速率。润湿剂(此处为钛和/ 或二硼化钛)不蒸发，因此作为残余物留在蒸发器体l的蒸发器表面上。由铝在陶瓷蒸发器体l上的初始润湿的改进产生的其它优点是降低了影 响蒸发器体l的初始热应力和初始润湿阶段后的较大且均匀的润湿表面，由此延长蒸发器体1的使用寿命并改善蒸发器体1的电控制。图3和图4显示本发明的第二实施方案。所示的蒸发器体l对应于 上述如图1所示的蒸发器体，即图1和图3所示的蒸发器体的尺寸和组 成是相同的，因此使用相同的附图标记。根据本发明的第二实施方案，将再次形成为多层结构的初始润湿辅 助材料施加到蒸发器体1的上表面，该上表面形成蒸发器表面。优选地， 根据本发明第二实施方案的初始润湿辅助材料的长度l为约100mm，宽 度b为约28mm，高度h为约0.1 ~ 4mm,并且是包含第一层I'、第二层n'和第三层m的三层2'。三层2'的第一层i '包含作为主要成分的铝，其中优选以铝箔或铝片 的形式提供铝，但是也可以形成为包含铝合金的箔或片，所述铝合金除了含有比率为约卯 97wto/。的铝外还含有比率为约3 10wt。/。的润湿 剂例如钛。除了润湿剂之外，锡也可以与箔合金化，如上所述，在高于 230 'C的温度下其作为粘合剂。第二层n'由润湿剂构成，此处为钛和/或二硼化钛，润湿剂以粉末 形式提供并施加到第一层I'。为了将润湿剂固定到第一层I'上或用润 湿剂涂覆第一层r，优选将润湿剂辊压到第一层r上。通过辊压将总 计o.o5g的钛和/或二硼化钛固定到第一层r的表面上。可替代地，将二硼化锆、锆、二硅化钛、钼、二钛化硅亚铁(FeSiTi2 )、 二硅化钼或 二珪化锆用作润湿剂。三层2'的第三层m形成为粘附层，并由厚度为0.02~0.06mm、优选 为0.03mm的粘合剂层构成，粘合剂层设置在第一层I，和第二层II'下 面，其中初始润湿辅助材料的总厚度为0.1~4mm、优选为0.10 ~ 0.16mm、更优选为0.13mm,或者为0.25 ~ 0.35mm。在此用有机丙烯 酸酯粘合剂作为所述粘合剂，但本发明不限于用有机丙烯酸酯粘合剂作 为粘合剂。优选地，将最大粒径为0.02~0.06mm的锡粉末加到润湿剂和/或粘 合剂中。例如，可将0.05g的钛/二硼化钬和0.05g的锡混合并通过辊压 或其它方法施加到第一层I '上。通过形成为粘附层的第三层m，将根据本发明第二实施方案的初始润湿辅助材料像粘胶标签一样粘合固定到蒸发器体1的表面上。选择第三层m的粘合剂，使得在加热蒸发器体i的过程中其分解并完全蒸发，即几乎不留下任何残余物，其中锡在高于230。C的温度下替代粘合剂的粘合特性。如上所述，在高真空下在敷金属装置中优选电阻加热包含粘合固定了初始润湿辅助材料的蒸发器体l，并加热到约1450 1600。C的 温度。加热过程和结果相应于本发明第一实施方案的描述。此外，可以省去三层2'的第三层m，而将初始润湿辅助材料放置到 蒸发器体1上，优选地将初始润湿辅助材料置入到在蒸发器体1的上侧 上形成的空腔中，而不是粘合固定到蒸发器体l。此外，作为铝箔/铝片或铝合金箔或/铝合金片的替代物，可以使用 铝丝，该铝丝涂有优选为钛和/或二硼化钛的润湿剂，并且可以放置到 蒸发器体1的蒸发器表面上，优选置入到在蒸发器体1的上侧上形成的 空腔中，和/或通过粘合剂粘合固定到蒸发器体1的蒸发器表面上。优 选将铝丝弯成波紋状并放置到蒸发器表面上，以便其尽可能大面积地占 据或覆盖蒸发器表面部分。然而，即使这样，蒸发器表面也不能被初始 润湿辅助材料完全覆盖，因此，考虑到尽可能快速且广泛地初始润湿或 涂覆蒸发器体，优选该实施方案以使初始润湿辅助材料形成为根据本发 明第一或第二实施方案的胶粘标签。根据本发明的第三实施方案(未示出)，提供初始润湿辅助材料， 其形成为胶粘标签并粘合固定到蒸发器体的表面或蒸发器表面。所用的 蒸发器体相应于上述蒸发器体。根据本发明的第三实施方案的初始润湿辅助材料的长度为约100mm,宽度为约28mm，高度为约0.1 ~ 4mm, 并且形成为包含第一层和第二层的双层，类似于本发明的第一实施方 案。根据本发明的第三实施方案的初始润湿辅助材料的第一层是厚度 为0.02~0.06mm、优选为0.03mm的有机丙烯酸酯粘合剂的粘附层， 其中本发明不限于使用丙烯酸酯粘合剂。如上所述，选择粘合剂，使得 当加热蒸发器体时粘合剂分解并完全蒸发，即几乎不留下任何残余物。 如上所述，也可以将锡加到粘合剂中。根据本发明的第三实施方案的初始润湿辅助材料的第二层包含箔或铝片形式的铝，包括铝合金，所述铝合金除了包含铝之外还包含作为合金成分的润湿剂，其中铝润湿剂合金包含90 97wt。/。的金属铝(包 括杂质)和3 10wt。/。的润湿剂。润湿剂优选为与铝合金化的钛；然而， 其它润湿剂例如锆也可以与铝合金化。此外，锡也可以作为另外的合金 成分与铝合金化。优选在高真空下在敷金属装置中将具有根据本发明的第三实施方 案的初始润湿辅助材料的蒸发器体电阻加热到约1450 1600。C的温度。 加热过程和结果相应于本发明第一实施方案的描述。可替代地，根据本发明的第四实施方案(未示出)，可提供包含除 了含有铝之外还含有作为合金成分的润湿剂的铝合金的材料件例如丝材料件、材料方块或压成透镜状形式的材料，并可通过粘附层或粘合剂 层将其胶粘到蒸发器体的蒸发器表面，和/或可将其嵌入到在蒸发器体 的表面上形成的空腔。优选形成材料件并将其沉积到蒸发器体上，4吏得 其尽可能大面积地覆盖蒸发器体表面部分。锡也可以作为另外的合金成 分与铝合金化。图5和图6显示包含蒸发器体1'的本发明的第五实施方案。关于蒸 发器体l'的尺寸和组成，与上述蒸发器体1 一致；然而，蒸发器体1' 包含在蒸发器表面上形成的空腔3。例如，空腔3的长度为约100mm， 宽度为约26mm，高度为约lmm。图5和图6中的空腔3包含矩形截面， 但是空腔3也可以包含其它形式的截面，例如圆形截面。此外，在该实 施方案中分别显示为平面且垂直的边界区域，但空腔3的边界区域可形 成为倾斜的或弯曲的边界区域，以便可以亳不费力地移出留在空腔中或 留在蒸发器体上的残余物。根据本发明的第五实施方案，以悬浮物2"的形式提供初始润湿辅助 材料，优选为15(TC的热蜡悬浮体形式，将其填充到蒸发器体l'的空腔 3中，其中铝和润湿剂的粉末混合物包含在悬浮体2"中。悬浮体2"含 有例如95 105g、优选为100g的作为有机基体(例如蜡或粘合剂)的 链烷烃硬脂酸酯蜡，优选在150。C的温度下将1.5~2.5g、优选为2.0g 的最大粒径为0.01 ~ 0.02mm、优选为0.015mm的钬和/或二硼化钬粉末 以及10 20g、优选为15g的最大粒径为0. 4~0.6mm、优选为0.5mm 的铝粉末拌入其中，使得润湿剂和铝的混合物均匀地分布在悬浮物2"中或者嵌入到有机基体中。优选地，还将锡加到悬浮体2〃中。如上所述，在敷金属装置中将蒸发器体l'加热到1450 1600'C的温 度。在加热过程开始时，有机基体(在该实施方案中为蜡)蒸发，润湿 剂和铝和锡(如果使用的话)保留在蒸发器体的空腔3中。在加热过程 中出现的如下过程及其结果对应于所述的本发明第一实施方案的加热 过程。根据本发明的第六实施方案(未示出)，将包含二醇、有机粘合剂、 钛/二硼化钛粉末和铝粉末并且层厚度为0.01~2mm、优选为0.1 ~ 0.2mm的悬浮体作为初始润湿辅助材料施加到蒸发器体的蒸发器表面。 所述蒸发器体优选为对应于本发明第一实施方案所用的蒸发器体，但是 其也可以包含根据蒸发器体l'的空腔。100g悬浮物含有50g铝粉末(d卯 < 0.05mm )、 7g钛/二硼化钛粉末(d90 < 13mm )、 5g糖和38g 二醇。 优选地，悬浮体还包含锡粉末。因此，通过简单地将根据本发明第六实施方案的初始润湿辅助材料 涂覆在蒸发器体上而将其施加到该蒸发器体。可替代地，悬浮物可嵌入 到在蒸发器体的蒸发器表面上形成的空腔中。图7显示本发明的第七实施方案，根据该实施方案，以铝件的形式 提供初始润湿辅助材料中的铝，优选为铝带件4或铝丝件4'的形式，其 优选为弯成波紋状，其中除了铝之外铝件还包含作为组分的润湿剂，其 中润湿剂是不能与铝合金化的材料。此外，锡也可作为合金成分与铝合 金化。将润湿剂例如二硼化钛粉末加到铝件中，如图7所示，将所述铝 件简单松散地放置到蒸发器体l的蒸发器表面上或者为了更好的稳定性 将其嵌入到在蒸发器体l的蒸发器表面上形成的空腔中。可替代地，可 通过粘合剂将铝件和润湿剂的混合物粘合固定到蒸发器体1的蒸发器表 面上，优选将锡加到所述粘合剂中。另外，在该实施方案中，优选将铝 件沉积到蒸发器表面上，以便其尽可能大面积地占据或覆盖蒸发器表面 部分；然而，与那些将初始润湿辅助材料作为胶粘标签或悬浮体施加到 蒸发器表面上的实施方案相比，本发明该实施方案的蒸发器体的蒸发器 表面不能被初始润湿辅助材料完全覆盖。在上述实施方案2~7中，可通过粘附层或粘合剂层将初始润湿辅助材料沉积到蒸发器体的蒸发器表面上，和/或将其嵌入到在蒸发器的 表面上形成的空腔内。此外，润湿剂的选择不限于二硼化钛和钛。可将 含有锆和/或钼和/或钛的金属合金、锆、二硼化锆、二硅化钛、钼、二硅化锆、二硅化钼、二钛化硅亚铁(FeSiTi2)用作其它润湿剂。通常， 润湿剂含有至少30wt%、优选为40wt。/。的作为材料成分的锆、钼、钛 或其组合。所述成分可以以单质形式、作为金属合金或以键合形式(例 如，作为硼化物或硅化物)存在。此外，所述成分可以作为氮化物、碳 酸盐或碳氮化物存在。金属的氧化物是不合适的。这些化合物的共同点 是当其在敷金属装置中在加热条件下与液态铝接触时可形成游离的钛 金属/钼金属/锆金属。如果以粉末形式使用，通常提供粒径为0~0.2mm 的润湿剂。铝源可以是厚度为0.01 ~4mm的铝箔或铝片、优选为厚度 为0.01~0.1mm的铝箔或厚度为0.2 ~ 0.3mm的铝片，粒径小于或等于 0.5mm的铝粉末或者铝件。相对于蒸发器体的蒸发器表面，所用的润湿 剂的质量为0.3 ~ 400mg/cm2 蒸发器表面，^J^力1 ~ 6mg/cm2蒸发器表面, 并且铝 的H:为0,1 ~ 100mg/cm2蒸发器表面，^i^为10 ~ 60mg/cm2蒸发器表面。此外，可优选将根据本发明的初始润湿辅助材料用作信息载体，其中 例如可在初始润湿辅助材料上提供特征、标记或广告和商标。首要的是， 将其应用到初始润湿辅助材料的顶层为具有印记或浮凸装饰的铝箔/铝片 的那些实施方案。在将包含铝和润湿剂的粉末混合物分散于蜡中的情况 下，可4吏蜡形成浮凸装饰。
权利要求
1.一种初始润湿辅助材料，所述辅助材料用于施加到可电加热的陶瓷蒸发器体(1)的蒸发器表面上，所述蒸发器体(1)用于在PVD敷金属装置中运行以蒸发铝并且含有作为材料成分的氮，所述氮优选为氮化硼的形式，所述辅助材料包含干燥或悬浮形式的块体形式和/或层状材料和/或粉末材料的形式的至少两种材料成分所述至少两种材料成分包含作为第一材料成分的铝，条件是所述铝在所述蒸发器体(1)开始运行之后在所述蒸发器体加热过程中，在所述蒸发器表面上可熔并且能够在熔融状态与所述蒸发器体(1)中的所述氮反应，由此在所述蒸发器表面上形成氮化铝层，以及作为第二材料成分的润湿剂，条件是所述润湿剂能够促使所述熔融的铝在所述蒸发器表面上形成均匀的、大的表面分布。
2. 根据权利要求l所述的初始润湿辅助材料，其还包含粘合剂，通过 所述粘合剂可将所述初始润湿辅助材料粘结固定到所述蒸发器表面上。
3. 根据权利要求1或2所述的初始润湿辅助材料，其还包含材料成分 锡，其中所述锡以单质形式或键合形式存在。
4. 根据权利要求1 3之一项所述的初始润湿辅助材料，其中所述润湿 剂含有至少30wt。/。、优选至少40wt。/。的作为材料成分的锆、钼、钛或 其组合，其中所述成分以单质形式或键合形式优选作为硼化物或硅化物 存在于所述润湿剂中。
5. 根据权利要求1 4之一项所述的初始润湿辅助材料，其中所述润湿 剂为二硼化钛、钛、二硼化锆、锆、二珪化钛、二硅化锆、二珪化钼、 钼或二钬化珪亚铁(FeSiTi2)。
6. 根据权利要求1~5之一项所述的初始润湿辅助材料，其中所述润湿 剂形成为粉末，优选为粒径小于或等于0.2mm的粉末。
7. 根据权利要求3和6所述的初始润湿辅助材料，其中所述锡以最大 粒径为0.02~0.06mm、优选为0.045mm的粉末形式提供，并加到所述 润湿剂中。
8. 根据权利要求1~7之一项所述的初始润湿辅助材料，其中所述铝形 成为粉末，优选为粒径小于或等于0.5mm的粉末。
9. 根据权利要求1 7之一项所述的初始润湿辅助材料，其中所述铝形 成为厚度为0.01 ~ 4mm的铝箔或铝片，优选厚度为0.01 ~ O.lmm的铝 箔或厚度为0.2 ~ 0.3mm的铝片。
10. 根据权利要求6和9所述的初始润湿辅助材料，其中将所述润湿剂 辊压到所述铝箔或所述铝片上。
11. 根据权利要求7和9所述的初始润湿辅助材料，其中将所述润湿剂 和锡粉末的混合物辊压到所述铝箔或所述铝片上。
12. 根据权利要求1 5之一项所述的初始润湿辅助材料，其中所述铝 形成为铝合金的箔或片，所述铝合金除含有铝之外还含有作为合金成分 的所述润湿剂。
13. 根据权利要求12所述的初始润湿辅助材料，其中所述合金除含有 铝和所述润湿剂之外还含有作为另外合金成分的锡。
14. 根据权利要求6和8所述的初始润湿辅助材料，其中将所述铝与所 述润湿剂混合以形成粉末混合物。
15. 根据权利要求7和8所述的初始润湿辅助材料，其中将与所述润湿 剂和锡的混合物与所述铝混合以形成粉末混合物。
16. 根据权利要求14和15所述的初始润湿辅助材料，其形成为液态粘 合剂的悬浮体，所述液态粘合剂优选为有机粘合剂或蜡，所述粉末混合 物分散在所述液态粘合剂中。
17. 根据权利要求1 7和9之一项所述的初始润湿辅助材料，其形成 为双层(2)，所述双层(2)包含有机丙烯酸酯粘合剂和所述润湿剂以 及优选的锡粉末的混合物的第一层(I )，和铝或铝合金的第二层(II ), 其中优选所述第二层(II )的厚度大于所述第一层(I )的厚度。
18. 根据权利要求17所述的初始润湿辅助材料，其中所述第一层(I ) 的厚度为0.02 ~ 0.06mm、优选为0.05mm，其中所述润湿剂是最大粒径 为0.01 ~ 0.02mm、优选为0.015mm的钬和/或二硼化钬粉末，并且以 15~40wt%、优选为30wt。/。的重量百分含量包含在所述第一层(I ) 中，并且其中所述锡粉末以5~30wt%、优选为30wto/。的重量百分含量 包含在所述第一层中，并且其中所述第二层(II )的厚度为0.045 ~4mm、 优选为0.045 ~0.1mm、更优选为0.055mm，或者为0.2 ~ 0.3mm、更优 选为0.24 ~ 0.26mm。
19. 根据权利要求1~7之一项所述的初始润湿辅助材料，其中所述铝 形成为铝件，优选为铝丝件或透镜状形式的铝件。
20. 根据权利要求19所述的初始润湿辅助材料，其中所述铝件除了含 有铝之外还含有合金成分，例如锡，和/或润湿剂成分，其中所述润湿 剂是不能与铝合金化的材料。
21. 根据权利要求1~7之一项所述的初始润湿辅助材料，其中所述铝 是铝合金的材料件形式，优选为丝材料件或透镜状形式，所述铝合金除 了含有铝之外还含有作为合金成分的润湿剂和优选地含有锡。
22. 根据权利要求12或21所述的初始润湿辅助材料，其中所述铝合金 包含卯~ 97wt%的含有杂质的金属铝和3 ~ 10wt%的作为润湿剂的钛。
23. 根据权利要求1~11之一项所述的初始润湿辅助材料，其形成为三 层(2')，所述三层(2')包含由所述铝箔或所述铝片形成的第一层(I')、 沉积到所述第一层(I ')上的包含所述润湿剂的第二层(II')和沉积到所述润湿剂层上的包含粘合剂的第三层(m),所述粘合剂优选为丙烯酸酯粘合剂。
24. 根据权利要求23所述的初始润湿辅助材料，其中将所述第二层(ir) 固定到所述第一层(I')的表面上，所述固定通过优选将0.05g钛和/ 或二硼化钛与0.05g锡的混合物辊压到所述第一层(I ')的表面上而实 现，其中所述粘合剂层的厚度为0.02~0.06mm、优选为0.03mm，并且 其中所述初始润湿辅助材料的总厚度为0.1~4mm、优选为0.10 ~ 0.16mm、更优选为0.13mm,或者为0.25 ~ 0.35mm。
25. 根据权利要求23或24所述的初始润湿辅助材料，其中将最大粒径 优选为0.02 ~ 0.06mm、更优选为0.045mm的锡粉末加到所述润湿剂和 /或粘合剂中。
26. 根据权利要求2所述的初始润湿辅助材料，其中所述粘合剂为厚度 为0.02~0.06mm、优选为0.03mm的粘附层，优选为丙烯酸酯粘合剂 层，并且其中所述初始润湿辅助材料的总厚度为0.07~4mm、优选为 0.07~0.16mm、更优选为0.10 ~ 0.13mm,或者为0.02 ~ 0.035mm。
27. 根据权利要求16所述的初始润湿辅助材料，其中所述悬浮体包含 链烷烃硬脂酸酯蜡、最大粒径为0.015mm的钛和/或二硼化钛粉末以及 最大粒径为0.5mm的铝粉末。
28. 根据权利要求16所述的初始润湿辅助材料，其中所述悬浮体包含 铝粉末、钛和/或二硼化钛粉末、糖和二醇。
29. 根据权利要求9或12所述的初始润湿辅助材料，其中所述箔或片 带有浮凸装饰或印记。
30. —种可电加热的蒸发器体(1)，所述蒸发器体(1)优选为陶瓷蒸 发器体，其包含用于在PVD敷金属装置中运行以蒸发铝的蒸发器表面，其中所述蒸发器体(1)含有氮，所述氮优选为氮化硼形式，并提 供有施加到所述蒸发器表面、优选为施加到所述整个蒸发器表面上的根 据权利要求1 ~ 29之一项所述的初始润湿辅助材料。
31. 根据权利要求30所述的蒸发器体，其中所述蒸发器体(1)为主要 成分为二硼化钛和氮化硼的混合陶资，其中混合比率分别为50wt。/。加/减10wt%。
32. 根据权利要求30或31所述的蒸发器体，其中相对于所述蒸发器体 (1)的所述蒸发器表面，所用的润湿剂的质量为0.3 400mg/cm、发器表面，优选为1 6mg/cm、发器表面，并且其中所用的铝的质量为0.1~ 100mg/cm2蒸发器表面，优选为10 ~ 60mg/cm2 蒸发器表面。
33. —种用于制备可电加热的蒸发器体(l)的方法，所述蒸发器体(l) 优选为陶瓷蒸发器体(1 )，其用于在PVD敷金属装置中运行以蒸发铝， 并含有作为材料成分的氮，所述氮优选为氮化硼形式，其中在加热所述 蒸发器体(1)之前，将根据权利要求1 ~ 29之一项所述的初始润湿辅 助材料施加到所述蒸发器体(1)的所述蒸发器表面的至少一部分、优 选全部表面上。
34. 根据权利要求33所述的方法，其中以根据权利要求28或29的悬 浮体的形式将所述初始润湿辅助材料嵌入到所述蒸发器体(I ')的空腔(3)中。
35. 根据权利要求33所述的方法，其中以0.05~2.0mm、优选为0.10 ~ 0.20mm的层厚度将根据权利要求29的悬浮体施加到所述蒸发器体(1) 的所述蒸发器表面。
36. 根据权利要求34或35所述的方法，其中使用熔点高于70。C的悬浮 体，并且其中在将所述悬浮体施加到所述蒸发器体(1)的所述蒸发器 表面之后，通过冷却使其固化并使其具有浮凸装饰。
全文摘要
初始润湿辅助材料，所述辅助材料用于施加到可电加热的陶瓷蒸发器体(1)的蒸发器表面上，所述蒸发器体(1)用于在PVD敷金属装置中运行以蒸发铝并且含有作为材料成分的氮，所述氮优选为氮化硼的形式。所述初始润湿辅助材料包含铝，所述铝在蒸发器体(1)开始运行之后在蒸发器表面上熔化，并且在熔融状态下与所述蒸发器体(1)中的氮反应，由此在蒸发器表面上形成氮化铝层。所述初始润湿辅助材料还包含润湿剂，通过所述润湿剂有助于熔融的铝在所述蒸发器表面上形成均匀的、大的表面分布。
文档编号C23C14/20GK101238237SQ200680028528
公开日2008年8月6日 申请日期2006年6月30日 优先权日2005年7月1日
发明者乌尔里希·格茨, 迈克尔·尼恩贝格尔 申请人:斯泰克陶瓷有限责任公司