专利名称：一种退火工序中键合金丝的冷却滴定装置的制作方法
技术领域：
本实用新型装置涉及一种退火工序冷却装置，尤指一种应用于键合金丝生产的退 火工序冷却滴定装置。
背景技术：
随着大规模、超大规模集成电路的发展，对封装材料的要求越来越高，特别是键合 金丝，线径要求越来越细，机械化学电等各项性能指标还需满足封装使用要求。为提高使用 过程中的利用率，半导体器件要求高性能的同时对金丝的放线要求越来越高。其中键合金丝生产关键工序之一为金丝退火，其工艺首先是要确保退火后性能均 勻一致，而成品放线的好坏及一致性与退火后的冷却形式关系密切，因而在退火后的冷却 至关重要。退火后金丝通过退火液的形式是保证金丝能够顺利放线及提高成品率、提升产 品性能的必要措施，其要求每轴成品放线粘丝不超过3次。然而，一般冷却装置是采用循环 方式，虽然能够冷却金丝，但缺点是循环过程中会不断产生冷却液的沉淀物和外界的灰尘 等赃物，这些赃物会沾污金丝表面而使得客户在进行键合时容易断线，降低成材率和作业 效率，而且金丝表面不清洁也容易造成丝层绕在收线轴上相互粘连、放线不顺畅，而采用传 统的冷却方式很难达到高放线顺畅要求。
实用新型内容有鉴于此，本实用新型改良上述缺点，其主要目的在于保证使金丝放线顺畅。本实用新型通过以下实施方案来实现1、一种退火工序中键合金丝的冷却滴定装置，其包含一个滴定瓶、一个流量调 节器、一个托盘及两层超净擦拭布，与退火炉构成一个冷却系统，该装置通过一个滴定瓶与 流量调节器连接。通过流量调节器的调节，退火液均勻滴定出来，然后滴在洁净布上。滴定 速度的要求是通过改变流量调节器的旋钮实现的。2、退火炉出口处有一个支架，滴定瓶固定在支架上，滴定瓶下面为一个下出口软 管，下出口软管与调节器连接，调节器下端连接有一个细管，通过调整调节器使冷却液勻速 勻量地定在擦拭布上。冷却装置的支架上装有一个托盘，托盘上放置两层超净擦拭布，擦拭 布应定期更换。擦拭布上端有一个配重不锈钢板，防止因擦布震动导致金丝表面接触不到 擦布和冷却液而起不到擦拭效果。本实用新型的装置的有益效果在于，利用滴定瓶中的退火液通过流量调节器滴定 在在两层洁净布上，退火炉出来的金丝经过被浸湿的洁净布中间再绕到收线轴上，冷却金 丝的同时使金丝表面包裹一层退火液薄膜而防止粘丝，并且金丝在不锈钢配重的压力下表 面得以擦拭而更加洁净，又因为退火液一次性使用，保证了退火液始终清洁，从而保证键合 金丝产品放线顺畅的指标。本实用新型装置具有结构简单合理，滴定速度可调节，是对传统冷却方式的创新， 该方法采用简单的结构实现了金丝退火放线的要求，复绕放线顺畅变成现实，使键合金丝
3产品性能的优化提供了可靠条件。
图1为键合金丝退火冷却滴定装置示意图具体实施方式
以下结合附图对实用新型作进一步描述本实用新型的设计思想在于，从退火炉出来的金丝处在高温状态，当金丝绕到收 线轴上时，金丝就会由于热量或者金丝上的粘附物使金丝粘连在一起而导致使金丝不能从 收线轴上顺利放出，从而影响下一道复绕工序以及客户的使用。利用此装置可以实现金丝 退火后，金丝冷却并清洁，放线顺畅。本实用新型一具体实施例包含一个滴定瓶1、一个流量调节器2、一个托盘6、 两层超净擦拭布7及一个配重不锈钢板8，构成一个退火冷却系统，如图1所示其为本实 用新型一具体实施例的键合金丝生产的退火冷却示意图，在本实施例中滴定瓶1容量为 3000ml，为玻璃制品，出口直径约为Imm ；流量调节器2采用标准点滴注射用调节器，流量调 节控制在1滴/3 5秒钟；下出口软管3采用输液管；细4采用材质较硬的塑料管，直径 约为1. 5mm ；支架5固定在退火机上；托盘6使用聚四氟做成，尺寸为40*50mm ；超净擦拭布 7采用特柔洁净布，尺寸40*50mm ；配重不锈钢板8的厚度为0. 5mm,尺寸10mm*50mm，重约 15g ；冷却液经液体排出口 9排放掉。该滴定瓶1出口通过下出口软管3与流量调节器2连接，流量调节器下端与细管 4连接；支架5固定在退火炉12上，托盘6固定在支架5上；擦拭布放在托盘6上，配重不 锈钢板8压在擦拭布上；本实用新型应用时，首先将滴定瓶中装上配制好的冷却液，冷却液通过流量调节 器2，滴定到超净擦拭布7的中间位置，退火前在托盘6放置一块擦拭布7，使擦拭布7浸 湿，当键合金丝10经过退火炉12后并经过这一层擦拭布7后，在金丝上面再盖上一层擦拭 布7，并把配重不锈钢板8压在擦拭布7上，调节流量调节器2，使流量达到要求1滴/3 5秒钟。在键合金丝10生产退火过程中冷却液勻速均勻滴定在擦拭布7上，保持了退火 液的洁净；在擦拭布7中的冷却液冷却和擦拭下，保证了键合金丝10的清洁，并在键合金丝 10上均勻包裹了一层退火液后经收线轴11卷曲，从而起到很好的清洁冷却效果，达到放线 顺畅的目的。本实用新型为针对键合金丝生产退火冷却设计使用，可以使金丝放线顺畅，该装 置采用简单的结构解决了金丝退火后粘连的问题，满足客户对于金丝放线的严格要求，具 有很高的实用性，对于有退火冷却要求的金属丝材的生产工艺有很好的参考价值。
权利要求一种退火工序中键合金丝的冷却滴定装置，其包含一个滴定瓶、一个流量调节器、一个托盘、两层超净擦拭布，一个压重不锈钢板，与退火炉构成退火冷却系统，其特征在于滴定瓶连接一个流量调节器。
2.根据权利要求1所述的一种退火工序中键合金丝的冷却滴定装置，其特征在于退 火炉出口处有一个支架，滴定瓶固定在支架上，滴定瓶下面为一个下出口软管。
3.根据权利要求2所述的一种退火工序中键合金丝的冷却滴定装置，其特征在于下 出口软管与调节器连接，调节器下端连接有一个细管，通过调整调节器使冷却液勻速勻量 滴定在擦拭布上。
4.根据权利要求1所述的一种退火工序中键合金丝的冷却滴定装置，其特征在于冷 却装置的支架上装有一个托盘，托盘上放置两层超净擦拭布。
5.根据权利要求1所述的一种退火工序中键合金丝的冷却滴定装置，其特征在于擦 拭布上端有一个配重不锈钢板，防止因擦布震动导致金丝表面接触不到擦布和冷却液而起 不到擦拭效果。
专利摘要本实用新型公开了一种退火工序中键合金丝的冷却滴定装置，利用一个滴定瓶、一个流量调节器、一个托盘、两层超净擦拭布和一个配重不锈钢板，并通过透明软管连接滴定瓶与流量调节器，与退火炉构成退火冷却系统。该方法采用简单的结构实现了客户对金丝放线严格的要求，具有很高的实用性。
文档编号C21D9/52GK201762381SQ200920276128
公开日2011年3月16日 申请日期2009年12月8日 优先权日2009年12月8日
发明者张福生 申请人:北京达博有色金属焊料有限责任公司