专利名称：溅镀装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种真空镀膜技术领域，尤其涉及一种溅镀装置。
背景技术：
溅镀装置一般包括一个圆环料架、一个圆环基座及多个料杆。所述圆环料架与所述圆环基座同轴设置。多个料杆沿圆环基座的轴向设置，沿圆环基座的圆周方向排布，并连接圆环料架及圆环基座。镀膜时，靶材离子从料杆的外部射向料杆而附着于待镀工件的表面。然而，圆环料架通常不能在不同的镀膜机中使用。具体的，圆环料架的尺寸可能大于某些型号的镀膜机的尺寸，导致圆环料架无法收容于镀膜机内。为此，厂商需根据不同的镀膜机的尺寸，开模生产对应尺寸的料架，导致成本增加。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种有效降低生产成本的溅镀装置。一种溅镀装置，其包括一个中空的本体及容置于所述本体内的一个承载装置、一个驱动装置。所述本体包括相对的一个顶板及一个底板。所述承载装置包括一个圆环料架、 一个圆环基座及多个料杆。所述圆环料架固定在所述顶板上，且由至少一个可挠性的组装板连接而成。所述圆环基座转动设置于所述底板上，且与所述圆环料架同轴设置。所述多个料杆沿所述圆环基座的轴向设置，沿所述圆环基座的圆周方向排布，并连接所述圆环料架及所述圆环基座。所述驱动装置与所述圆环基座及所述料杆连接，用于驱动所述圆环基座及所述料杆绕其自身的中心轴旋转。本发明的溅镀装置，所述圆环料架由多个可挠性的组装板连接而成，因此厂商可根据需求组装成各种尺寸的圆环料架，以适应不同镀膜机的尺寸，减少了开模的费用，从而降低生产成本。
靶材20
承载装置50
圆环料架51
组装板53
第一端面531
第一容置孔531a
第一凸柱531b
第二端面532
第二容置孔532a
第二凸柱532b
连接面533
滑槽534
圆环基座55
承载面551
通孔551a
底面552
外圆周面553
齿霄553a
料杆56
第一连接端561
凸缘561a
第二连接端562
驱动装置60
从动齿轮61
中间齿轮62
马达63
转轴64
第一驱动齿轮65
第二驱动齿轮6具体实施例方式下面将结合附图，对本发明作进一步的详细说明。请参阅图1及图2，为本发明实施方式提供的一种溅镀装置100，其包括一个本体 10，两个靶材20、一个偏压电极30、一个承载装置50及一个驱动装置60。所述本体10内开设有一个镀膜腔11，并包括一个顶板101、一个底板102及一个连接所述顶板101与底板102的侧壁103。所述顶板101与所述底板102相对且平行设置。 所述侧壁103连接所述顶板101与所述底板102。所述两个靶材20相对设置在所述侧壁103的内表面。在本实施方式中，所述靶材 20为钛，被电子束轰击后，带正电荷的钛离子被溅射出来。
所述偏压电极30固定与所述镀膜腔11内，且所述偏压电极30上设置一个工作开关(未图示)，当所述工作开关打开后，所述偏压电极30上带有大量的负电荷。所述承载装置50包括一个圆环料架51、一个圆环基座55及多个料杆56。所述圆环料架51固定安装于所述顶板101上。所述圆环基座55转动设置在所述底板102上，且与所述圆环料架51同轴设置。所述圆环料架51与所述偏压电极30电连接，以带上负电荷。 所述圆环料架51由四个可挠性的组装板53连接而成。所述组装板53由轻质可挠性的导电材料制成，以减轻所述承载装置50的重量。结合图3所示，为所述组装板53被弯折定型后的示意图，所述组装板53未弯折前为长方体状结构，其包括一个第一端面531，一个第二端面532及一个面向所述圆环基座55的连接面533。所述连接面533连接所述第一端面 531及所述第二端面532。所述连接面533上沿所述组装板53的延伸方向开设有一个滑槽 534。所述四个组装板53的滑槽534可连接成一个圆环滑槽。当所述组装板53未弯折时， 所述第二端面532与所述第一端面531相背设置。所述第一端面531开设有一个第一容置孔531a，且固定一个轴向垂直于所述第一端面531的第一凸柱531b。所述第二端面532开设有一个第二容置孔53加，且固定一个轴向垂直于所述第二端面532 —个第二凸柱532b。 所述第二容置孔53 与所述第一凸柱531b对应设置。所述第二凸柱532b与所述第一容置孔531a对应设置。当所述圆环料架51组装完成后，还需要经过金属塑形加工处理(比如滚轧)，使所述四个组装板53定形，以保证所述圆环料架51 —直保持圆环状。如图1及图2所示，所述圆环基座55包括一个面向所述圆环料架的承载面551、一个与所述承载面551相背的底面552及一个外圆周面553。所述外圆周面553连接所述承载面551及所述底面552。所述承载面551上沿所述圆环基座55的圆周方向间隔开设有多个通孔551a。所述多个通孔551a所围成的圆环与所述四个组装板53的滑槽534形成的圆环滑槽同轴设置，且半径相等。所述圆环基座55的外圆周面553形成有一圈连续排布的齿牙 553a0所述多个料杆56用于挂设待镀元件(比如手机外壳)。每个料杆56均包括相对设置的一个第一连接端561及一个第二连接端562。所述料杆56靠近所述第一连接端561 的位置设置一个圆环状的凸缘561a。所述凸缘561a沿所述料杆56的直径方向延伸，且所述凸缘561a的直径大于所述通孔551a的直径，使得所述料杆56卡设在所述圆环基座55 的承载面551上。所述第一连接端561穿过所述通孔551a，并从所述底面552露出。所述第二连接端562容置于所述滑槽534内，且与所述滑槽534的内壁接触，从而使所述料杆56 也带上负电荷。所述料杆56将负电荷传递给所述待镀元件(未图示)，以加快所述靶材20 沉积在所述待镀元件上的速度。如图4所示，所述驱动装置60用于驱动所述圆环基座55及所述料杆56转动，其包括多个从动齿轮61、多个中间齿轮62、一个马达63、一个转轴64、一个第一驱动齿轮65、及一个第二驱动齿轮66。所述多个从动齿轮61分别套设在所述第一连接端561上。每个中间齿轮62设置在相邻的两个从动齿轮61之间，并与所述相邻的两个从动齿轮61相啮合， 使得所述多个从动齿轮61能够同步转动。所述马达63用于驱动所述转轴64旋转。所述第一驱动齿轮65与所述第二驱动齿轮66套设在所述转轴64上，且间隔一定距离。所述第一驱动齿轮65与所述圆环基座55的齿牙553a啮合。所述第二驱动齿轮66与其中一个从动齿轮61相啮合。
所述溅镀装置100的组装过程如下将一个组装板53的第一凸柱531b及第一容置孔531a分别与所述另一个组装板53的第二容置孔53 及第二凸柱532b对齐并且耦合，从而将所述两个组装板53固定连接，依照上述方法，将所述四个组装板53组成一个圆环料架51 ；将组装好的圆环料架51安装在所述顶板101上，且使所述滑槽534面向所述底板102设置，并将组装好地圆环料架51与所述偏压电极30电连接；将所述圆环基座55转动设置在所述底板102上；将所述多个料杆56的第二连接端562容置于所述滑槽534内， 所述多个第一连接端561分别插入所述圆环基座55的多个通孔551a，并从所述圆环基座 55的底面552露出，在每个第一连接端561固定一个从动齿轮61 ；在相邻的两个从动齿轮 61之间安装所述中间齿轮62 ；将所述第二驱动齿轮66与其中一个从动齿轮61啮合，将所述第一驱动齿轮65与所述圆环基座55的齿牙553a啮合；将所述待镀膜元件挂设在所述料杆56上；密闭所述镀膜腔11，并将所述镀膜腔11抽成真空，即可开始进行镀膜。所述溅镀装置100的工作过程如下用一电子束轰击所述靶材20，使所述靶材20 变成正离子状态弥散在所述镀膜腔11内，所述偏压电极30将负电荷传递给所述料杆56，使所述料杆56上带有负电荷，加快所述正离子状态的靶材沉积在所述料杆56上的速度；所述马达63驱动所述转轴64旋转，以带动所述第一驱动齿轮65及第二驱动齿轮66旋转，进而带动所述圆环基座阳及其中一个从动齿轮61旋转，所述其中一个从动齿轮61通过所述中间齿轮62，带动与其相邻的另一个从动齿轮61旋转，使得所述料杆56在围绕其自身的转轴旋转的同时，还随所述圆环基座阳进行转动，使得所述待镀元件的表面镀膜均勻。在其他实施方式中，所述圆环料架51所需的组装板53也可为其他数量，比如一个、两个、三个或四个以上。当所述圆环料架51只需一个组装板53时，将所述第一端面531 与所述第二端面532对接，且使所述第一凸柱531b插入所述第二容置孔53 内，所述第二凸柱532b插入所述第一容置孔531a内即可。在其他实施方式中，也可通过其他的连接方式(比如螺钉与螺孔)将所述多个组装板53固定连接。在其他实施方式中，所述中间齿轮62也可省去，直接将相邻的两个从动齿轮61相啮合。在其他实施方式中，所述靶材20的数量可以为一个或者两个以上。本发明的料架，所述圆环料架由多个可挠性的组装板连接而成，因此厂商可根据需求，组装成各种长度的圆环料架，以适应不同镀膜机的尺寸，大大减少了开模的费用，从而降低生产成本。可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做出其它各种相应的改变与变形，而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
权利要求
1.一种溅镀装置，其包括一个中空的本体及容置于所述本体内的一个承载装置、一个驱动装置，所述本体包括相对的一个顶板及一个底板，所述承载装置包括一个圆环料架、一个圆环基座及多个料杆，所述圆环料架设置在所述顶板上，所述圆环基座转动设置于所述底板上，且与所述圆环料架同轴设置，所述多个料杆沿所述圆环基座的轴向设置，沿所述圆环基座的圆周方向排布，并连接所述圆环料架及所述圆环基座，所述驱动装置与所述圆环基座及所述料杆连接，用于驱动所述圆环基座及所述料杆沿其自身的中心轴旋转，所述圆环料架由至少一个可挠性的组装板连接而成。
2.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，所述至少一个组装板由导电材料制成。
3.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于，所述组装板包括一个第一端面、一个第二端面及一个连接面，所述连接面连接所述第一端面及所述第二端面，当所述组装板未弯折时，所述第一端面与所述第二端面相背设置，所述连接面面向所述圆环基座，且所述连接面上沿所述组装板的延伸方向开设一个滑槽，所述多个滑槽形成一个圆环滑槽。
4.如权利要求3所述的溅镀装置，其特征在于，所述圆环基座包括一个面向所述圆环料架的承载面，所述承载面上沿所述圆环基座的圆周方向开设有多个通孔，所述多个通孔围成一个圆环，且所述多个通孔形成的圆环与所述多个滑槽形成的圆环同轴设置，且半径相等。
5.如权利要求4所述的溅镀装置，其特征在于，每个料杆包括相对的一个第一连接端及一个第二连接端，所述第一连接端插入所述通孔内，所述第二连接端容置于所述滑槽内。
6.如权利要求5所述的溅镀装置，其特征在于，所述料杆靠近所述第一连接端的位置设置一个圆环状的凸缘，所述凸缘沿所述料杆的直径方向延伸，且所述凸缘的半径大于所述通孔的半径，使得所述料杆卡设在所述圆环基座的承载面，且所述第一连接端穿过所述通孔，从所述承载面露出。
7.如权利要求6所述的溅镀装置，其特征在于，所述驱动装置包括一个马达、一个转轴及第一驱动齿轮，所述圆环基座还包括一个与所述承载面相垂直的外圆周面，所述外圆周面上设置有一圈连续排布的齿牙，所述第一驱动齿轮套设固定在所述转轴上，且与所述齿牙相啮合，所述马达驱动所述转轴转动。
8.如权利要求7所述的溅镀装置，其特征在于，所述驱动装置还包括多个从动齿轮，相邻的两个从动齿轮相啮合。
9.如权利要求7所述的溅镀装置，其特征在于，所述驱动装置还包括多个从动齿轮及多个中间齿轮，相邻的两个从动齿轮间设置一个中间齿轮，所述中间齿轮分别与所述相邻的两个从动齿轮相啮合。
10.如权利要求8或9所述的溅镀装置，其特征在于，所述驱动装置还包括一个第二驱动齿轮，所述第二驱动齿轮套设在所述转轴上，且与其中一个从动齿轮相啮合。
全文摘要
一种溅镀装置，其包括一个中空的本体及容置于所述本体内的一个承载装置、一个驱动装置。所述本体包括相对的一个顶板及一个底板。所述承载装置包括一个圆环料架、一个圆环基座及多个料杆。所述圆环料架固定在所述顶板上，且由至少一个可挠性的组装板连接而成。所述圆环基座转动设置于所述底板上，且与所述圆环料架同轴设置。所述多个料杆沿所述圆环基座的轴向设置，沿所述圆环基座的圆周方向排布，并连接所述圆环料架及所述圆环基座。所述驱动装置与所述圆环基座及所述料杆连接，用于驱动所述圆环基座及所述料杆分别绕其自身的中心轴旋转。本发明的溅镀装置的圆环料架由至少一个可挠性的组装板连接，从而减少开模费用，降低生产成本。
文档编号C23C14/34GK102534515SQ20101060067
公开日2012年7月4日 申请日期2010年12月22日 优先权日2010年12月22日
发明者王仲培 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司