镀膜挂具的制作方法

文档序号:3412633阅读:273来源:国知局
专利名称:镀膜挂具的制作方法
技术领域
本发明涉及一种镀膜挂具,尤其涉及一种可控制待镀膜工件旋转的镀膜挂具。
背景技术
目前,镀膜工艺广泛应用于光学、半导体等诸多领域。现有镀膜工艺通常以物理蒸镀法(Physics Vapor Deposition, PVD)为主。其操作方法一般是将待镀膜工件洗净后置于一支撑机构上,送入镀膜机进行加热及抽真空。在待镀膜工件周围环境形成高真空状态后,加热薄膜材料,以将薄膜材料由固态转化为气态或离子态,并由蒸发源穿越空间,抵达待镀膜工件表面,在表面上沉积而逐渐形成薄膜。然而,现有的大多数支撑机构的结构对工件放置方式限制较大,且镀膜机因高真空且高温的限制难以加装其它动力装置以驱动支撑机构在镀膜过程中带动工件移动或转 动,使得在镀膜过程中,一般仅能从一个方向对工件进行镀膜,从而使得工件表面会出现色差、镀层厚度不均匀等现象,影响镀膜品质。

发明内容
鉴于上述状况,有必要提供一种可控制待镀膜工件旋转的镀膜挂具。一种镀膜挂具,包括二支撑机构,每一支撑机构上分别装设有待镀膜工件,该镀膜挂具包括驱动轮及第一旋转机构,所述驱动轮及二支撑机构分别装设于所述第一旋转机构的两端,施加一驱动力于所述驱动轮上,所述第一旋转机构相应旋转,进而带动所述支撑机构及待镀膜工件绕一第一轴旋转。本发明的镀膜挂具将现有的镀膜机的制动系统作为该镀膜挂具的动力,以控制该待镀膜工件进行旋转。如此镀膜机无需加装其他动力装置,便可从多个方向对工件进行镀膜,有效避免出现色差、镀层厚度不均匀等现象,提高了镀膜品质。


图I为本发明较佳实施方式的镀膜挂具的组装示意图。图2为图I所示镀膜挂具中支撑机构的分解示意图。图3为图I所示镀膜挂具的部分分解示意图。图4为图I所示镀膜挂具的使用状态图。主要元件符号说明
镀膜挂具100
驱动轮10
支撑机构20第一旋转机构30
第二旋转机构40
工件60
旋转涡轮70
转轴80
主体部21 支撑柱22
支撑爪23
转动孔2U
底座31
承载座32
固定部33
卡持件34
第一旋转部35
旋转支架36
第二旋转部37
承载臂311
缺口EU
第一承载板321
第二承载板322
固定孔331
卡持部341
卡持柱342
卡持槽34U
权利要求
1.一种镀膜挂具,包括二支撑机构,每一支撑机构上分别装设有待镀膜工件,其特征在于该镀膜挂具包括驱动轮及第一旋转机构,所述驱动轮及二支撑机构分别装设于所述第一旋转机构的两端,施加一驱动力于所述驱动轮上,所述第一旋转机构相应旋转,进而带动所述支撑机构及待镀膜工件绕一第一轴旋转。
2.如权利要求I所述的镀膜挂具,其特征在于每一支撑机构包括主体部、二支撑柱及二支撑爪,该支撑柱的一端通过弹簧固定至所述主体部的一侧,该支撑爪呈叉形,固定在所述支撑柱远离主体部的端部,且在所述弹簧的作用下支撑所述待镀膜工件。
3.如权利要求I所述的镀膜挂具,其特征在于所述第一旋转机构包括第一旋转部、旋转支架及第二旋转部,所述驱动轮及旋转支架分别装设于所述第一旋转部的两端,所述二支撑机构通过该第二旋转部装设在所述旋转支架的两端。
4.如权利要求3所述的镀膜挂具,其特征在于该旋转支架包括安装部,该安装部上开设有装设孔,该装设孔的形状及结构与该第一旋转部相对应,用于将所述旋转支架装设于该第一旋转部远离驱动轮的一端。
5.如权利要求4所述的镀膜挂具,其特征在于该旋转支架包括二配合部,所述二配合部分别设置在所述安装部的端部,该配合部的端部开设有配合孔,该主体部的轴向位置开设有转动孔,第二旋转部依次穿过所述配合孔及所述转动孔,以将所述支撑机构装设于该旋转支架上。
6.如权利要求3所述的镀膜挂具,其特征在于该第一旋转机构包括底座、承载座、二固定部及卡持件,该底座两端分别延伸有承载臂,该承载臂垂直该底座设置,每一承载臂上均开设有一缺口,该承载座包括第一承载板及第二承载板,该第二承载板的一端垂直连接至该第一承载板的端部,其中一固定部固定在其中一缺口的底部,另一固定部固定在该第二承载板背向该第一承载板的一侧,每一固定部上均开设有固定孔,该卡持件包括卡持部及卡持柱,该卡持部设置有卡持孔,该卡持柱连接至所述卡持部的一侧,且与该固定孔相配合,用于穿设在相应的固定孔内,所述第一旋转部依次穿过所述卡持孔及驱动轮的轴心,以将该驱动轮装设于二承载臂之间。
7.如权利要求6所述的镀膜挂具,其特征在于该卡持部两侧分别开设有卡持槽,用于卡持所述缺口的侧壁。
8.如权利要求3所述的镀膜挂具,其特征在于所述镀膜挂具包括第二旋转机构,所述第二旋转机构连接所述第一旋转部及第二旋转部,所述第二旋转机构在所述第一旋转机构的驱动下绕所述第一轴旋转,并驱动所述待镀膜工件绕一第二轴旋转。
9.如权利要求8所述的镀膜挂具,其特征在于所述第二旋转机构包括第一链轮、第二链轮、链条、安装柱及辅助轮,该第一链轮同轴地套设在所述第二旋转部上,该第一旋转部远离驱动轮的一侧开设一安装孔,该安装柱的一端装设于该安装孔内,另一端通过一摩擦轮同轴地穿设在该第二链轮上,该辅助轮穿设于该第一旋转部上,且与该摩擦轮相抵持,该链条套设在所述第一链轮及第二链轮上。
10.如权利要求9所述的镀膜挂具,其特征在于该第二旋转机构包括辅助件,该辅助件包括辅助部及二配合柱,该辅助部上开设有通槽及二辅助孔,该第一旋转部穿设于所述通槽内,该二辅助孔设置在所述通槽的两侧,所述配合柱的一端穿设于相应的辅助孔内,另一端穿设有弹簧,且固定至所述辅助轮,用于保证所述辅助轮与该摩擦轮紧密接触。
全文摘要
本发明提供一种镀膜挂具,包括二支撑机构、驱动轮及第一旋转机构,每一支撑机构上分别装设有待镀膜工件,所述驱动轮及二支撑机构分别装设于所述第一旋转机构的两端,施加一驱动力于所述驱动轮上,所述第一旋转机构相应旋转,进而带动所述支撑机构及待镀膜工件绕一第一轴旋转。
文档编号C23C14/50GK102644057SQ201110038858
公开日2012年8月22日 申请日期2011年2月16日 优先权日2011年2月16日
发明者尚战, 程功水, 胡永兵, 黄登聪 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司
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