一种提高膜电解再生效率的蚀刻及配套回收装置制造方法

文档序号:3331620阅读:126来源:国知局
一种提高膜电解再生效率的蚀刻及配套回收装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种提高膜电解再生效率的蚀刻及配套回收装置,包括药水喷淋蚀刻层、蚀刻液储存层、药水再生回收装置、过滤器、提升泵Ⅰ和提升泵Ⅱ,其特征是所述药水喷淋蚀刻层下方设置蚀刻液储存层,所述蚀刻液储存层分为废液槽和新鲜药水槽;所述废液槽通过管道和提升泵Ⅰ连接至药水再生回收装置的进液口,药水再生回收装置上端的出水口通过管道连接至新鲜药水槽;废液槽和新鲜药水槽之间配备联通管道及阀门。它降低了药水再生回收装置的工作量,并可选择是否运行药水再生回收装置。
【专利说明】
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种线路板蚀刻装置,其特别适用于印刷电路板行业电路板盐酸 /氯酸钠体系蚀刻工序。 -种提高膜电解再生效率的蚀刻及配套回收装置

【背景技术】
[0002] 现有的蚀刻装置大多采用新鲜药水与蚀刻后的废液进行混合循环蚀刻,通过在线 自动药水添加子液和盐酸维持药水参数,同时将多余的事业溢流排放;即使采用电解再生 回收的蚀刻线,其蚀刻废液和新鲜药水也是混合在同一个药水槽,造成全部药水需要进入 再生系统,增加了处理量,降低了电解再生的效率。


【发明内容】

[0003] 为了解决上述现有蚀刻装置的不足,本实用新型提供了一种提高膜电解再生效率 的蚀刻及配套回收装置。
[0004] 本实用新型是这样来实现的,它包括药水喷淋蚀刻层、蚀刻液储存层、药水再生回 收装置、过滤器、提升泵I和提升泵II,其特征是所述药水喷淋蚀刻层下方设置蚀刻液储存 层,所述蚀刻液储存层分为废液槽和新鲜药水槽;所述药水喷淋蚀刻层分为上喷淋管和下 喷淋管,在下喷淋管下方设有隔板并留有下排口,以将蚀刻废液收集并通过下排口排到至 废液槽;新鲜药水槽通过管道连接提升泵II,再经过滤器连接至上喷淋管和下喷淋管;所 述废液槽通过管道和提升泵I连接至药水再生回收装置的进液口,药水再生回收装置上端 的出水口通过管道连接至新鲜药水槽;废液槽和新鲜药水槽之间配备联通管道及阀门。
[0005] 本实用新型的有益效果是:可使投加蚀刻液使用量的降低,改善了因传统设备喷 淋蚀刻前后蚀刻液混合导致再生处理废液量增加问题,提高了生产的效率,经济效益好;并 可选择是否运行药水再生回收装置。

【专利附图】

【附图说明】
[0006] 图1是本实用新型的示意图。
[0007] 图中1.药水喷淋蚀刻层2.蚀刻液储存层3.药水再生回收装置4.过滤 器 11.上喷淋管12.下喷淋管13.下排口 21.废液槽22.新鲜药水槽23. 联通管道及阀门31.提升泵I 41.提升泵II。

【具体实施方式】
[0008] 下面结合附图和优选实施方式对本实用新型予以进一步阐明。
[0009] 如图1所示,本实用新型所述的蚀刻及配套回收装置,包括药水喷淋蚀刻层1、蚀 刻液储存层2、药水再生回收装置3、过滤器4、提升泵I 31和提升泵II 41,所述药水喷淋蚀 刻层1下方设置蚀刻液储存层2,所述蚀刻液储存层2分为废液槽21和新鲜药水槽22 ;所 述药水喷淋蚀刻层1分为上喷淋管11和下喷淋管12,在下喷淋管下方设有隔板并留有下排 口 13,以将蚀刻废液收集并通过下排口 13排到至废液槽21 ;新鲜药水槽22通过管道连接 提升泵II 41,再经过滤器4连接至上喷淋管11和下喷淋管12 ;所述废液槽21通过管道和 提升泵I 31连接至药水再生回收装置3的进液口,药水再生回收装置3上端的出水口通过 管道连接至新鲜药水槽22 ;废液槽21和新鲜药水槽22之间配备联通管道及阀门23,这使 得可根据工厂实际情况选择直接将废液槽21的蚀刻废液排到新鲜药水槽22或者将蚀刻废 液通过药水再生回收装置3处理再排向新鲜药水槽22。
[0010] 所述新鲜药水槽22还设置新鲜药水加药装置来补充损耗的蚀刻液,以使新鲜药 水槽内的蚀刻液满足蚀刻工艺要求。所述药水再生回收装置3是膜电解装置。
[0011] 以上所述仅为本实用新型的实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围。凡是 利用本发明及附图内容所作之结构、材料和用途的变换,均同理包括在本实用新型的专利 保护范围内。
【权利要求】
1. 一种提高膜电解再生效率的蚀刻及配套回收装置,包括药水喷淋蚀刻层、蚀刻液储 存层、药水再生回收装置、过滤器、提升泵I和提升泵II,其特征是所述药水喷淋蚀刻层下 方设置蚀刻液储存层,所述蚀刻液储存层分为废液槽和新鲜药水槽;所述药水喷淋蚀刻层 分为上喷淋管和下喷淋管,在下喷淋管下方设有隔板并留有下排口,以将蚀刻废液收集并 通过下排口排到至废液槽;新鲜药水槽通过管道连接提升泵II,再经过滤器连接至上喷淋 管和下喷淋管;所述废液槽通过管道和提升泵I连接至药水再生回收装置的进液口,药水 再生回收装置上端的出水口通过管道连接至新鲜药水槽;废液槽和新鲜药水槽之间配备联 通管道及阀门。
【文档编号】C23F1/46GK203890443SQ201420308347
【公开日】2014年10月22日 申请日期:2014年6月11日 优先权日:2014年6月11日
【发明者】查红平, 何立发, 张昭君, 徐福林, 朱贵娥, 周小亮 申请人:红板(江西)有限公司
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